一种芯片自动下料设备的制作方法

1.本实用新型属于半导体加工领域，具体涉及一种芯片自动下料设备。


背景技术：

2.在半导体行业中，为了加快生产速度，通常都会采用芯片自动下料设备，来用于治具的自动下料，治具盖板的自动拆合，芯片的自动搬运及芯片的自动下料等工作。
3.现有的芯片自动下料设备大多采用手动下基板的方式，虽然目前市面上也有少部分设备可实现基板自动下料功能，但这些设备大多数都是一种基板对应一种基本下料料仓，无法兼容多种基板下料，局限性比较大，可提升生产效率的空间几乎被完全开发。
4.同时，现有的芯片自动下料设备的吸嘴机构可适用基板的种类较少，且由于基板两端排列有很多不规则的小孔，因此在基板的取料、搬运、放料过程中很容易就造成吸嘴的破真空，稳定性低，这也是设备整体效率不高的问题之一。
5.另外，现有的芯片自动下料设备的治具盖板拆合机构，由于治具底板上镶有多个磁铁的原因，因此在取盖板时，盖板会产生倾斜，进而导致在合盖板时，盖板不能准确放入治具底板上的定位销，稳定性低，这也是降低芯片自动下料设备整体效率的问题之一。


技术实现要素：

6.针对现有技术存在的缺陷，本实用新型提供了一种芯片自动下料设备，以提升设备的通用性，保障运行的稳定性，提高设备整体的生产效率。
7.为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
8.一种芯片自动下料设备，包括工作台以及同时位于所述工作台上的直线电机吸嘴机构、基板推料机构、基板料仓升降机构、基板下料线体、前段移栽线体、拆合盖板机构、后段移栽线体、底板移栽机构、底板推料机构、底板料仓升降机构和底板下料线体；
9.所述工作台台面的左部及中部并排设置有若干个所述基板推料机构，每个所述基板推料机构的后方分别设置有一个所述基板料仓升降机构，每个所述基板料仓升降机构的后方分别设置有至少一个所述基板下料线体，所述工作台台面的右部设置有一个与所述基板推料机构并排的所述前段移栽线体，所述直线电机吸嘴机构架设在所有所述基板推料机构以及所述前段移栽线体的上方，所述前段移栽线体的上方架设有一个所述拆合盖板机构，所述前段移栽线体的后方设置有一个所述后段移栽线体，所述后段移栽线体的右侧并排设置有至少一个所述底板推料机构，每个底板推料机构的后方分别设置有一个所述底板料仓升降机构，每个所述底板料仓升降机构的后方分别设置有至少一个所述底板下料线体，所述底板移栽机构架设在所述后段移栽线体以及所有所述底板推料机构的上方。
10.进一步的，所述前段移栽线体和所述后段移栽线体结构相似，其中，
11.所述前段移栽线体包括两块间距可调的第一线体可调板，两块所述第一线体可调板内侧的上沿分别通过一对第一同步轮设置有一条第一平皮带，两条所述第一平皮带同时受一个安装在其中一块所述第一线体可调板上的第一减速电机驱动；两块所述第一线体可
调板间隙的前端和后端分别设置有一个第一反射光电传感器，两块所述第一线体可调板的中部分别设置有一对第一侧推机构，所述第一侧推机构的前方和后方分别设置有一对第一下压机构，位于前方的一对所述第一下压机构的前方设置有一个可升降的第一后推机构，位于后方的一对所述第一下压机构的后方设置有一个可升降的第一阻挡机构；
12.所述后段移栽线体包括两块间距可调的第二线体可调板，两块所述第二线体可调板内侧的上沿分别通过一对第二同步轮设置有一条第二平皮带，两条所述第二平皮带同时受一个安装在其中一块所述第二线体可调板上的第二减速电机驱动；两块所述第二线体可调板间隙的前端设置有一个第二反射光电传感器，两块所述第二线体可调板间隙的中后部设置有一个可升降的第二阻挡机构。
13.进一步的，所述前段移栽线体的间隙调节方式为，其中一块所述第一线体可调板直接与所述工作台连接，作为第一固定线体可调板，另一块所述第一线体可调板通过其前后两端的第一滑轨与所述工作台连接，作为第一移动线体可调板；所述第一移动线体可调板的中前部和中后部分别穿设有一根可相对滑动的第一导柱，两根所述第一导柱的一端分别与所述第一固定线体可调板的内侧固定连接，两根所述第一导柱的另一端分别与一个固定在所述工作台上的第一导柱支架连接；
14.所述后段移栽线体的间隙调节方式为，其中一块所述第二线体可调板直接与所述工作台连接，作为第二固定线体可调板，另一块所述第二线体可调板通过其前后两端的第二滑轨与所述工作台连接，作为第二移动线体可调板；所述第二移动线体可调板的中前部和中后部分别穿设有一根可相对滑动的第二导柱，两根所述第二导柱的一端分别与所述第二固定线体可调板的内侧固定连接，两根所述第二导柱的另一端分别与一个固定在所述工作台上的第二导柱支架连接。
15.进一步的，所述拆合盖板机构包括一个设置在第一支撑柱顶部的y轴模组，所述y轴模组的移动座上设置有升降气缸、读码器和激光位移传感器，所述升降气缸、所述读码器和所述激光位移传感器通过所述y轴模组及所述第一支撑柱悬设在所述前段移栽线体后端的上方，所述升降气缸上设置有拆合盖板组件。
