1.一种屏蔽型igbt结构,其特征是:它包括集电极金属(1)、p型集电极区(2)、n型缓冲层(3)、n型外延层(4)、n型积累层(5)、p型体区(6)、第一类沟槽(7)、第二类沟槽(8)、第一类导电多晶硅(9)、第二类导电多晶硅(10)、栅氧层(11)、n型源区(12)、绝缘介质层(13)与发射极金属(14);
在集电极金属(1)的上表面设有p型集电极区(2),在p型集电极区(2)的上表面设有n型缓冲层(3),在n型缓冲层(3)的上表面设有n型外延层(4),在n型外延层(4)的上表面设有n型积累层(5),在n型积累层(5)的上表面设有p型体区(6),在p型体区(6)的上表面设有n型源区(12),在n型源区(12)的上表面设有绝缘介质层(13),在绝缘介质层(13)的上表面设有发射极金属(14);
所述第一类沟槽(7)与第二类沟槽(8)呈间隔设置,第一类沟槽(7)从n型源区(12)的上表面依次穿透p型体区(6)与n型积累层(5)并最后进入n型外延层(4)内,在第一类沟槽(7)的侧面与底面设有栅氧层(11),栅氧层(11)包裹所述第一类导电多晶硅(9);第二类沟槽(8)从n型源区(12)的上表面穿透p型体区(6)与并最后进入n型积累层(5)内,在第二类沟槽(8)的侧面与底面设有栅氧层(11),栅氧层(11)包裹所述第二类导电多晶硅(10);
所述发射极金属(14)通过相邻两个沟槽之间的第一发射极金属连接柱与n型源区(12)以及p型体区(6)欧姆接触,发射极金属(14)通过第二发射极金属连接柱与第一类导电多晶硅(9)欧姆接触。
2.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:相邻两个第二类沟槽(8)之间至少设置有一个第一类沟槽(7)。
3.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:相邻两个第一类沟槽(7)之间至少设置有一个第二类沟槽(8)。
4.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:所述第二类导电多晶硅(10)接栅极电位。
5.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:所述n型积累层(5)的电阻率小于n型外延层(4),n型缓冲层(3)的电阻率小于n型外延层(4)。