连接器装配件、系统和光刻设备的制作方法

连接器装配件、系统和光刻设备
1.本发明涉及连接器布置、系统以及具有这样的连接器布置和/或这样的系统的光刻设备。
2.通过引用将于2019年9月16日提交的优先权申请de 10 2019 214 050.5的内容全部并入本文。
3.微光刻用于制造微结构部件，例如集成电路。使用具有照明系统和投射系统的光刻设备执行微光刻工艺。通过照明系统照明的掩模(掩模母版)的像，在这种情况下，通过投射系统投射至涂覆有感光层(光刻胶)且布置在投射系统的像平面中的基板(例如硅晶片)上，以便将掩模结构转印至基板的感光涂层。
4.光刻设备可以包括多个致动器和传感器，它们作为装配件与光刻设备的其他装配件电接触。由于设置空间有限，使用例如用手接触的电缆可能会很困难。此外，由于制造容差，难以将配备在印刷电路板上的多个连接器与配备在另一印刷电路板上的对应配对连接器相连接。
5.为了将光刻设备的两个装配件彼此电连接，已知使用带来容差补偿的连接器。在这方面，存在包括弹簧接触销并在插入方向上实现容差补偿的连接器。此外，已知的插口通过弹簧元件安装并且垂直于插入方向产生容差补偿。插口通过弹簧元件支撑在印刷电路板上。
6.针对该背景，本发明的目的是提供改进的连接器布置。
7.因此，提出了一种连接器布置，特别是用于光刻设备的连接器布置。连接器布置包括：第一连接器元件；第二连接器元件，第二连接器元件可以在插入方向上与第一连接器元件插接在一起以形成电连接；携载第一连接器元件的携载元件；以及接受器，携载元件被容纳其中以垂直于插入方向可移动，以便在将第一和第二连接器元件插接在一起时产生容差补偿。
8.因此，连接器元件不一定必须引起垂直于插入方向的容差补偿，因为携载元件在接受器中产生容差补偿。此外，还有可以使用较不复杂的连接器元件的优点。以这种方式可以提供容差补偿连接器的替代例。此外，还有以下优点：可以通过可移动的携载元件产生更大的容差补偿，因为在容差补偿连接器的情况下在这方面设定了更窄的界限。
9.可移动性特别通过浮置支撑来实现。第一连接器元件优选地是连接器并且第二连接器元件优选地是相关联的配对连接器。这形成连接器对。携载元件配备为在垂直于插入方向延伸的第一移动方向上可移动。携载元件优选地具有二维形式并且具有1.5和4mm、特别是2和3mm之间的厚度。
10.特别是，第一连接器元件通过物质接合的连接、特别是通过粘合接合，或者通过形状适配的连接、特别是通过插入式连接来固定连接到携载元件。优选地，携载元件配备为在第二移动方向上可移动，该第二移动方向垂直于插入方向并且垂直于第一移动方向延伸。容纳在携载元件中意味着接受器在空间上至少部分地包围携载元件。接受器包围比携载元件更大的腔，以在其中容纳携载元件。携载元件和接受器配备为在第一移动方向上产生0.1-10mm之间的容差补偿。此外，形成通向腔的开口。从开口观看，腔包括至少一个切口。连
接器布置优选地包括2、3或4个携载元件，这些携载元件被容纳在接受器中，以便垂直于插入方向可移动。
11.根据一个实施例，携载元件是印刷电路板。
12.印刷电路板可以被称为pcb并且包括导体轨道。优选地，印刷电路板还包括纤维增强塑料(frp)，其形成用于导体轨道的支撑结构。特别地，印刷电路板可以包括陶瓷或形成为陶瓷印刷电路板。印刷电路板例如可以是其他电气部件的携载件。特别是，所有携载元件都形成为印刷电路板。
13.根据另外的实施例，携载元件被容纳在接受器中，使得提供垂直于插入方向的间隙，该间隙限定和界定垂直于插入方向的可移动性。
