一种伸缩式硅片转换组件的制作方法

[0001]
本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种伸缩式硅片转换组件。


背景技术：

[0002]
在半导体器件的实际生产中，根据不同的工艺流程，有时需要进行硅片盒内相邻两块硅片的间距的转换，即改变原来的硅片间距。目前，常用的操作方式大多采用人工将硅片从原来的硅片盒内取出，再放置于另外一个硅片卡槽间距不同的硅片盒内。显然这种方式存在工作效率低、强度大、人力成本高和易发生硅片受损的缺点。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种伸缩式硅片转换组件，以解决现有技术中采用人工来调整硅片间距存在工作效率低、强度大、人力成本高和易发生硅片受损的问题。
[0004]
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
[0005]
一种伸缩式硅片转换组件，其包括底座、驱动装置、导向杆和若干块调节基板，其中，所述导向杆沿底座的长度方向布置，所述若干块调节基板能沿导向杆活动地穿设于所述导向杆上，相邻两块调节基板之间设置有用于对两者间距限位的限位连接组件，所述驱动装置的驱动端连接于位于最外侧的调节基板上，每个调节基板的内侧面上均设置有硅片卡槽。
[0006]
作为本实用新型的一种优选方案，所述限位连接组件包括联动片，所述联动片固定于每个调节基板的外侧面上，且所述联动片一侧向内延伸有限位块，配合限位块于每个调节基板的一侧开设有限位槽，所有调节基板的限位槽朝向一致，所述联动片的限位块插入相邻的调节基板上的限位槽内。
[0007]
作为本实用新型的一种优选方案，所述底座包括底板，所述底板上竖直间隔固定有两块安装板，两根所述导向杆平行间隔安装于两块安装板上，配合导向杆于每块调节基板上开设有两个导向孔。
[0008]
作为本实用新型的一种优选方案，所述调节基板的中部开设有减重孔，所述两个导向孔分别设置于减重孔的两端。
[0009]
作为本实用新型的一种优选方案，所述调节基板截面为直角梯形结构，其外侧面为平面结构，内侧面为斜面结构。
[0010]
作为本实用新型的一种优选方案，所述联动片的中部设置有凸起部，所述凸起部的一侧向内延伸有限位块。
[0011]
作为本实用新型的一种优选方案，所述联动片的两端均开设有安装孔，对应于调节基板的外侧面上开设有螺纹孔，固定螺栓通过安装孔将联动片锁紧固定于螺纹孔内。
[0012]
作为本实用新型的一种优选方案，位于最外侧的一个调节基板上固定有连接板，所述驱动装置的驱动杆穿过其中的一块安装板并固定连接于所述连接板上。
[0013]
本实用新型的有益效果为，所述伸缩式硅片转换组件不仅结构紧凑，设计巧妙；而且能够自动实现硅片间距的调整，工作效率高，节省人力，整个转换过程安全可靠。
附图说明
[0014]
图1是本实用新型具体实施方式提供的伸缩式硅片转换组件的结构示意图；
[0015]
图2是本实用新型具体实施方式提供的伸缩式硅片转换组件的所有调节基板的装配示意图；
[0016]
图3是本实用新型具体实施方式提供的伸缩式硅片转换组件的所有调节基板的又一装配示意图；
[0017]
图4是本实用新型具体实施方式提供的伸缩式硅片转换组件的联动片的立体结构示意图；
[0018]
图5是本实用新型具体实施方式提供的伸缩式硅片转换组件的单个调节基板的截面图。
具体实施方式
[0019]
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
[0020]
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当部件被称为“固定于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者也可以存在居中的部件。当一个部件被认为是“连接”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0021]
请参照图1至图5所示，于本实施例中，一种伸缩式硅片转换组件包括底座1、驱动装置2、两根导向杆3和若干块调节基板4，底座1包括底板10，底板10上竖直间隔固定有两块安装板11，两根导向杆3沿底板10的长度方向平行间隔安装于两块安装板10上，配合导向杆3于每块调节基板4上开设有两个导向孔40，若干块调节基板4通过导向孔40能沿导向杆3活动地穿设于两根导向杆3上，所有调节基板4的截面均为形状和大小相同的直角梯形结构，其外侧面为平面结构，内侧面为斜面结构，每个调节基板4的中部均开设有长方形的减重孔41，两个导向孔40分别设置于减重孔41的两端，位于最外侧的一个调节基板4上固定有连接板5，驱动装置2的驱动杆穿过其中的一块安装板11并固定连接于连接板5上，驱动装置2采用气缸。
[0022]
每块调节基板4的外侧面上均固定有联动片6，联动片6的中部设置有凸起部60，凸起部60的一侧向内延伸有具有一定厚度的限位块61，联动片6的两端均开设有安装孔62，对应于调节基板4的外侧面上开设有螺纹孔，固定螺栓通过安装孔62将联动片6锁紧固定于螺
纹孔内，配合限位块61于每个调节基板4的一侧开设有限位槽42，所有调节基板4的限位槽42朝向一致，联动片6的限位块61插入相邻的调节基板4上的限位槽42内，每个调节基板4的内侧面上均设置有硅片卡槽。
[0023]
上述伸缩式硅片转换组件处于两种状态，一种是相邻两块调节基板4的最小间距，另一种则是相邻两块调节基板4的最大间距。工作时,采用两个平行间隔布置的上述伸缩式硅片转换组件，通过硅片卡槽将一组硅片托起，然后驱动装置2带动最外侧的一个调节基板4动作，当最外侧的调节基板4由一种状态移动至另外一种状态时，最外侧的调节基板4会带动相邻的调节基板4的动作，依次类推实现所有调节基板4的联动，最终实现相邻两块调节基板4的间距转换，联动片6能在动作过程中实现两种状态的限位。
[0024]
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。