16.进一步的，所述拆合盖板组件包括一块中间镂空的顶针安装板，所述顶针安装板的上方通过若干顶针安装板连接柱设置有一块顶针连接板，所述顶针连接板的上方设置有一块与所述升降气缸连接的机构安装板，所述机构安装板的一侧通过顶针气缸安装板安装有一个顶针气缸，所述顶针气缸的推块与所述顶针连接板的上表面固定连接；所述顶针安装板的镂空结构中设置有一块与所述顶针安装板平行的直线轴承安装板，所述直线轴承安装板的四周边缘上分别设置有若干个垂直方向的直线轴承，所述顶针安装板的下方通过若干导向柱设置有一块盖板贴合板，所述导向柱的数量及分布均与所述直线轴承的数量及分布相对应，所述导向柱的上部穿设在对应的所述直线轴承中，所述导向柱的底端则与所述盖板贴合板的上表面固定连接，所述导向柱上套设有弹簧，所述弹簧的顶端和底端分别与所述直线轴承和所述盖板贴合板相抵；所述顶针安装板下表面的四周边缘分别设置有垂直向下的顶针，所述盖板贴合板下表面的四周边缘设置有若干个顶针过孔，所述顶针过孔的数量及分布均与所述顶针的数量及分布相对应，且所述盖板贴合板下表面的四周边缘还设置有若干个磁铁安装槽，所述磁铁安装槽内嵌设有可替换的磁铁或空置。
17.进一步的，所述直线电机吸嘴机构包括设置在若干根支柱上的直线电机，所述直
线电机通过所述支柱架设在所有所述基板推料机构以及所述前段移栽线体的上方，所述直线电机的移动座上设置有第一z轴模组，所述第一z轴模组的移动座上设置有多头吸嘴组件，所述直线电机的右端下方还设置有一个ccd组件。
18.进一步的，所述多头吸嘴组件包括一个与所述第一z轴模组的移动座连接的所述机构安装块，所述机构安装块底部的前后两侧分别固定连接有一块吸嘴前后调节块安装板，前后两块所述吸嘴前后调节块安装板的左右两端均设置有一个吸嘴前后调节块，前后两块所述吸嘴前后调节块安装板的底部分别设置一块向前伸出的真空发生器安装板和向后伸出的真空发生器安装板，任意一块所述真空发生器安装板的伸出部分上设置有一个真空发生器；所述机构安装块的左右两个侧壁上分别设置有一个可向左水平伸出的侧边气缸和一个可向右水平伸出的侧边气缸，左右两个所述侧边气缸的推块均通过对应的吸嘴左右调节块安装板设置有一个吸嘴左右调节块；每个所述吸嘴前后调节块和每个所述吸嘴左右调节块中均通过对应的快拆调节旋钮设置有至少一个位置可调并可拆卸的吸嘴安装块，每个所述吸嘴安装块上均设置有一个垂直向下的吸嘴，每个所述吸嘴的顶端均通过一个真空止回阀与所述真空发生器连接；前后两块所述真空发生器安装板的底部分别设置有一个可向前水平伸出的l型支撑块开合气缸和一个可向后水平伸出的l型支撑块开合气缸，前后两个所述l型支撑块开合气缸的推块上均设置有一块左右水平延伸的l型支撑块连接板，前后两块所述l型支撑块连接板上分别均匀设置有若干个向后折弯的l型支撑块和若干个向前折弯的l型支撑块。
19.进一步的，所述吸嘴前后调节块和所述吸嘴左右调节块上均设置有便于所述吸嘴安装块来回滑动的腰型孔，所述快拆调节旋钮采用螺母旋钮，所述吸嘴安装块通过拧紧各自顶部的所述螺母旋钮实现在所述腰型孔中的定位；位于所述吸嘴前后调节块上的腰型孔呈左右水平设置，以供其中的所述吸嘴安装块的左右位置调节，位于所述吸嘴左右调节块上的腰型孔呈前后水平设置，以供其中的所述吸嘴安装块的前后位置调节。
20.进一步的，所述基板推料机构和所述底板推料机构的结构类似，其中，
21.所述基板推料机构包括第一移载组件、第一同步组件、第一压板组件和第一挡块组件，所述第一移载组件包括用于承载基板的第一支撑板、第一推块、第一推块支座、第一推块支座滑块和第一线性滑轨，所述第一推块与所述第一支撑板的后端固定连接，所述第一线性滑轨位于所述第一支撑板的下方，所述第一推块支座滑块可滑动地设置在所述第一线性滑轨上，所述第一推块支座滑块设置在所述第一推块支座滑块上，所述第一推块通过第一推块滑轨设置在第一推块支座上，所述第一推块支座上安装有一个用于感应所述第一支撑板前推阻力的第一开关探针，所述第一开关探针通过第一弹簧与所述第一推块连接；所述第一同步组件包括第一步进电机、第一主动轮、第一从动轮和第一同步带，所述第一主动轮和所述第一从动轮分别位于所述第一线性滑轨的前后两端，所述第一步进电机的输出端与所述第一主动轮连接，所述第一同步带同时套设在所述第一主动轮和所述第一从动轮上，且所述第一同步带的一侧与所述第一推块支座滑块固定连接；所述第一压板组件包括两块用于压住所述基板左右边缘的第一压板、两个第一侧推压板气缸和两个第一压板支架，两个所述第一压板支架分别位于所述第一支撑板初始位置的左右两侧，两块所述第一压板分别可左右移动地设置在两个所述第一压板支架上，两个所述第一侧推压板气缸分别安装在两个所述第一压板支架上，且两个所述第一侧推压板气缸的输出端分别与两块所述