14.特别地，该间隙是气隙。携载元件优选地搁置在连接器布置的支撑表面上并且配备为在其上可自由移动，其中需要克服发生移动时携载元件与支撑表面之间的摩擦。例如，由于携载元件的可移动性，间隙可以是可变的。特别地，最大间隙(即，当携载元件搁置在接受器的侧壁上时)在0.1和15mm之间，特别是1和5mm之间。优选地，在携载元件之间，特别是在携载元件的上侧与接受器之间在插入方向上观看时提供空隙，以便确保携载元件在接受器中的自由移动性。空隙优选地在0.05和2mm之间，特别是在0.1和1.5mm之间。这防止了携载元件卡在接受器中。
15.根据另外的实施例，间隙形成为围绕携载元件的环形间隙。
16.这具有的优点是，携载元件可以在一个平面中在所有方向上移动。环形间隙优选地具有封闭的环形形状。环形形状意味着可以具有角和/或圆形轮廓的形状。当在插入方向上观看或与插入方向相反观看时，环形间隙例如可以具有框架形状。例如，当携载元件在接受器中居中对准时，环形间隙的宽度为0.05-7.5mm，特别是0.5和2.5mm。
17.根据另外的实施例，连接器布置具有其中提供接受器的第一壳体元件和/或第二连接器元件连接到的第二壳体元件。
18.例如，第一和第二壳体元件可以各自形成为壳体。第二连接器元件优选地通过物质接合连接(例如通过粘合剂接合)和/或通过形状适配连接来连接到第二壳体元件。
19.根据另外的实施例，连接器布置具有直接或间接刚性连接到携载元件的第一定中心元件和配置在第二壳体元件上的第二定中心元件，其中第一和第二定中心元件相互作用，使得第一连接器元件和第二连接器元件当它们在插入方向上插接在一起时特别以精确适配相对于彼此定中心。
20.这具有以下优点：当壳体元件在插入方向上朝向彼此移动时，第一连接器元件和第二连接器元件可靠地找到彼此。例如，携载元件和第一定中心元件通过物质接合的连接，特别是通过粘合接合和/或形状适配的连接来相互连接。替代地，这些可以整体地形成。第一定中心元件可以是销的形式。优选地，第一定中心元件和/或第二定中心元件包括插入斜面和/或尖端以产生定中心效果。预先定中心优选地借助于第一和第二定中心元件发生，并且最终定中心借助于第一和第二连接器元件发生。
21.根据另外实施例，第一定中心元件配备为靠近第一连接器元件，在插入方向上延伸超过第一连接器元件，并且直接或间接刚性连接到第一连接器元件，其中第二定中心元件包括接收元件，接收元件配备为容纳第一定中心元件以达到实现定中心的目的。
22.第一定中心元件和第二定中心元件优选地至少部分地以旋转对称的方式配备。这
具有可以在一个平面中在所有方向上实现定中心效果的优点。特别地，接收元件包括用于容纳第一定中心元件的腔。例如，第一定中心元件可以直接连接到第一连接器元件或配备为与其接触。替代地，第一定中心元件和第一连接器元件可以彼此相距一定距离地连接到携载元件。
23.根据另外的实施例，连接器布置具有：第三连接器元件；第四连接器元件，可以与第三连接器元件在插入方向上插接在一起以形成电连接；另外的携载元件，携载第三连接器元件；以及另外的接受器，另外的携载元件被容纳其中以垂直于插入方向可移动以便当第三和第四连接器元件插接在一起时产生容差补偿，其中另外的接受器配备在第一壳体元件中，并且其中第四连接器元件连接到第二壳体元件。
24.第三和第四连接器元件优选地形成为连接器和相关联的配对连接器。特别是，第三定中心元件直接或间接地刚性连接到另外的携载元件。第四定中心元件优选地配备在第二壳体元件上，其中第三和第四定中心元件相互作用使得第三连接器元件和第四连接器元件当它们在插入方向上插接在一起时以精确适配相对于彼此对准。第三定中心元件和第四定中心元件优选地与第一和第二定中心元件相同地形成。
25.这样具有以下优点：当第一和第二壳体元件组合在一起时，两个携载元件独立地产生容差补偿，因此两个连接器对可以可靠地相互连接。还可以有三个、四个或更多个携载元件和对应的连接器对以及与第一和第二壳体元件相互作用的定中心元件。携载元件优选地通过柔性电缆彼此电连接。特别地，携载元件通过刚性-柔性连接相互连接。例如，多个携载元件可以形成为刚性-柔性-刚性印刷电路板。
