一种硅片脱胶花篮的制作方法

1.本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种硅片脱胶花篮。


背景技术：

2.脱胶工序是硅片生产工艺流程中的一个重要步骤，脱胶工序的主要目的是把粘接在切割板材上且已经完成切割的硅片从板材上分离下来。
3.在进行脱胶工序前，硅片与切割板材粘接在一起。脱胶时，将硅片与切割板材均放置在硅片脱胶花篮内，对硅片进行脱胶。进行脱胶工序前会在硅片脱胶花篮中的相邻的两个硅片之间插入挡板，对硅片提供支撑和倚靠。
4.但是，在现有技术中，当硅片脱胶结束后，与挡板接触的硅片往往容易与挡板发生碰撞，导致硅片损坏甚至碎裂。
5.因此，亟需一种硅片脱胶花篮来解决上述问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种硅片脱胶花篮，能够避免挡板损坏硅片的技术问题。
7.如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：
8.一种硅片脱胶花篮，包括花篮本体，还包括：
9.侧部挡杆，所述花篮本体相对的两侧均设有一个所述侧部挡杆；
10.侧面夹紧机构，包括相对设置的两个夹紧件，两个所述夹紧件分别可转动设于两个所述侧部挡杆上，两个所述夹紧件能够分别与所述花篮本体中的待脱胶的硅片的相对的两侧抵接。
11.可选地，所述夹紧件包括：
12.连接套筒，可转动套设于所述侧部挡杆上；
13.连接杆，一端与所述连接套筒固定连接；
14.夹紧头，可转动设于所述连接杆的另一端，所述夹紧头能够与所述硅片的侧部抵接。
15.可选地，所述侧部挡杆为一体成型结构，包括小直径段和大直径段，所述小直径段和所述大直径段交替分布，所述连接套筒可转动套设于所述小直径段，所述连接套筒的内径小于所述大直径段的直径。
16.可选地，所述夹紧件能够锁定于所述侧部挡杆上。
17.可选地，两个所述侧部挡杆之间的距离可调。
18.可选地，所述花篮本体包括相对设置的两个端板，每一所述侧部挡杆的一端设于一个所述端板，另一端设于另一个所述端板；
19.每一所述端板上均设有两个侧部挡杆安装槽，所述侧部挡杆的端部在所述侧部挡杆安装槽内的安装位置可调。
20.可选地，所述硅片脱胶花篮还包括至少两个底部挡杆，至少两个所述底部挡杆能够承接脱胶后的所述硅片。
21.可选地，所述硅片脱胶花篮包括两个所述底部挡杆，两个所述底部挡杆的沿水平方向的距离可调。
22.可选地，所述底部挡杆的安装高度可调。
23.可选地，所述夹紧件上设有保护套，所述保护套能够与所述硅片抵接。
24.本实用新型提出的硅片脱胶花篮在对硅片进行脱胶时，将切割板材和硅片共同放置在硅片脱胶花篮内，由侧面夹紧机构的两个夹紧件分别与花篮本体中的硅片的相对的两侧抵接，对硅片起到支撑作用，从而无需设置挡板，进而能够避免脱胶结束后硅片与挡板之间发生碰撞导致的硅片损耗和暗裂；夹紧件仅与硅片的侧部抵接，在为硅片提供稳定支撑的同时，还能够避免硅片破裂。
25.且夹紧件可转动设于侧部挡杆上，如此设置，使得侧面夹紧机构的两个夹紧件之间的夹角可调，进而使得该硅片脱胶花篮能够适用不同尺寸的硅片，提高该硅片脱胶花篮的通用性。
附图说明
26.图1是本实用新型实施例提供的硅片脱胶花篮的侧面视图；
27.图2是图1中a-a截面的示意图；
28.图3是本实用新型实施例提供的连接套筒的示意图。
29.图中：
30.1、花篮本体；11、端板；111、侧部挡杆安装槽；12、工件板支撑杆；121、工件板凹槽；
31.2、侧部挡杆；21、小直径段；22、大直径段；
