屏蔽型IGBT结构的制作方法

文档序号:21868114发布日期:2020-08-14 19:35阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种屏蔽型igbt结构,其特征是:它包括集电极金属(1)、p型集电极区(2)、n型缓冲层(3)、n型外延层(4)、n型积累层(5)、p型体区(6)、第一类沟槽(7)、第二类沟槽(8)、第一类导电多晶硅(9)、第二类导电多晶硅(10)、栅氧层(11)、n型源区(12)、绝缘介质层(13)与发射极金属(14);

在集电极金属(1)的上表面设有p型集电极区(2),在p型集电极区(2)的上表面设有n型缓冲层(3),在n型缓冲层(3)的上表面设有n型外延层(4),在n型外延层(4)的上表面设有n型积累层(5),在n型积累层(5)的上表面设有p型体区(6),在p型体区(6)的上表面设有n型源区(12),在n型源区(12)的上表面设有绝缘介质层(13),在绝缘介质层(13)的上表面设有发射极金属(14);

所述第一类沟槽(7)与第二类沟槽(8)呈间隔设置,第一类沟槽(7)从n型源区(12)的上表面依次穿透p型体区(6)与n型积累层(5)并最后进入n型外延层(4)内,在第一类沟槽(7)的侧面与底面设有栅氧层(11),栅氧层(11)包裹所述第一类导电多晶硅(9);第二类沟槽(8)从n型源区(12)的上表面穿透p型体区(6)与并最后进入n型积累层(5)内,在第二类沟槽(8)的侧面与底面设有栅氧层(11),栅氧层(11)包裹所述第二类导电多晶硅(10);

所述发射极金属(14)通过相邻两个沟槽之间的第一发射极金属连接柱与n型源区(12)以及p型体区(6)欧姆接触,发射极金属(14)通过第二发射极金属连接柱与第一类导电多晶硅(9)欧姆接触。

2.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:相邻两个第二类沟槽(8)之间至少设置有一个第一类沟槽(7)。

3.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:相邻两个第一类沟槽(7)之间至少设置有一个第二类沟槽(8)。

4.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:所述第二类导电多晶硅(10)接栅极电位。

5.根据权利要求1所述的屏蔽型igbt结构,其特征是:所述n型积累层(5)的电阻率小于n型外延层(4),n型缓冲层(3)的电阻率小于n型外延层(4)。


技术总结
本实用新型涉及一种屏蔽型IGBT结构,它包括集电极金属、P型集电极区、N型缓冲层、N型外延层、N型积累层、P型体区、第一类沟槽、第二类沟槽、第一类导电多晶硅、第二类导电多晶硅、栅氧层、N型源区、绝缘介质层与发射极金属;第一类沟槽与第二类沟槽呈间隔设置,第一类沟槽从N型源区的上表面依次穿透P型体区与N型积累层并最后进入N型外延层内,在第一类沟槽的侧面与底面设有栅氧层,栅氧层包裹所述第一类导电多晶硅;第二类沟槽从N型源区的上表面穿透P型体区与并最后进入N型积累层内,在第二类沟槽的侧面与底面设有栅氧层,栅氧层包裹第二类导电多晶硅。本实用新型器件的栅极电容极小,开关损耗较小,器件的可靠性得到了大幅提升。

技术研发人员:朱袁正;周锦程;李宗清
受保护的技术使用者:无锡新洁能股份有限公司
技术研发日:2020.02.26
技术公布日:2020.08.14
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1