26.根据另外的实施例，第一连接器元件和第二连接器元件中的一个包括10-400个、特别是80-300个销连接器，并且第一连接器元件和第二连接器元件中的另一个包括10-400个，特别是80-300个销插口。
27.优选地，第一或第二连接器元件包括销，该销包括插入斜面，该插入斜面适用于与相关联插口的开口边缘相互作用以实现定中心。
28.此外，提出了特别是用于光刻设备的连接器布置。连接器布置包括：第一连接器元件；第二连接器元件，其可以在插入方向上与第一连接器元件插接在一起以形成电连接；第一印刷电路板区段，其上安装第一连接器元件；第二印刷电路板区段，第一印刷电路板区段安装于其中以垂直于插入方向可移动，以便在第一和第二连接器元件插接在一起时产生容差补偿。
29.因此，可以借助于以下事实提供对容差补偿连接器的另外替代例：当两个连接器元件插接在一起时，印刷电路板区段垂直于插入方向产生容差补偿。第一和第二印刷电路板区段优选地具有相同厚度。第一和第二印刷电路板区段优选地形成印刷电路板。特别地，第二印刷电路板区段以框架的形式围绕第一印刷电路板区段。弹簧元件优选地配备在第一和第二印刷电路板区段之间。例如，在第一和第二印刷电路板区段之间形成间隙。特别地，第一印刷电路板区段和第二印刷电路板区段之间的最大移动在0.1和15mm之间，特别是1和5mm之间。
30.根据一个实施例，第一印刷电路板区段和第二印刷电路板区段彼此整体地形成。
31.特别地，第一印刷电路板区段和第二印刷电路板区段仅通过印刷电路板中的材料弱化部、例如切口彼此分离开。
32.根据另外的实施例，连接器布置包括至少一个挠曲件，其中第一印刷电路板区段和第二印刷电路板区段通过至少一个挠曲件相互连接。
33.挠曲件是指允许印刷电路板区段之间的相对移动并且在该过程中特别是弹性地变形的部件。两个印刷电路板区段优选地通过1、2、3、4、5或更多个挠曲件相互连接。例如，挠曲件与两个印刷电路板区段一起整体地提供。挠曲件形成为弹簧元件。
34.针对替代连接器布置描述的实施例和特征对应地应用于两种替代例。此外，针对携载元件所描述的特征对应地适用于第一印刷电路板区段，反之亦然。此外，针对具有相同名称的元件所描述的特征，例如携载元件、连接器元件、定中心元件、接受器等，对应地适用于所有其他元件的特征，反之亦然。
35.还提出了系统，特别是用于光刻设备的系统。该系统包括如上所述的连接器布置、致动器和/或传感器，其电连接到携载区段或第二印刷电路板区段和第一连接器元件，其中第一连接器元件特别地形成致动器和/或传感器的电子接口，该接口可连接到第二连接器元件。
36.该系统优选地包括2、3或4个致动器，其中第一连接器元件形成一个或所有致动器的电子接口。特别地，该系统包括2、3、4、5或更多个传感器，其中第一连接器元件形成一个或所有传感器的电子接口。例如，可以提供一个连接器元件作为每个传感器或致动器的电子接口。致动器优选地连接到第一壳体元件，特别是通过螺钉。
37.根据实施例，该系统包括电连接到第二连接器元件的集成电路，其中第二连接器元件特别地形成集成电路到第一连接器元件的电子接口。
38.集成电路例如是fpga(现场可编程门阵列)。集成电路特别包括处理器。集成电路优选地配备为实行一个或多个致动器或传感器的计算操作。集成电路特别可以配备在印刷电路板上，该印刷电路板特别通过螺钉连接到第二壳体元件。
39.针对系统所描述的实施例和特征对应地应用于连接器布置，并且反之亦然。
40.此外，提出了光刻设备。光刻设备包括如上所述的连接器布置和/或如上所述的系统。
41.目前情况中的“一；一个”应不一定被理解为限制于恰好一个元件。当然，还可以提供多个元件，例如两个、三个或更多个。在此使用的其他任何数值不应理解为对恰好陈述数量的元件的存在限制。相反，除非有相反指示，否则向上和向下的数值偏差是可能的。
