一种MEMS毫米波滤波器盖板的制作方法

一种mems毫米波滤波器盖板
技术领域
1.本实用新型涉及滤波器盖板的技术领域，尤其涉及一种mems毫米波滤波器盖板。


背景技术：

2.随着信息技术的高速发展，随着毫米波通信系统的发展以及对小型化、高性能的需求，现有技术上的毫米波滤波器具备小体积、高性能、一致性好等优点，但是，毫米波滤波器由于结构的限制，导致了其存在结构强度不高、连接固定效果不好，导致盖板的使用效果不佳。


技术实现要素：

3.针对现有的滤波器盖板存在结构强度不高、连接固定效果不好，导致盖板的使用效果不佳的上述问题，现旨在提供一种mems毫米波滤波器盖板，结构强度高、连接固定效果好，使用效果佳。
4.具体技术方案如下：
5.一种mems毫米波滤波器盖板，包括：底板和设于所述底板上的凸板，所述底板和所述凸板均呈矩形设置，所述凸板位于所述底板的中部；
6.所述底板的一对角处上均设有第一定位槽，所述底板的另一对角处上设有若干定位通孔，若干所述定位通孔沿所述底板的长度方向设置；
7.所述凸板的一侧设有若干第二定位槽和若干第三定位槽，所述凸板的另一侧设有若干第四定位槽，若干所述第二定位槽、若干所述第三定位槽和若干所述第四定位槽均沿所述凸板的长度方向设置。
8.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述第二定位槽的数量为三个，两所述第二定位槽设于所述凸板的一侧的两端，另一所述第二定位槽设于所述凸板的一侧的中部，该两所述第二定位槽对称位于另一所述第二定位槽的两侧。
9.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述第三定位槽的数量为两个，两所述第三定位槽分别位于该两所述第二定位槽的一侧，所述第二定位槽的宽度与所述第三定位槽的宽度相等，所述第二定位槽的长度大于所述第三定位槽的长度。
10.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，三所述第二定位槽沿所述凸板的长度方向依次包括：第一深槽、第二深槽和第三深槽，两所述第三定位槽沿所述凸板的长度方向依次包括：第一浅槽和第二浅槽，所述第一深槽位于所述凸板的一端，所述第二深槽位于所述凸板的中部，所述第三深槽位于所述凸板的另一端，所述第一深槽和所述第三深槽分别对称位于所述第二深槽的两侧，所述第一浅槽位于所述第一深槽的一侧，且位于所述第一深槽与所述第二深槽之间，所述第二浅槽位于所述第三深槽的一侧，且位于所述第三深槽与所述凸板的另一端之间。
11.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述第四定位槽的数量为三个，三所述第四定位槽分别沿所述凸板的长度方向依次设于所述凸板的另一侧的一端。
12.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述第二定位槽的深度与所述凸板的厚度相等，所述第三定位槽的深度与所述第四定位槽的深度相等，所述第三定位槽的深度为所述凸板的厚度的一半。
13.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述定位通孔的数量为三个，三所述定位通孔沿所述底板的长度方向依次设置。
14.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，每一所述第一定位槽均包括：一圆槽和两限位槽，两所述限位槽分别与所述圆槽相连通，一所述限位槽沿所述底板的长度方向设置，另一所述限位槽沿所述底板的宽度方向设置，该一所述限位槽与另一所述限位槽垂直设置。
15.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述第一定位槽的深度为所述底板的厚度的一半。
16.上述的mems毫米波滤波器盖板，其中，所述凸板的四角处均设有圆弧倒角，所述底板的四角处均设有圆弧倒角。
17.上述技术方案与现有技术相比具有的积极效果是：
18.本实用新型在底板的对角处均设置第一定位槽，通过第一定位槽的结构实现盖板的四个方向的限位，在底板上设置定位通孔，在凸板上设置若干第二定位槽、第三定位槽和第四定位槽，实现盖板的连接，结构强度高、连接固定效果好，使用效果佳。
附图说明
19.图1为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的整体结构示意图；
20.图2为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中a-a方向的剖视图；
21.图3为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中b-b方向的剖视图；
22.图4为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中c-c方向的剖视图；