32.31、夹紧件；311、连接杆；312、夹紧头；313、连接套筒；3131、调节开口；3132、开口大小调节部；3133、调节螺栓；3134、调节螺母；
33.4、硅片；
34.5、底部挡杆；51、底部挡杆支撑块；511、底部挡杆安装槽；512、底板；513、竖板；5131、锁紧件开孔；
35.6、导轨；
36.7、切割板材；
37.8、工件板。
具体实施方式
38.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定
的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
40.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
41.本实施例提供一种硅片脱胶花篮，其能够在脱胶工序中对硅片提供稳定支撑，且能够避免硅片开裂的技术问题。
42.硅片在未脱胶之前，其粘接在切割板材上。进行脱胶工序时，将切割板材和硅片均放置在硅片脱胶花篮内进行脱胶。脱胶结束后，硅片与切割板材分离。
43.参见图1和图2，硅片脱胶花篮包括花篮本体1，花篮本体1设有用于容置硅片4的容置部，容置部为非封闭结构，花篮本体1的两端分别设有一个端板11，容置部的每一端部均具有一个端板11，两个端板11相对设置。容置部的上侧，下侧及两个旁侧均为开放式结构。
44.可选地，花篮本体1为不锈钢材质，不锈钢材质耐酸碱腐蚀性比较好，能够适应脱胶工序。
45.具体地，硅片脱胶花篮还包括侧部挡杆2、侧面夹紧机构和底部挡杆5。具体地，容置部的每一旁侧均设有侧部挡杆2，容置部的底部设有底部挡杆5。
46.底部挡杆5能够承接完成脱胶工序后从切割板材7上掉落下的硅片4。
47.具体地，本实施例中，花篮本体1相对的两侧均设有一个侧部挡杆2。每一侧部挡杆2的一端设于一个端板11，每一侧部挡杆2的另一端设于另一个端板11。
48.侧面夹紧机构包括相对设置的两个夹紧件31，两个夹紧件31分别可转动设于两个侧部挡杆2上，两个夹紧件31能够分别与花篮本体1中待脱胶的硅片4的相对的两侧抵接。具体地，夹紧件31与硅片4抵接时，夹紧件31与水平面呈夹角设置。
49.本实施例提供的硅片脱胶花篮在对硅片4进行脱胶时，将切割板材7和硅片4共同放置在硅片脱胶花篮内，由侧面夹紧机构的两个夹紧件31分别与花篮本体1中的硅片4的相对的两侧抵接，对硅片起到支撑作用，从而无需设置挡板，进而能够避免脱胶结束后硅片与挡板之间发生碰撞导致的硅片损耗和暗裂。夹紧件31仅与硅片4的侧部抵接，在为硅片4提供稳定支撑的同时，还能够避免硅片破裂。
50.且夹紧件31可转动设于侧部挡杆2上，如此设置，使得侧面夹紧机构的两个夹紧件31之间的夹角可调，进而使得该硅片脱胶花篮能够适用不同尺寸的硅片4，提高该硅片脱胶花篮的通用性。
51.优选地，夹紧件31上设有保护套，保护套能够与硅片4抵接，以保护硅片4与夹紧件31抵接的部分，避免损伤硅片。可选地，保护套为硅胶保护套。
52.具体地，本实施例中，硅片脱胶花篮包括多个侧面夹紧机构，以能够对多个硅片4进行夹紧支撑。
53.具体地，本实施例中，夹紧件31包括连接套筒313、连接杆311和夹紧头312。
54.其中，连接套筒313可转动套设于侧部挡杆2上；连接杆311的一端与连接套筒313
固定连接；夹紧头312可转动设于连接杆311的另一端，夹紧头312能够与硅片4的侧部抵接。
55.优选地，本实施例中，保护套设于夹紧头312上。
56.优选地，本实施例中，夹紧头312可360
°
转动设于连接杆311上。硅片4脱离切割板材7后，由于夹紧头312可360
°