42.本发明其他可能的实现方式还包括在上文或下文关于示例性实施例描述的任何特征或实施例的没有明确提到的组合。在这种情况下，本领域技术人员还将增加各个方面，作为对本发明的相应的基本形式的改进或补充。
43.本发明的其他有利的改进和方面是从属权利要求的主题并且也是在下文中描述的本发明示例性实施例的主题。在下文中，参考附图基于优选的实施例将更详细地解释本发明。
44.图1a示出了euv光刻设备的实施例的示意性视图；
45.图1b示出了duv光刻设备的实施例的示意性视图；
46.图2示出了连接器布置的示意性视图；
47.图3示出了自图2的iii-iii的截面；
48.图4示出了连接器布置的另外的实施例的示意性立体图；
49.图5示出了自图4的v-v的截面；
50.图6示出了自图4的v-v的另外截面视图；
51.图7示出了自图4的v-v的另外截面视图；
52.图8示出了连接器布置的另外的实施例的示意性立体剖视图；
53.图9示出了连接器布置的另外的实施例的示意性视图；
54.图10示出了印刷电路板的示意性俯视图；
55.图11示出了系统的实施例的示意性视图；以及
56.图12示出了系统的其他实施例的示意性视图。
57.除非有相反的说明，否则相同或功能相同的元件在附图中具有相同的附图标记。也应注意的是在附图中的图示并不一定按照比例。
58.图1a示出了euv光刻设备100a的示意性视图，该光刻设备包括束整形和照明系统102以及投射系统104。在这种情况下，euv表示“极紫外”，并且表示在0.1和30nm之间的工作光的波长。束整形和照明系统102和投射系统104相应提供在真空壳体(未示出)中，其中每个真空壳体借助于抽气设备(未示出)来抽真空。真空壳体由机械室(未示出)包围，其中提供用于机械地移动或设定光学元件的驱动设备。此外，电控制器等也可以提供在所述机械室中。
59.euv光刻设备100a包括euv光源106a。例如可以提供等离子体源(或同步加速器)作为euv光源106a，该等离子体源发射的辐射108a在euv范围(极紫外范围)中，就是说，例如在5nm至20nm的波长范围中。在束整形和照明系统102中，聚焦euv辐射108a，并且从euv辐射108a中将期望的操作波长过滤出。由euv光源106a产生的euv辐射108a具有穿过空气相对低的透过率，因此在束整形和照明系统102中和在投射系统104中的束引导空间被抽真空。
60.图1a中图示的束整形和照明系统102具有五个反射镜110、112、114、116、118。在通过束整形和照明系统102后，euv辐射108a被引导到光掩模(掩模母版)120上。光掩模120同样形成为反射光学元件并且可以布置在系统102、104的外面。此外，通过反射镜122可以将euv辐射108a指引到光掩模120上。光掩模120具有通过投射系统104以缩小的方式成像到晶片124等上的结构。
61.投射系统104(还被称为投射镜头)具有六个反射镜m1至m6，用于将光掩模120成像到晶片124上。在这种情况下，投射系统104的单独反射镜m1至m6可以关于投射系统104的光轴126对称地布置。这应当注意到，euv光刻设备100a的反射镜m1至m6的数量不限于所示的数量。还可以提供更多或更少数量的反射镜m1至m6。此外，为了束整形，反射镜m1至m6通常在其前侧弯曲。
62.此外，提供致动器134，其例如配备为改变反射镜118的位置。这样的致动器134也可以提供给束整形和照明系统102中的其他反射镜110、112、114、116。替代地或附加地，这样的致动器134可以提供给反射镜m1-m6中的至少一个。例如，提供传感器136，其配备为捕获反射镜118的位置。这样的传感器136也可以提供给束整形和照明系统102中的其他反射镜110、112、114、116。替代地或附加地，这样的传感器136可以提供给反射镜m1-m6中的至少一个。还可以提供多个这样的传感器136。