23.图5为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中d-d方向的剖视图；
24.附图中：1、底板；2、凸板；3、定位通孔；11、第一定位槽；12、第二定位槽；13、第三定位槽；14、第四定位槽；21、第一深槽；22、第二深槽；23、第三深槽；24、第一浅槽；25、第二浅槽；31、圆槽；32、限位槽。
具体实施方式
25.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
26.图1为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的整体结构示意图，图2为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中a-a方向的剖视图，图3为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中b-b方向的剖视图，图4为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中c-c方向的剖视图，图5为本实用新型一种mems毫米波滤波器盖板的的图1中d-d方向的剖视图，如图1至图5所示，示出了一种较佳实施例的mems毫米波滤波器盖板，包括：底板1和设于底板1上的凸板2，底板1和凸板2均呈矩形设置，凸板2位于底板1的中部。
27.进一步，作为一种较佳的实施例，底板1的一对角处上均设有第一定位槽11，底板1的另一对角处上设有若干定位通孔3，若干定位通孔3沿底板1的长度方向设置。
28.进一步，作为一种较佳的实施例，凸板2的一侧设有若干第二定位槽12和若干第三
定位槽13，凸板2的另一侧设有若干第四定位槽14，若干第二定位槽12、若干第三定位槽13和若干第四定位槽14均沿凸板2的长度方向设置。
29.进一步，作为一种较佳的实施例，第二定位槽12的数量为三个，两第二定位槽12设于凸板2的一侧的两端，另一第二定位槽12设于凸板2的一侧的中部，该两第二定位槽12对称位于另一第二定位槽12的两侧。
30.进一步，作为一种较佳的实施例，第三定位槽13的数量为两个，两第三定位槽13分别位于该两第二定位槽12的一侧，第二定位槽12的宽度与第三定位槽13的宽度相等，第二定位槽12的长度大于第三定位槽13的长度。
31.以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围。
32.本实用新型在上述基础上还具有如下实施方式：
33.本实用新型的进一步实施例中，请继续参见图1至图5所示，三第二定位槽12沿凸板2的长度方向依次包括：第一深槽21、第二深槽22和第三深槽23，两第三定位槽13沿凸板的长度方向依次包括：第一浅槽24和第二浅槽25，第一深槽21位于凸板2的一端，第二深槽22位于凸板2的中部，第三深槽23位于凸板2的另一端，第一深槽21和第三深槽23分别对称位于第二深槽22的两侧，第一浅槽24位于第一深槽21的一侧，且位于第一深槽21与第二深槽22之间，第二浅槽25位于第三深槽23的一侧，且位于第三深槽23与凸板2的另一端之间。
34.本实用新型的进一步实施例中，第四定位槽14的数量为三个，三第四定位槽14分别沿凸板2的长度方向依次设于凸板2的另一侧的一端。
35.本实用新型的进一步实施例中，第二定位槽12的深度与凸板2的厚度相等，第三定位槽13的深度与第四定位槽14的深度相等，第三定位槽13的深度为凸板2的厚度的一半。
36.优选的，两相邻所述第四定位槽14呈等间距设置。
37.本实用新型的进一步实施例中，定位通孔3的数量为三个，三定位通孔3沿底板1的长度方向依次设置。
38.本实用新型的进一步实施例中，每一第一定位槽11均包括：一圆槽31和两限位槽32，两限位槽32分别与圆槽31相连通，一限位槽32沿底板1的长度方向设置，另一限位槽32沿底板1的宽度方向设置，该一限位槽32与另一限位槽32垂直设置。
39.本实用新型的进一步实施例中，第一定位槽11的深度为底板1的厚度的一半。
40.本实用新型的进一步实施例中，凸板2的四角处均设有圆弧倒角，底板1的四角处均设有圆弧倒角。
41.优选的，底板1与凸板2为一体式结构。
42.优选的，凸板2的一端与底板1的一端之间的间距与凸板2的另一端与底板1的另一端之间的间距相等，凸板2的一侧与底板1的一侧之间的间距与凸板2的另一侧与底板1的另一侧之间的间距相等。
43.本实用新型在底板1的对角处均设置第一定位槽11，通过第一定位槽11的结构实现盖板的四个方向的限位，在底板1上设置定位通孔3，在凸板2上设置若干第二定位槽12、第三定位槽13和第四定位槽14，实现盖板的连接，结构强度高、连接固定效果好，使用效果佳。
44.以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及
保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。