一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式的制作方法

文档序号:21281007发布日期:2020-06-26 23:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,包括以下步骤:

a,在硅片表面制作深腔,深腔沉积钝化层,在深腔嵌入表面涂胶的芯片,芯片pad面朝下;

b,对转接板进行减薄,在芯片和深腔的缝隙内填胶,上面用胶粘贴盖板;

c,减薄转接板下表面,刻蚀凹槽使芯片pad露出,在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球,最后减薄转接板上表面得到最终结构。

2.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤a具体包括:

通过光刻,刻蚀工艺在转接板表面制作凹槽,凹槽宽度在1um到10000um,深度在10um到1000um;在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层,或者直接热氧化,绝缘层厚度范围在10nm到100um之间;

把芯片表面涂有胶体的芯片嵌入到深腔中,此处胶体为环氧树脂类热固化胶或光敏型光刻胶,厚度为1um到100um;

此处芯片pad面朝下。

3.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤b具体包括:

对转接板进行减薄,较薄厚度在1um到990um之间;

在芯片和深腔的缝隙内填胶后固化;

继续在减薄面涂布胶体,用盖板粘合在减薄面。

4.如权利要求1所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤c具体包括:

减薄转接板下表面,通过光刻和干法刻蚀工艺刻蚀凹槽使芯片pad露出;

在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球;

最后减薄转接板上表面得到最终结构。

5.一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,包括以下步骤:

a,在硅片表面制作深腔,深腔沉积钝化层,在深腔嵌入表面涂胶的芯片,芯片pad面朝上,在芯片和深腔的缝隙内填胶,在芯片露出端粘贴盖板;

b,对转接板进行减薄,上面用胶粘贴盖板,减薄盖板;

c,刻蚀凹槽使芯片pad露出,在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球,最后减薄转接板上表面得到最终结构。

6.如权利要求5所述的芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,其特征在于,所述步骤c具体包括:

在减薄后的盖板表面通过光刻和干法刻蚀的工艺制作凹槽,使芯片pad露出;

在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀pad表面钝化层;

在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作rdl和焊盘,植球;

减薄转接板上表面得到最终结构。


技术总结
本发明公开了一种芯片表面覆盖硅材质的六面体封装方式,包括以下步骤:A,在硅片表面制作深腔,深腔沉积钝化层,在深腔嵌入表面涂胶的芯片,芯片PAD面朝下;B,对转接板进行减薄,在芯片和深腔的缝隙内填胶,上面用胶粘贴盖板;C,减薄转接板下表面,刻蚀凹槽使芯片PAD露出,在凹槽表面沉积钝化层,刻蚀PAD表面钝化层,在凹槽引出电镀金属,在金属表面制作RDL和焊盘,植球,最后减薄转接板上表面得到最终结构。

技术研发人员:郁发新;冯光建;王永河;马飞;程明芳
受保护的技术使用者:浙江集迈科微电子有限公司
技术研发日:2020.02.28
技术公布日:2020.06.26
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