63.图1b示出了duv光刻设备100b的示意性视图，该光刻设备包括束整形和照明系统102以及投射系统104。在这种情况下，duv表示“深紫外”，并且表示在30nm与250nm之间的工
作光的波长。如参考图1a已经描述的，束整形和照明系统102和投射系统104可以布置在真空壳体中和/或由具有对应驱动设备的机械室围绕。
64.duv光刻设备100b具有duv光源106b。作为示例，可以提供发射在193nm的duv范围中的辐射108b的arf准分子激光器作为duv光源106b。
65.在图1b中图示的束整形和照明系统102将duv辐射108b引导到光掩模120上。光掩模120形成为透射光学元件且可以布置在系统102、104的外部。光掩模120具有通过投射系统104以缩小的方式成像到晶片124等上的结构。
66.投射系统104具有多个透镜元件128和/或反射镜130，用于将光掩模120成像到晶片124上。在这种情况下，投射系统104的单独透镜元件128和/或反射镜130可以关于投射系统104的光轴126对称地布置。应注意到，duv光刻设备100b的透镜元件128和反射镜130的数量不限于所示的数量。还可以设定更多或更少数目的透镜元件128和/或反射镜130。另外，为了束整形，反射镜130通常在其前侧弯曲。可以提供致动器134(见图1a)来改变透镜元件128和/或反射镜130的位置。例如，提供传感器136(参见图1a)，其配备为捕获透镜元件128和/或反射镜130的位置。
67.最后一个透镜元件128和晶片124之间的气隙可以替换为具有折射率》1的液体介质132。液态介质132可以是例如高纯水。这样的设置还被称为浸没式光刻，并且具有增强的光刻分辨率。介质132还可以被称为浸没液体。
68.图2示出了用于光刻设备100a、100b(参见图1a和1b)的连接器布置200。连接器布置200包括连接器元件202(在此也被称为第一连接器元件)、连接器元件204(在此也被称为第二连接器元件)，该连接器元件204可以在插入方向e上与连接器元件202插接在一起以形成电连接。优选地，连接器元件202包括连接器206并且连接器元件204包括相关联的插口208。
69.此外，提供了携载连接器元件202的携载元件210。携载元件210和连接器元件202彼此刚性连接。携载元件210优选地是印刷电路板，其包括嵌入绝缘材料214中或安装到其上的导体轨道212。材料214可以包括玻璃纤维复合物。携载元件210还可以携载电子部件(未示出)。
70.携载元件210优选地具有二维形式并且具有在1.5和4mm之间、特别是2和3mm之间的厚度d。此外，电线216，特别是柔性电缆和/或刚性-柔性-刚性连接(由虚线指示)可以连接到携载元件210，该电线将携载元件210连接到例如另外的携载元件400、402、404(参见图4)、致动器134(参见图1a)、传感器136(参见图1a)或光刻设备100a、100b(见图1a和1b)的另一电子单元(未示出)。
71.连接器布置200附加地包括接受器218，其中容纳携载元件210，使得它在垂直于插入方向e的移动方向b1上可移动，以便当将连接器元件202、204插接在一起时产生容差补偿。接受器218配备为壳体元件220(在本文中也被称为第一壳体元件)中的腔。携载元件210容纳在接受器218中，使得在移动方向b1上提供间隙s，该间隙限定和界定在移动方向b1上的可移动性。
72.特别地，在移动方向b1上的最大间隙s(即，当携载元件210搁置在接受器218的侧壁222上时)在0.1和15mm之间，特别是1和5mm之间。例如，这可以称为浮置支撑。接受器218包括相对的侧壁222、224，它们界定了携载元件210在移动方向b1上的移动。接受器218还包