转动设于连接杆311上，硅片4在自身重力的作用下下落时，夹紧头312能够相对硅片4的侧部转动，避免夹紧头312对硅片4的下落造成阻力。
57.进一步地，硅片4完成脱胶工序下落至与底部挡杆5接触时，夹紧头312依然能够与硅片4的侧部抵接，即：硅片4在脱胶前后，夹紧头312始终与硅片4的侧部抵接。如此设置，一方面使得侧面夹紧机构能够继续为硅片4提供夹紧支撑，使得硅片4脱胶后能够依然保持竖直状态；另一方面也避免夹紧件31自由下落损坏硅片4。
58.夹紧头312可360
°
转动设于连接杆311上，不影响脱胶结束后硅片4的取出。
59.优选地，本实施例中，夹紧头312为设于连接杆311的端部的轴承。具体地，连接杆311的端部设有与轴承配合的转轴，轴承套设于转轴上。轴承外表面包裹有硅胶套，以保护硅片。可选地，轴承的长度为20-40mm。
60.进一步地，当将夹紧件31调整至夹紧头312与硅片4的侧部抵接时，还可以采用锁紧机构将连接套筒313与侧部挡杆2锁死，避免夹紧件31自由转动。
61.参见图3，可选地，连接套筒313上设有锁紧机构，锁紧机构包括设于连接套筒313的侧部的调节开口3131，以调节连接套筒313的内径；进一步地，调节开口3131处设有两个开口大小调节部3132，通过调节件调节两个开口大小调节部3132之间的间隙大小，进而调节调节开口3131的开口大小，进而调节连接套筒313的内径。具体地，调节件包括调节螺栓3133和调节螺母3134。
62.当需要连接套筒313能够相对侧部挡杆2转动时，拧松调节螺母3134，使得调节开口3131最大；当需要将连接套筒313锁紧于侧部挡杆2时，拧紧调节螺母3134使得两个开口大小调节部3132互相抵接，此时连接套筒313锁紧于侧部挡杆2。
63.可以理解的是，当调节开口3131最大时，连接套筒313的内径稍大于侧部挡杆2的直径，以保证两个开口大小调节部3132互相抵接时连接套筒313锁紧于侧部挡杆2。
64.由于每一侧部挡杆2上均设有多个连接套筒313，为了避免连接套筒313发生移位，侧部挡杆2上设有限位结构。
65.具体地，侧部挡杆2为一体成型结构，包括小直径段21和大直径段22，小直径段21和大直径段22交替分布，连接套筒313可转动套设于小直径段21上，连接套筒313的内径小于大直径段22的直径。如此设置，大直径段22相对小直径段21形成限位轴肩，限制连接套筒313的移动。
66.可选地，本实施例中，小直径段21的长度为30-60mm。
67.具体地，本实施例中，可通过选择夹紧头312的长度使得每一硅片4均有夹紧件31夹持；也可以使得部分硅片4无夹紧件31夹持，根据需要选择即可。优选地，容置部内的每一硅片4均具有夹紧件31夹持。
68.优选地，侧部挡杆2的材质也为耐酸碱腐蚀性较好的材料，如不锈钢。
69.优选地，侧部挡杆2和连接套筒313采用3d打印制作。
70.优选地，侧部挡杆2的两端均为小直径段21，每一小直径段21上均可转动套设有连接套筒313。如此设置，使得硅片脱胶花篮两端均设置有侧面夹紧机构来夹紧硅片4。
71.为了能够对完成脱胶工序的硅片4提供稳定支撑，硅片脱胶花篮还包括至少两个底部挡杆5，至少两个底部挡杆5能够稳定支撑脱胶后的硅片4。优选地，为了简化结构，硅片脱胶花篮包括两个底部挡杆5，两个底部挡杆5在同一水平面间隔设置。
72.进一步地，为了使得该硅片脱胶花篮能够适应不同尺寸硅片4的脱胶工序，本实施例中，两个侧部挡杆2之间的距离可调；两个底部挡杆5的沿水平方向的距离可调；同时，底部挡杆5的安装高度可调。
73.具体地，本实施例中，为了实现两个侧部挡杆2之间的距离可调，每一端板11上均设有两个侧部挡杆安装槽111，侧部挡杆2的端部在侧部挡杆安装槽111内的安装位置可调。