第一压板连接，在所述第一支撑板初始位置的附近设置有用于感应所述基板是否到位的第一接近开关；所述第一挡块组件包括用于将所述基板挡在基板料仓的第一挡块、第一挡块气缸和第一挡块气缸支架，所述第一挡块气缸支架位于所述第一支撑板初始位置的前方一侧，所述第一挡块气缸通过所述第一挡块气缸支架悬设在所述第一支撑板初始位置的前侧上方，所述第一挡块与所述第一挡块气缸的输出端连接，所述第一挡块的左右两侧设置有至少一组用于检测并反馈基板料仓上每层轨道与即将推入的所述基板的水平位置是否对应的第一对射激光传感器；
22.所述底板推料机构包括第二移载组件和第二同步组件，所述第二移载组件包括用于承载底板的第二支撑板、第二支撑板支架、第二推块、第二推块支座、第二推块支座滑块和第二线性滑轨，所述第二支撑板设置在所述第二支撑板支架上，所述第二推块位于所述第二支撑板的前方，所述第二线性滑轨位于所述第二支撑板的下方，所述第二推块支座滑块可滑动地设置在所述第二线性滑轨上，所述第二推块支座设置在所述第二推块支座滑块上，所述第二推块通过第二推块滑轨设置在第二推块支座上，所述第二推块支座上安装有一个用于感应所述第二支撑板前推阻力的第二开关探针，所述第二开关探针通过第二弹簧与所述第二推块连接；所述第二同步组件包括第二步进电机、第二主动轮、第二从动轮和第二同步带，所述第二主动轮和所述第二从动轮分别位于所述第二线性滑轨的前后两端，所述第二步进电机的输出端与所述第二主动轮连接，所述第二同步带同时套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上，且所述第二同步带的一侧与所述第二推块支座滑块固定连接，所述第二支撑板的下方设置有用于感应所述底板是否到位的第二接近开关，所述第二支撑板的后端下方设置有第三反射光电传感器。
23.进一步的，所述基板料仓升降机构和所述底板料仓升降机构的结构近似，其中，
24.所述基板料仓升降机构包括一个嵌设在所述工作台上的第二z轴模组，所述第二z轴模组的移动座上设置有第二x轴模组，所述第二x轴模组的移动座上设置有一个用于夹持基板料仓的基板料仓夹紧组件，所述基板料仓夹紧组件上设置有一个用于感应基板料仓是否到位的第三接近开关；
25.所述底板料仓升降机构包括一个嵌设在所述工作台上的第三z轴模组，所述第三z轴模组的移动座上设置有第三x轴模组，所述第三x轴模组的移动座上设置有一个用于夹持底板料仓的底板料仓夹紧组件，所述底板料仓夹紧组件上设置有一个用于感应底板料仓是否到位的第四接近开关。
26.进一步的，所述基板下料线体和所述底板下料线体的结构近似，其中，
27.所述基板下料线体包括一条设置在所述工作台台面上或台面下的基板料仓滑道，所述基板料仓滑道的前端设置有一对第二挡块和一组第一对射光电传感器，所述基板料仓滑道的内部两侧分别通过同步轮设置有两条第三同步带，两条所述第三同步带均通过一个设置在所述基板料仓滑道后端的第三减速电机驱动，所述基板料仓滑道的侧边通过基板料仓推块气缸设置有一个基板料仓推块；
28.所述底板下料线体包括一条设置在所述工作台台面上或台面下的底板料仓滑道，所述底板料仓滑道的前端设置有一对第三挡块和一组第二对射光电传感器，所述底板料仓滑道的内部两侧分别通过同步轮设置有两条第四同步带，两条所述第四同步带均通过一个设置在所述底板料仓滑道后端的第四减速电机驱动，所述底板料仓滑道的侧边通过底板料
仓推块气缸设置有一个底板料仓推块，所述底板料仓滑道内部的后端设置有一个第四反射光电传感器。
29.进一步的，所述底板移栽机构包括一条设置在一个龙门架顶端的底板夹爪同步组件，所述底板夹爪同步组件包括两条第三滑轨，两条所述第三滑轨之间通过同步轮设置有一条第五同步带，所述第五同步带由第三步进电机驱动，两条所述第三滑轨上共同设置有一个底板夹爪滑块，所述底板夹爪滑块与所述第五同步带的一侧固定连接，所述底板夹爪滑块上设置有一个第四z轴模组，所述第四z轴模组的移动座上通过底板夹爪安装座设置有一个底板夹爪组件。
30.本实用新型的有益效果为：
31.1、本实用新型采用8组基板下料线体和2组底板下料线体等机构，吸嘴机构可兼容多种类基板，布局合理，充分利用空间，人员操作频率低，上下料时间集中。
32.2、本实用新型的基板治具从前分片设备流至移栽线体，侧推机构定位。侧推机构采用随可调板移动，线体宽度调整时，减少侧推机构调试动作。移栽线体的宽度根据基板治具种类，可进行调节宽度，适用多种治具底板，有效的提升设备的实用性。
33.3、本实用新型的拆合治具盖板机构，采用强磁吸取盖板，拆盖板时，模组移至移栽线体定位处，z轴气缸下降，吸取治具上的盖板：合盖板时，采用气缸带动顶针将盖板顶出，保证合盖板时盖板与拆合盖板机构分离；采用常用强磁，而且可以快速更换，磁铁数目，可以按需增减，可以实现每次成功拆合盖板，提升整个设备的效率。
34.4、本实用新型的多头吸嘴机构，采用直线电机将基板移栽到8个基板推料工位，实现基板高精度的下料；多头吸嘴机构具有12组吸嘴，并且采用腰形孔，快拆旋钮，便于吸嘴位置调节；每个吸嘴装有真空止回阀，防止吸取不同种类基板破真空，适用于多种同规格新品取料；吸嘴机构前后两端各采用气缸，将吸嘴位置错位，可用于不同规格的基板搬运，有效的提升设备的通用性；吸嘴下方装有l型支撑块机构，通过气缸运作，支撑基板的底部，可有效的避免基板在搬运中，因其他不定因素导致芯片脱落，降低芯片搬运的风险，为设备整体的稳定性提供了保障。
