1.一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,包括以下步骤:
a,在硅片表面制作深腔,深腔沉积钝化层,在深腔嵌入表面涂胶的芯片,芯片pad面朝下;
b,对转接板进行减薄,在芯片和深腔的缝隙内填胶,上面用胶粘贴盖板;
c,减薄转接板下表面,刻蚀凹槽使芯片pad露出,在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球,最后减薄转接板上表面得到最终结构。
2.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤a具体包括:
通过光刻,刻蚀工艺在转接板表面制作凹槽,凹槽宽度在1um到10000um,深度在10um到1000um;在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层,或者直接热氧化,绝缘层厚度范围在10nm到100um之间;
把芯片表面涂有胶体的芯片嵌入到深腔中,此处胶体为环氧树脂类热固化胶或光敏型光刻胶,厚度为1um到100um;
此处芯片pad面朝下。
3.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤b具体包括:
对转接板进行减薄,较薄厚度在1um到990um之间;
在芯片和深腔的缝隙内填胶后固化;
继续在减薄面涂布胶体,用盖板粘合在减薄面。
4.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤c具体包括:
减薄转接板下表面,通过光刻和干法刻蚀工艺刻蚀凹槽使芯片pad露出;
在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球;
最后减薄转接板上表面得到最终结构。
5.一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,包括以下步骤:
a,在硅片表面制作深腔,深腔沉积钝化层,在深腔嵌入表面涂胶的芯片,芯片pad面朝上,在芯片和深腔的缝隙内填胶,在芯片露出端粘贴盖板;
b,对转接板进行减薄,上面用胶粘贴盖板,减薄盖板;
c,刻蚀凹槽使芯片pad露出,在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球,最后减薄转接板上表面得到最终结构。
6.如权利要求5所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤c具体包括:
在减薄后的盖板表面通过光刻和干法刻蚀的工艺制作凹槽,使芯片pad露出;
在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层;
在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球;
减薄转接板上表面得到最终结构。