括壁226、228，壁226、228垂直于侧壁222、224延伸并防止携载元件210相对于接受器218在插入方向e上移动。
73.特别地，在壁226、228与携载元件210(特别是携载元件210的顶侧236)之间提供小的空隙s0，以便防止携载元件210卡在接受器218中。空隙s0优选地在0.05和2mm之间，特别是在0.1和1.5mm之间。携载元件210可以搁置在壳体元件220的底部230上，特别是通过摩擦连接。携载元件210以形状适配的连接容纳在接受器218内。
74.连接器布置200还包括连接器元件204特别是间接地连接到的壳体元件232(在此也被称为第二壳体元件)。连接器元件204优选地连接到印刷电路板238，该印刷电路板238特别是拧紧到壳体元件232上。例如，连接器元件204还可以仅通过线路1106(参见图11)，特别是柔性电缆连接到印刷电路板238。特别地，连接器元件204从或离开壳体元件232突出。壳体元件220包括通向接受器218的开口234，连接器元件202从该壳体元件220突出。例如，多个连接器元件204可以连接到印刷电路板238。印刷电路板238例如可以形成为刚性-柔性-刚性印刷电路板或刚性印刷电路板。
75.例如，连接器元件202包括10-400个、特别是80-300个销连接器，并且连接器元件204包括10-400个、特别是80-300个销插口。连接器元件202优选地与连接器元件204可互换。
76.图3示出了自图2的iii-iii的截面。间隙s形成为围绕携载元件210的环形间隙。仅作为示例，携载元件210被示的截面为矩形。携载元件210可以具有任何形状，例如为l形、梯形或圆形。间隙s的环形形状具有的优点在于，携载元件210在另外的移动方向b2上的移动也是可能的，该移动方向b2垂直于插入方向e并且垂直于移动方向b1，以便当将连接器元件202、204插接在一起时产生容差补偿。
77.接受器218包括侧壁300、302，其界定了携载元件210在移动方向b2上的移动。特别地，在移动方向b2上的最大间隙s(即，当携载元件210搁置在接受器218的侧壁302上时)在0.1和15mm之间，特别是1和5mm之间。
78.图4示出了连接器布置200的另外的实施例的示意性立体图。后者还包括：连接器元件406(在此也被称为第三连接器元件)；连接器元件412(在此也被称为第四连接器元件)，其可以与连接器元件406在插入方向e上插接在一起以形成电连接；携载连接器元件406的携载元件400(在此也被称为另外的携载元件)；以及接受器414(在此也被称为另外的接受器)，携载元件400被容纳其中以垂直于插入方向e可移动，以便当连接器元件406、412插接在一起时产生容差补偿。接受器414配备在壳体元件220中。连接器元件412直接或间接地连接到壳体元件232。
79.其上安装连接器元件408、410的另外两个携载元件402、404容纳在壳体元件220中。连接器元件202、406、408、410在此彼此相距一定距离处布置。携载元件400、402、404与携载元件210类似地形成并且对应地可移动地容纳在壳体元件220的接受器(未示出)中。
80.此外，连接器元件(未示出)——其可以在插入方向e上与连接器元件408、410插接在一起并因此形成为对应的配对连接器——形成在壳体元件232上。替代地，代替4个，还可以为壳体元件220提供2、3、5或6个携载元件和连接器元件，并为壳体元件232提供对应数量的连接器元件。例如，携载元件210、400、402、404借助于电缆(未示出)、特别是柔性电缆相互连接。