35.5、本实用新型的基板推料机构动力源采用步进电机驱动，对机构进行闭环控制，很好的控制了移栽精度；采用对角接近开关，托板支撑基板底面，避免基板在推入料仓时凹陷；采用左右两侧压板辅助，可防止基板经过btu后自身拱起而导致折料的风险发生；采用开关探针与弹簧做缓冲机构与激光传感器检测料仓的z轴的水平位置，提升基板推入基板料仓的安全性。
36.6、本实用新型的基板料仓升降机构采用x/z轴丝杆模组，从基板下料线体抓取料仓，气缸压紧料仓定位，接近开关感应料仓到位，保证取料仓的稳定性。
37.7、本实用新型的基板下料线体采用同步带驱动料仓，基板下料线体分为上下两层，循环上下料仓，充分利用了空间，方便作业员上下料。上下每层的线体都采用宽度可调机构，适用于多种规格的基板料仓上下料，有效的提升设备的通用性。
38.8、本实用新型的治具底板移栽机构的动力源采用步进电机驱动，对机构进行闭环控制，很好的控制了移栽精度。抓取治具底板的夹爪，根据底板种类，可做相应的调整间距，提升设备的兼容性。
39.9、本实用新型的底板推料机构动力源采用步进电机驱动，对机构进行闭环控制，
很好的控制了移栽精度；采用对角接近开关，开关探针与弹簧做缓冲机构，提升底板推入底板料仓的安全性。
40.10、本实用新型的治具底板料仓升降机构采用x/z轴丝杆模组，从底板下料线体抓取料仓，气缸压紧料仓定位，接近开关感应料仓到位，保证取料仓的稳定性。
41.11、本实用新型的治具底板下料线体采用同步带驱动料仓，底板下料线体分为上下两层，循环上下料仓，充分利用了空间，方便作业员上下料。上下每层的线体都采用宽度可调机构，适用于多种规格的底板料仓上下料，有效的提升设备的通用性。
42.12、本实用新型采用读码器，读取基板上二维码对应的前站8台打芯片设备的数据，并通过直线电机将基板移栽至对应的基板推料机构上，进行下料，为设备多种基板的下料的稳定性提供了保障。
43.13、本实用新型采用激光位移传感器与ccd协同作业判别基板是否可以下料，激光位移传感器先检测治具底板的台阶面为基准，在检测基板的几个点位移，点数可增减，对基板进行变形位移预判，为基板下料的安全性提供了保障。ccd先检测基板与基板推料机构上的支撑板的相对偏移角度，判断基板是否放歪；再检测基板与基板料仓外端之间的相对间距，判断基板与基板料仓左右间距是否满足要求，待基板料仓最上端与基板平面平齐时拍一次，检测基板与料仓外端间距；后面只拍基板，与第一次拍的产品外端做对比，判断相对间距是否ok。在基板料仓两侧对射传感器，用于检测基板料仓每层与基板平齐时的料仓位置是否ok。
44.14、本实用新型考虑到静电对芯片的伤害问题，采用除静电设备，消除设备静电。
45.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
46.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
47.图1为本实用新型芯片自动下料设备的立体图；
48.图2为本实用新型芯片自动下料设备的俯视图；
49.图3为本实用新型前段移栽线体的立体图；
50.图4为本实用新型拆合盖板机构的立体图；
51.图5为本实用新型拆合盖板机构中拆合盖板组件的上部立体图；
52.图6为本实用新型拆合盖板机构中拆合盖板组件的下部立体图；
53.图7为本实用新型直线电机吸嘴机构的立体图；
54.图8为本实用新型直线电机吸嘴机构中多头吸嘴机构的立体图；
55.图9为本实用新型直线电机吸嘴机构中多头吸嘴机构的仰视图；
56.图10为本实用新型基板推料机构左侧立体图；
57.图11为本实用新型基板推料机构右侧立体图；
58.图12为本实用新型基板料仓升降机构的立体图；
59.图13为本实用新型基板下料线体的立体图；
60.图14为本实用新型底板移栽机构的立体图；
61.图15为本实用新型后段移栽线体的立体图；
62.图16为本实用新型底板推料机构的立体图；
63.图17为本实用新型底板料仓升降机构的立体图；
64.图18为本实用新型底板下料线体的立体图。
具体实施方式
65.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。此处所作说明用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
66.参见图1
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2所示，一种芯片自动下料设备，包括工作台1以及同时位于所述工作台1上的直线电机吸嘴机构3、基板推料机构11、基板料仓升降机构10、基板下料线体2、前段移栽线体12、拆合盖板机构4、后段移栽线体9、底板移栽机构5、底板推料机构6、底板料仓升降机构7和底板下料线体8；