74.具体地，参见图2，端板11的两侧均设有一个侧部挡杆安装槽111，侧部挡杆安装槽111自端板11的边缘沿水平方向向里延伸，侧部挡杆2在侧部挡杆安装槽111内的安装位置能够沿侧部挡杆安装槽111的延伸方向调整，待两个侧部挡杆2调整至预设安装位置后，采用锁紧螺母自侧部挡杆2的端部旋拧套设至侧部挡杆2直至锁紧螺母与端板11抵接。
75.当硅片4的尺寸较大时，两个侧部挡杆2均向端板11的边缘调整；当硅片4的尺寸较小时，两个侧部挡杆2均向端板11的中心调整。
76.具体地，为了实现底部挡杆5的水平位置调节，在硅片脱胶花篮底部的两端设有沿花篮宽度方向延伸的导轨6。每一底部挡杆5的两端均设有一个底部挡杆支撑块51，底部挡杆支撑块51的下端设在导轨6内且底部挡杆支撑块51在导轨6内的安装位置可调，以实现两个底部挡杆5之间的距离的调节。
77.为了实现底部挡杆5的高度调节，优选地，本实施例中，底部挡杆支撑块51内设有沿竖直方向延伸的底部挡杆安装槽511，底部挡杆安装槽511自底部挡杆支撑块51的上表面沿竖直方向向下延伸，使得底部挡杆支撑块51呈“凹”字型，具体地，底部挡杆支撑块51包括底板512和垂直设于底板512两端的竖板513，每一竖板513上均开设有沿竖直方向间隔设置的多个锁紧件开孔5131，两个竖板513上的锁紧件开孔5131一一对应设置，底部挡杆5的端部设于底部挡杆安装槽511，将底部挡杆5在底部挡杆安装槽511内调整至合适高度，再将底部挡杆锁紧件52依次穿过一个竖板513、底部挡杆5和另一个竖板513。
78.具体地，底部挡杆5上开设有与底部挡杆锁紧件52配合的安装孔。
79.优选地，底部挡杆5上套设有防护套，避免硅片4下落至底部挡杆5后与底部挡杆5发生刚性接触损坏硅片4。可选地，防护套的材质为硅胶或者橡胶。
80.硅片4进行脱胶工序前，硅片4一般粘结在切割板材7上，切割板材7粘结在工件板8上。具体地，工件板8为晶托。
81.进一步地，本实施例中，硅片脱胶花篮还包括工件板支撑杆12，用于支撑工件板8。具体地，工件板支撑杆12位于容置部的上侧。
82.进一步地，工件板支撑杆12上设有用于对工件板8进行定位的工件板凹槽121。优选地，工件板支撑杆12上设置有两个工件板凹槽121。
83.使用本实施例提供的硅片脱胶花篮在对硅片4进行脱胶时的步骤如下：
84.(1)根据待脱胶的硅片4的尺寸，调整底部挡杆5的竖直高度。同时调整两个底部挡杆5之间的水平距离；
85.(2)根据待脱胶的硅片4的尺寸，调整两个侧部挡杆2之间的距离；
86.(3)将工件板8放置到工件板支撑杆12上，此时，如图3所示，硅片4位于硅片脱胶花
篮的容置部内；
87.(4)将夹紧件31转动至与硅片4的侧部抵接，并将夹紧件31锁死避免其自由转动：
88.(5)进行脱胶工序；将硅片脱胶花篮移至自动脱胶机内，依次进行喷淋、超声、脱胶和漂洗等步骤；
89.(6)脱胶结束后，硅片4与切割板材7分离，并在自身重力作用下滑落至下部与底部挡杆5抵接，此时，底部挡杆5与夹紧件31共同为硅片4提供支撑。
90.示例性地，待脱胶的硅片4的尺寸为166mm，调整两个侧部挡杆2之间的距离为186mm-266mm，使得每一侧部挡杆2距离硅片4的侧部距离为10mm-30mm；调整两个底部挡杆5之间的水平距离为126mm-146mm，使得底部挡杆5与硅片4的底部之间的距离为5mm-10mm。
91.以上实施方式只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施方式限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。