技术特征：
1.一种带电粒子束系统，其特征在于，具有：带电粒子束照射部，其对试样照射带电粒子束；检测器，其检测来自所述试样的二次电子信号或反射电子信号；以及计算机系统，其控制所述电子束照射部，并且测定所述试样中的重合偏差量；所述计算机系统具有：图像生成部，其根据所述检测器的信号来生成图像；匹配处理部，其在由所述图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置；线轮廓生成部，其扫描所述重合测量用图案，生成针对所述二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对所述反射电子信号的第二线轮廓；以及重合偏差量测定部，其根据所述第一线轮廓确定所述重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据所述第二线轮廓确定所述重合测量用图案中的第二图案的位置，根据所述第一图案的位置和所述第二图案的位置，测定所述试样中的重合偏差量。2.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述线轮廓生成部根据由所述匹配处理部确定出的所述重合测量用图案的位置，校正执行所述扫描的位置。3.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述带电粒子束系统具有：显示部，其显示由所述图像生成部生成的图像和所述第一线轮廓或所述第二线轮廓。4.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述线轮廓生成部构成为能够在由所述图像生成部生成的图像上指定用于生成线轮廓的扫描区域。5.根据权利要求4所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述线轮廓生成部构成为能够指定以第一方向为长度方向的第一扫描区域和以与所述第一方向交叉的第二方向为长度方向的第二扫描区域。6.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述重合偏差量测定部按照与所述第一线轮廓或所述第二线轮廓对应的线模板图像和所述第一线轮廓或所述第二线轮廓的匹配处理的结果，调整在所述第一线轮廓或所述第二线轮廓中设定的测定光标的位置。7.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其特征在于，所述线轮廓生成部通过将沿着不同的方向扫描带电粒子束而得到的信号相加来生成所述第一线轮廓或所述第二线轮廓。8.一种重合偏差量测定方法，根据通过带电粒子束对试样的照射而由检测器检测出的信号，来测定试样的不同层之间的重合偏差量，其特征在于，所述重合偏差量测定方法具有以下步骤：根据所述检测器的输出生成图像的步骤；通过所述图像与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置的步骤；扫描所述重合测量用图案，生成针对二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对反射电子信号的第二线轮廓的步骤；
根据所述第一线轮廓确定所述重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据所述第二线轮廓确定所述重合测量用图案中的第二图案的位置的步骤；以及根据所述第一图案的位置和所述第二图案的位置，测定所述试样中的重合偏差量的步骤。9.根据权利要求8所述的重合偏差量测定方法，其特征在于，在生成所述第一线轮廓或所述第二线轮廓的情况下，根据在所述匹配处理中确定出的所述重合测量用图案的位置，对执行所述扫描的位置进行校正。10.根据权利要求8所述的重合偏差量测定方法，其特征在于，所述重合偏差量测定方法还具有以下步骤：在生成所述第一线轮廓或所述第二线轮廓的情况下指定扫描区域。11.根据权利要求10所述的重合偏差量测定方法，其特征在于，所述扫描区域包含以第一方向为长度方向的第一扫描区域和以与所述第一方向交叉的第二方向为长度方向的第二扫描区域。12.根据权利要求8所述的重合偏差量测定方法，其特征在于，所述重合偏差量测定方法还具有以下步骤：按照与所述第一线轮廓或所述第二线轮廓对应的线模板图像和所述第一线轮廓或所述第二线轮廓的匹配处理的结果，调整在所述第一线轮廓或所述第二线轮廓中设定的测定光标的位置。13.根据权利要求8所述的重合偏差量测定方法，其特征在于，在生成所述第一线轮廓或所述第二线轮廓的情况下，通过将沿不同的方向扫描带电粒子束而得到的信号相加来生成所述第一线轮廓或所述第二线轮廓。
技术总结
在短时间内测量重合偏差量的测定。图像生成部根据检测器的信号生成图像。匹配处理部在由图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置。线轮廓生成部对重合图案进行扫描，生成针对二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对反射电子信号的第二线轮廓。重合偏差量测定部根据第一线轮廓确定重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据第二线轮廓确定重合测量用图案中的第二图案的位置，根据第一图案的位置以及第二图案的位置，测定试样中的重合偏差量。测定试样中的重合偏差量。测定试样中的重合偏差量。
技术研发人员：山本琢磨
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
技术研发日：2019.08.28
技术公布日：2022/3/21