67.所述工作台1台面的左部及中部并排设置有若干个所述基板推料机构11，每个所述基板推料机构11的后方分别设置有一个所述基板料仓升降机构10，每个所述基板料仓升降机构10的后方分别设置有至少一个所述基板下料线体2，所述工作台1台面的右部设置有一个与所述基板推料机构11并排的所述前段移栽线体12，所述直线电机吸嘴机构3架设在所有所述基板推料机构11以及所述前段移栽线体12的上方，所述前段移栽线体12的上方架设有一个所述拆合盖板机构4，所述前段移栽线体12的后方设置有一个所述后段移栽线体9，所述后段移栽线体9的右侧并排设置有至少一个所述底板推料机构6，每个底板推料机构6的后方分别设置有一个所述底板料仓升降机构7，每个所述底板料仓升降机构7的后方分别设置有至少一个所述底板下料线体8，所述底板移栽机构5架设在所述后段移栽线体9以及所有所述底板推料机构6的上方。
68.进一步的，参见图3所示，所述前段移栽线体12包括两块间距可调的第一线体可调板15，两块所述第一线体可调板15内侧的上沿分别通过一对第一同步轮20设置有一条第一平皮带22，两条所述第一平皮带22同时受一个安装在其中一块所述第一线体可调板15上的第一减速电机18驱动；两块所述第一线体可调板15间隙的前端和后端分别设置有一个第一反射光电传感器23，两块所述第一线体可调板15的中部分别设置有一对第一侧推机构17，所述第一侧推机构17的前方和后方分别设置有一对第一下压机构16，位于前方的一对所述第一下压机构16的前方设置有一个可升降的第一后推机构21，位于后方的一对所述第一下压机构16的后方设置有一个可升降的第一阻挡机构19；
69.所述前段移栽线体12的间隙调节方式为，其中一块所述第一线体可调板15直接与所述工作台1连接，作为第一固定线体可调板，另一块所述第一线体可调板15通过其前后两端的第一滑轨13与所述工作台1连接，作为第一移动线体可调板；所述第一移动线体可调板的中前部和中后部分别穿设有一根可相对滑动的第一导柱14，两根所述第一导柱14的一端分别与所述第一固定线体可调板的内侧固定连接，两根所述第一导柱14的另一端分别与一个固定在所述工作台1上的第一导柱支架112连接。
70.进一步的，参见图4所示，所述拆合盖板机构4包括一个设置在第一支撑柱25顶部的y轴模组24，所述y轴模组24的移动座上设置有升降气缸29、读码器27和激光位移传感器26，所述升降气缸29、所述读码器27和所述激光位移传感器26通过所述y轴模组24及所述第一支撑柱25悬设在所述前段移栽线体12后端的上方，所述升降气缸29上设置有拆合盖板组件28。
71.进一步的，参见图5
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6所示，所述拆合盖板组件28包括一块中间镂空的顶针安装板113，所述顶针安装板113的上方通过若干顶针安装板连接柱114设置有一块顶针连接板30，所述顶针连接板30的上方设置有一块与所述升降气缸29连接的机构安装板115，所述机构安装板115的一侧通过顶针气缸安装板116安装有一个顶针气缸31，所述顶针气缸31的推块与所述顶针连接板30的上表面固定连接；所述顶针安装板113的镂空结构中设置有一块与所述顶针安装板113平行的直线轴承安装板117，所述直线轴承安装板117的四周边缘上分别设置有若干个垂直方向的直线轴承32，所述顶针安装板113的下方通过若干导向柱118设置有一块盖板贴合板33，所述导向柱118的数量及分布均与所述直线轴承32的数量及分布相对应，所述导向柱118的上部穿设在对应的所述直线轴承32中，所述导向柱118的底端则与所述盖板贴合板33的上表面固定连接，所述导向柱118上套设有减震弹簧119，所述减震弹簧119的顶端和底端分别与所述直线轴承32和所述盖板贴合板33相抵；所述顶针安装板113下表面的四周边缘分别设置有垂直向下的顶针34，所述盖板贴合板33下表面的四周边缘设置有若干个顶针过孔，所述顶针过孔的数量及分布均与所述顶针34的数量及分布相对应，且所述盖板贴合板33下表面的四周边缘还设置有若干个磁铁安装槽120，所述磁铁安装槽120内嵌设有可替换的磁铁121或空置。
72.进一步的，参见图7所示，所述直线电机吸嘴机构3包括设置在若干根支柱38上的直线电机39，所述直线电机39通过所述支柱38架设在所有所述基板推料机构11以及所述前段移栽线体12的上方，所述直线电机39的移动座上设置有第一z轴模组37，所述第一z轴模组37的移动座上设置有多头吸嘴组件36，所述直线电机39的右端下方还设置有一个ccd组件35。
73.进一步的，参见图8
‑
