一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟的制作方法

本实用新型涉及半导体工艺设备领域，尤其涉及一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟。

背景技术：

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉与其内的石英管相配合，常用于半导体硅片的高温扩散，进而生产得到芯片。在硅片扩散的过程中，石英舟是用于承载硅片的器具，其内部空间用于放置硅片。目前的石英舟一般是根据特定形状的硅片来设计的，一种结构的石英舟只能承载一种形状的硅片，在生产中购买设备的成本较高。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟，降低设备成本。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟，包括前侧板、后侧板、沿第一方向设置的两根上部支撑杆以及沿第一方向设置的两根下部支撑杆，所述前侧板与所述后侧板平行设置，两根所述上部支撑杆设于所述前侧板与所述后侧板之间的上端两侧，两根所述下部支撑杆设于所述前侧板与所述后侧板的底端，且两根所述上部支撑杆之间的距离大于两根所述下部支撑杆之间的距离；每根所述上部支撑杆上设有用于对硅片进行侧边定位的第一插槽，每根所述下部支撑杆上设有用于对硅片进行底端定位的第二插槽。

优选地，所述前侧板与所述后侧板的底端两侧均设有舟脚。

优选地，所述前侧板的底端中部设有前固定板，所述后侧板的底端中部设有后固定板，所述前固定板与所述后固定板之间设有连接杆。

进一步地，所述前固定板与所述前侧板一体成型，所述后固定板与所述后侧板一体成型。

优选地，所述上部支撑杆、所述下部支撑杆的截面为矩形、菱形或圆形。

优选地，所述第一插槽沿所述上部支撑杆的周向环绕所述上部支撑杆一圈，所述第一插槽的内部形成圆柱形的第一接触杆。

优选地，所述第二插槽沿所述下部支撑杆的周向环绕所述下部支撑杆一圈，所述第二插槽的内部形成圆柱形的第二接触杆。

优选地，每根所述上部支撑杆、所述下部支撑杆的两端通过紧固件与所述前侧板、所述后侧板分别连接。

进一步地，所述紧固件为螺钉或螺丝。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型对石英舟的结构进行优化设计，使其能够兼容承载方形硅片和菱形硅片，提高了石英舟的利用效率，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟的俯视图；

图2为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟的主视图；

图3为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟中上部支撑杆的剖视图；

图4为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟中下部支撑杆的剖视图；

图5为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟承载方形硅片时的主视图；

图6为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟承载菱形硅片时的主视图。

图中，100-石英舟，10-前侧板，11-舟脚，20-后侧板，30-上部支撑杆，31-第一插槽，32-第一接触杆，40-下部支撑杆，41-第二插槽，42-第二接触杆，50-前固定板，70-连接杆，80-紧固件，90-硅片，x-第一方向。

具体实施方式

为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。

请结合参见图1和图2，图1为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟的俯视图；图2为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟的主视图。本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟100，包括前侧板10、后侧板20、沿第一方向x设置的两根上部支撑杆30以及沿第一方向x设置的两根下部支撑杆40；前侧板10与后侧板20平行设置，两根上部支撑杆30设于前侧板10与后侧板20之间的上端两侧，用于支撑硅片90两侧；两根下部支撑杆40设于前侧板10与后侧板20的底端，用于支撑硅片90底端；且两根上部支撑杆30之间的距离大于两根下部支撑杆40之间的距离，两根上部支撑杆30与两根下部支撑杆40形成倒立等腰梯形结构；每根上部支撑杆30上设有用于对硅片90进行侧边定位的第一插槽31，每根下部支撑杆40上设有用于对硅片90进行底端定位的第二插槽41。

请结合参见图5和图6，图5为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟承载方形硅片时的主视图；图6为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟承载菱形硅片时的主视图。当石英舟100上承载方形硅片时，方形硅片的两侧边嵌入两根上部支撑杆30上的第一插槽31内，方形硅片的底边嵌入两根下部支撑杆40上的第二插槽41内；当石英舟100上承载菱形硅片时，菱形硅片的下部两斜边嵌入对应的第一插槽31及第二插槽41内，从而可以使用一种结构的石英舟100装载不同结构的硅片90，降低设备成本。

优选地，上部支撑杆30、下部支撑杆40的截面为矩形、菱形或圆形。请结合参见图3和图4，图3为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟中上部支撑杆的剖视图；图4为本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟中下部支撑杆的剖视图；本实用新型实施例1的一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟100中，上部支撑杆30、下部支撑杆40的截面为方形，但是本实用新型并不以此为限，在其他实施例中，可以根据实际需求设计上部支撑杆30、下部支撑杆40的形状；第一插槽31沿上部支撑杆30的周向环绕上部支撑杆30一圈，第一插槽31的内部形成圆柱形的第一接触杆32，第一接触杆32表面光滑，能够避免划伤硅片90；第二插槽41沿下部支撑杆40的周向环绕下部支撑杆40一圈，第二插槽41的内部形成圆柱形的第二接触杆42，第二接触杆42表面光滑，能够避免划伤硅片90。第一插槽31设计为环绕第一支撑杆30周向一圈的结构、第二插槽41设计为环绕第二支撑杆40周向一圈的结构，因而可以调整不同结构的硅片90与第一接触杆30、第二接触杆40的接触位置，使得石英舟100在装载不同结构硅片90的时候具有更大的兼容性。

优选地，请参见图2，前侧板10与后侧板20的底端两侧均设有舟脚11，用于支撑石英舟100，前侧板10底端的舟脚11与前侧板10一体成型，后侧板20底端的舟脚11与后侧板20一体成型。

优选地，请结合参见图1和图2，前侧板10的底端中部设有前固定板50，前固定板50与前侧板10一体成型，后侧板20的底端中部设有后固定板，后固定板与后侧板20一体成型，前固定板50与后固定板之间设有连接杆70，连接杆70位于石英舟100的底端中间位置，用于增强石英舟100的结构强度。

优选地，每根上部支撑杆30、下部支撑杆40的两端通过紧固件80与前侧板10、后侧板20分别连接。进一步地，紧固件80为螺钉或螺丝，方便安装、拆卸。

综上所述，本实用新型提供一种兼容方形硅片和菱形硅片的石英舟，对石英舟的结构进行优化设计，使其能够兼容承载方形硅片和菱形硅片，提高了石英舟的利用效率，降低了生产成本。

本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。