9所示，所述多头吸嘴组件36包括一个与所述第一z轴模组37的移动座连接的所述机构安装块122，所述机构安装块122底部的前后两侧分别固定连接有一块吸嘴前后调节块安装板123，前后两块所述吸嘴前后调节块安装板123的左右两端均设置有一个吸嘴前后调节块124，前后两块所述吸嘴前后调节块安装板123的底部分别设置一块向前伸出的真空发生器安装板125和向后伸出的真空发生器安装板125，任意一块所述真空发生器安装板125的伸出部分上设置有一个真空发生器126；所述机构安装块122的左右两个侧壁上分别设置有一个可向左水平伸出的侧边气缸46和一个可向右水平伸出的侧边气缸46，左右两个所述侧边气缸46的推块均通过对应的吸嘴左右调节块安装板127设置有一个吸嘴左右调节块128；每个所述吸嘴前后调节块124和每个所述吸嘴左右调节块128中均通过对应的快拆调节旋钮44设置有至少一个位置可调并可拆卸的吸嘴安装块129，每个所述吸嘴安装块129上均设置有一个垂直向下的吸嘴41，每个所述吸嘴41的顶端均通过一个真空止回阀45与所述真空发生器126连接；前后两块所述真空发生器安装板125的底部分别设置有一个可向前水平伸出的l型支撑块开合气缸43和一个可向后水平伸出的l型支撑块开合气缸43，前后两个所述l型支撑块开合气缸43的推块上均设置有一块左右水平延伸
的l型支撑块连接板130，前后两块所述l型支撑块连接板130上分别均匀设置有若干个向后折弯的l型支撑块42和若干个向前折弯的l型支撑块42。
74.进一步的，参见图8
‑
9所示，所述吸嘴前后调节块124和所述吸嘴左右调节块128上均设置有便于所述吸嘴安装块129来回滑动的腰型孔，所述快拆调节旋钮44采用螺母旋钮，所述吸嘴安装块129通过拧紧各自顶部的所述螺母旋钮实现在所述腰型孔中的定位；位于所述吸嘴前后调节块124上的腰型孔呈左右水平设置，以供其中的所述吸嘴安装块129的左右位置调节，位于所述吸嘴左右调节块128上的腰型孔呈前后水平设置，以供其中的所述吸嘴安装块129的前后位置调节。
75.进一步的，参见图10
‑
11所示，所述基板推料机构11包括第一移载组件、第一同步组件、第一压板组件和第一挡块组件，所述第一移载组件包括用于承载基板40的第一支撑板58、第一推块57、第一推块支座56、第一推块支座滑块131和第一线性滑轨132，所述第一推块57与所述第一支撑板58的后端固定连接，所述第一线性滑轨132位于所述第一支撑板58的下方，所述第一推块支座滑块131可滑动地设置在所述第一线性滑轨132上，所述第一推块支座滑块131设置在所述第一推块支座滑块131上，所述第一推块57通过第一推块滑轨49设置在第一推块支座56上，所述第一推块支座56上安装有一个用于感应所述第一支撑板58前推阻力的第一开关探针47，所述第一开关探针47通过第一弹簧48与所述第一推块57连接；所述第一同步组件包括第一步进电机59、第一主动轮133、第一从动轮和第一同步带134，所述第一主动轮133和所述第一从动轮分别位于所述第一线性滑轨132的前后两端，所述第一步进电机59的输出端与所述第一主动轮133连接，所述第一同步带134同时套设在所述第一主动轮133和所述第一从动轮上，且所述第一同步带134的一侧与所述第一推块支座滑块131固定连接；所述第一压板组件包括两块用于压住所述基板40左右边缘的第一压板50、两个第一侧推压板气缸51和两个第一压板支架135，两个所述第一压板支架135分别位于所述第一支撑板58初始位置的左右两侧，两块所述第一压板50分别可左右移动地设置在两个所述第一压板支架135上，两个所述第一侧推压板气缸51分别安装在两个所述第一压板支架135上，且两个所述第一侧推压板气缸51的输出端分别与两块所述第一压板50连接，在所述第一支撑板58初始位置的附近设置有用于感应所述基板40是否到位的第一接近开关136；所述第一挡块组件包括用于将所述基板40挡在基板料仓53的第一挡块54、第一挡块气缸55和第一挡块气缸支架137，所述第一挡块气缸支架137位于所述第一支撑板58初始位置的前方一侧，所述第一挡块气缸55通过所述第一挡块气缸支架137悬设在所述第一支撑板58初始位置的前侧上方，所述第一挡块54与所述第一挡块气缸55的输出端连接，所述第一挡块54的左右两侧设置有至少一组用于检测并反馈基板料仓53上每层轨道与即将推入的所述基板40的水平位置是否对应的第一对射激光传感器52。
76.进一步的，参见图12所示，所述基板料仓升降机构10包括一个嵌设在所述工作台1上的第二z轴模组60，所述第二z轴模组60的移动座上设置有第二x轴模组61，所述第二x轴模组61的移动座上设置有一个用于夹持基板料仓53的基板料仓夹紧组件63，所述基板料仓夹紧组件63上设置有一个用于感应基板料仓53是否到位的第三接近开关64。
77.进一步的，参见图13所示，所述基板下料线体2包括一条设置在所述工作台1台面上或台面下的基板料仓滑道62，所述基板料仓滑道62的前端设置有一对第二挡块69和一组第一对射光电传感器68，所述基板料仓滑道62的内部两侧分别通过同步轮设置有两条第三
同步带67，两条所述第三同步带67均通过一个设置在所述基板料仓滑道62后端的第三减速电机66驱动，所述基板料仓滑道62的侧边通过基板料仓推块气缸71设置有一个基板料仓推块70。
78.进一步的，参见图14所示，所述底板移栽机构5包括一条设置在一个龙门架72顶端的底板夹爪同步组件，所述底板夹爪同步组件包括两条第三滑轨74，两条所述第三滑轨74之间通过同步轮设置有一条第五同步带75，所述第五同步带75由第三步进电机73驱动，两条所述第三滑轨74上共同设置有一个底板夹爪滑块76，所述底板夹爪滑块76与所述第五同步带75的一侧固定连接，所述底板夹爪滑块76上设置有一个第四z轴模组79，所述第四z轴模组79的移动座上通过底板夹爪安装座78设置有一个底板夹爪组件77。
79.进一步的，参见图15所示，所述后段移栽线体9包括两块间距可调的第二线体可调板82，两块所述第二线体可调板82内侧的上沿分别通过一对第二同步轮65设置有一条第二平皮带86，两条所述第二平皮带86同时受一个安装在其中一块所述第二线体可调板82上的第二减速电机85驱动；两块所述第二线体可调板82间隙的前端设置有一个第二反射光电传感器87，两块所述第二线体可调板82间隙的中后部设置有一个可升降的第二阻挡机构84；
80.所述后段移栽线体9的间隙调节方式为，其中一块所述第二线体可调板82直接与所述工作台1连接，作为第二固定线体可调板，另一块所述第二线体可调板82通过其前后两端的第二滑轨80与所述工作台1连接，作为第二移动线体可调板；所述第二移动线体可调板的中前部和中后部分别穿设有一根可相对滑动的第二导柱81，两根所述第二导柱81的一端分别与所述第二固定线体可调板的内侧固定连接，两根所述第二导柱81的另一端分别与一个固定在所述工作台1上的第二导柱支架83连接。
81.进一步的，参见图16所示，所述底板推料机构6包括第二移载组件和第二同步组件，所述第二移载组件包括用于承载底板90的第二支撑板91、第二支撑板支架138、第二推块89、第二推块支座139、第二推块支座滑块140和第二线性滑轨141，所述第二支撑板91设置在所述第二支撑板支架138上，所述第二推块89位于所述第二支撑板91的前方，所述第二线性滑轨141位于所述第二支撑板91的下方，所述第二推块支座滑块140可滑动地设置在所述第二线性滑轨141上，所述第二推块支座139设置在所述第二推块支座滑块140上，所述第二推块89通过第二推块滑轨88设置在第二推块支座139上，所述第二推块支座139上安装有一个用于感应所述第二支撑板91前推阻力的第二开关探针96，所述第二开关探针96通过第二弹簧95与所述第二推块89连接；所述第二同步组件包括第二步进电机97、第二主动轮、第二从动轮和第二同步带142，所述第二主动轮和所述第二从动轮分别位于所述第二线性滑轨141的前后两端，所述第二步进电机97的输出端与所述第二主动轮连接，所述第二同步带142同时套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上，且所述第二同步带142的一侧与所述第二推块支座滑块140固定连接，所述第二支撑板91的下方设置有用于感应所述底板90是否到位的第二接近开关92，所述第二支撑板91的后端下方设置有第三反射光电传感器93。
82.进一步的，参见图17所示，所述底板料仓升降机构7包括一个嵌设在所述工作台1上的第三z轴模组98，所述第三z轴模组98的移动座上设置有第三x轴模组99，所述第三x轴模组99的移动座上设置有一个用于夹持底板料仓94的底板料仓夹紧组件101，所述底板料仓夹紧组件101上设置有一个用于感应底板料仓94是否到位的第四接近开关103。
83.进一步的，参见图18所示，所述底板下料线体8包括一条设置在所述工作台1台面
上或台面下的底板料仓滑道100，所述底板料仓滑道100的前端设置有一对第三挡块107和一组第二对射光电传感器108，所述底板料仓滑道100的内部两侧分别通过同步轮设置有两条第四同步带105，两条所述第四同步带105均通过一个设置在所述底板料仓滑道100后端的第四减速电机104驱动，所述底板料仓滑道100的侧边通过底板料仓推块气缸110设置有一个底板料仓推块109，所述底板料仓滑道100内部的后端设置有一个第四反射光电传感器111。
84.本实用新型的工作原理及工作过程如下：
85.参见图1
‑
2所示，本实用新型的大致工作流程为，前分片设备将带有基板的治具送至前段移栽线体12，前段移栽线体12将带有基板的治具定位，拆合盖板机构4负责将治具的盖板打开，露出治具内的基板40并对其扫码，直线电机吸嘴机构3则根据扫码得到的信息，将基板40从治具底板90中吸取并移送至对应的基板推料机构11上，基板推料机构11将基板40逐一推入位于对应基板料仓升降机构10上的基板料仓53内，待基板料仓53装满后，再由基板料仓升降机构10将基板料仓53移送至基板下料线体2完成基板下料。在基板40被吸走的同时，拆合盖板机构4将治具盖板安装回治具底板上，前段移栽线体12将空置的治具移送至后段移栽线体9的预设位置，底板移栽机构5将空置的治具从后段移栽线体9上夹取并移送至底板推料机构6，底板推料机构6将底板90逐一推入位于底板料仓升降机构7上的底板料仓94内，待底板料仓94装满后，在由底板料仓升降机构7将底板料仓94移送至底板下料线体8完成底板下料。
86.参见图3所示，前段移栽线体12利用第一滑轨13调节两块第一线体可调板15的间距，从而适应所需承载基板治具的尺寸，当基板治具从前分片设备流至前段移栽线体12时，位于前端的第一反射光电传感器23感应到治具底板后，第一减速电机18工作，驱动第一平皮带22将治具底板带动至升起后的第一阻挡机构19，然后第一后推机构21升起并从前方顶柱治具底板90，同时第一下压机构16和第一侧推机构17工作，从上方和两侧夹紧治具底板90，将其定位。
87.参见图4所示，拆合盖板机构4通过y轴模组24将升降气缸29、读码器27和激光位移传感器26移动至前段移栽线体12上的已定位的治具上方，读码器27读取治具内基板40上的二维码，判别基板种类，然后在升降气缸29的配合下拆合盖板组件28将治具盖板从治具底板90上拆开，接着激光位移传感器26检测基板40的z向变形量，若ok，则将夹持有治具盖板的拆合盖板组件28暂时移开治具底板90的上方，以便继续下料，若ng则自动报警。
88.参见图7所示，直线电机吸嘴机构3通过直线电机39将多头吸嘴组件36移动至前段移栽线体12上的已打开盖板的治具上方，在第一z轴模组37的配合下吸取基板40，多头吸嘴组件36根据读码器27反馈的信息移动至对应的基板推料机构11处，ccd组件35先检测基板与基板推料机构11上的第一支撑板58的相对偏移角度，判断基板40是否放歪，再检测基板40与基板料仓53外端之间的相对间距，如果ok，则多头吸嘴组件36在第一z轴模组37的配合将吸取到的基板40放入基板推料机构11的第一支撑板58上，若ng，则自动报警。
89.参见图10
‑
11所示，当基板推料机构11通过第一接近开关136感应到基板40落到第一支撑板58上时，左右两侧的第一侧推压板气缸51工作，将左右两块第一压板50向内合拢并轻压在基板40左右边缘上，通过对第一对射激光传感器52检测基板40与基板料仓53对应轨道的水平位置，如果ng，则自动报警，如果ok，则第一步进电机59通过第一同步带134带动
第一支撑板58向基板料仓53方向推动，直至将带有基板40的第一支撑板58完全推入基板料仓53，同时在第一支撑板58带动基板40推入基板料仓53的全过程中，通过第一开关探针47实时感应第一支撑板58向前推进时所收到的阻力，如果阻力超过设定值时，则自动报警，当第一支撑板58将基板40完全推入基板料仓53后，第一挡块气缸55工作带动第一挡块54向下运动并挡住基板40，然后第一步进电机59反向工作，将第一支撑板58从基板料仓53中退出，此时由于第一挡块54的阻挡，基板40被留在了基板料仓53中。
90.参见图12和13所示，在基板推料机构11将基板40陆续推入基板料仓53的整个过程中，基板料仓升降机构10均通过基板料仓夹紧组件63夹持基板料仓53，每当一块基板40被推入基板料仓53后，基板料仓升降机构10就通过第二z轴模组60将基板料仓53向下移动一格，当一个基板料仓53被装满后，基板料仓升降机构10通过第二z轴模组60和第二x轴模组61的配合，将装满基板40的基板料仓53移动至基板下料线体2处进行基板下料，基板推料机构11可以分为上下两层，循环上下基板料仓53，充分利用空间。
91.参见图4和15所示，在每次基板40被推入基板料仓53的同时，拆合盖板组件28通过y轴模组24以及升降气缸29的配合，将盖板重新放回到空的治具底板90上，然后由后段移栽线体9将空的治具移至预设位置。
92.参见图14、16
‑
18所示，底板移栽机构5通过第三步进电机73驱动第五同步带75，带动底板夹爪组件77来到位于后段移栽线体9的空置治具底板90的上方，并在第四z轴模组79的配合下夹取空置的治具底板90，然后再将其移动并放置在底板推料机构6处，由底板推料机构6将空置治具底板90推入位于底板料仓升降机构7上的底板料仓94中，待底板料仓94装满后，底板料仓升降机构7将底板料仓94移送至底板下料线体进行底板下料，底板推料机构6可以分为上下两层，循环上下底板料仓94，充分利用空间。
93.由于后段移栽线体9与前段移栽线体12的结构相似，底板推料机构6与基板推料机构11的结构相似，底板料仓升降机构7与基板料仓升降机构10的结构相似，底板下料线体8与基板下料线体2的结构相似，因此后段移栽线体9、底板料仓升降机构7、底板推料机构6、底板下料线体8的工作原理分别与前段移栽线体12、基板推料机构11、基板料仓升降机构10和基板下料线体2相同，在此不再多做描述。
94.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。