81.图5示出了自图4的v-v的截面。与图2相反，携载元件210搁置在零件518上，该零件特别是电子部件、机械部件或机电部件并且至少部分地配备在壳体元件220中。零件518可以由致动器134(参见图1a)构成。连接器布置200包括定中心元件500(在此也被称为第一定中心元件)，其直接或间接刚性连接到携载元件210。此外，定中心元件502(在此也被称为第二定中心元件)配备在壳体元件232上。
82.定中心元件500、502相互作用，使得连接器元件202和连接器元件204当它们在插入方向e上插接在一起时以精确的适配彼此对准。定中心元件500配备为靠近第一连接器元件202，在插入方向e上延伸超过连接器元件202，并且通过携载元件210连接到连接器元件202。定中心元件500例如形成为定中心销，该定中心销连接到携载元件210的上侧236，特别是通过物质接合的连接(例如通过粘合接合)。例如，定中心元件500拧紧到携载元件210。替代地，定中心元件500可以与携载元件210一体地形成。
83.定中心元件502包括接收元件504，该接收元件504配备为容纳定中心元件500以便实现定中心。对应的定中心元件526、528、530还可以配备有携载元件400、402、404。定中心元件502可以替代地集成到壳体元件232中或配备为连接到壳体元件232的分离部分。
84.接收元件504形成为腔，其包括截头圆锥区段506和与其邻接的圆柱区段508。区段508与另外的截头圆锥区段510邻接，该区段510继而与圆柱区段512邻接。截头圆锥区段506用作插入斜面以使定中心元件500相对于定中心轴线z定中心，该定中心轴线z具体形成为接收元件504的旋转对称轴线。区段506在插入方向e上逐渐变细。区段510在插入方向e上变宽。
85.定中心元件500包括引导区段514，其被配备为加厚部并且优选地形成定中心元件500的一端。区段508的宽度d1(特别是直径)略大于引导区段514的宽度d2(特别是直径)，因此当引导区段514被定位在区段508内时存在松适配(参见图6)。引导区段514包括例如插入斜面516，其与接收元件504相互作用以使定中心元件500相对于定中心轴线z对准。
86.定中心元件502优选地包括管状区段520，其从壳体元件232与插入方向e相反地向下突出并且包括区段506和至少部分地包括区段508。此外，连接器元件202包括多个销522。连接器元件204包括对应于销522的多个插口524。
87.如图5所示，定中心元件500位于区段506中，当壳体元件220、232中的一个在插入方向e上朝向壳体元件220、232中的另一个移动时，定中心元件500首先通过该区段506。如果定中心元件500未与定中心轴线z在中心对准，则插入斜面516压靠区段506并且由于楔形效应导致定中心元件500在移动方向b1、b2上移动。
88.由于携载元件210配备为可移动并且刚性连接到定中心元件500，携载元件210还与连接器元件202一起在移动方向b1、b2上移动。图6和图7示出了引导区段514如何越来越远地插入接收元件504中，直到连接器元件202、204彼此完全连接。
89.与图5相比，图6示出了引导区段514已被进一步引导到接收元件504中并且定位于区段508中。在引导区段514与区段508之间提供空隙s1。空隙s1配备成使得当引导区段514搁置在区段508的壁上时，连接器元件202(特别是销522)的插入斜面600在插入方向e上对应于连接器元件204(特别是插口524)的开口边缘602。
90.因此可以提供两级定中心，其中，在第一阶段，可以借助于定中心元件500、502进行预定中心，并且在第二阶段，可以借助于连接器元件522的插入斜面600和连接器元件204
的开口边缘602当插入连接器元件202、204时进行最终定中心。
91.当壳体元件220、232在插入方向e上进一步结合在一起时，引导区段514离开区段508并且直接地移动到区段510中，该区段510具有扩展的宽度d3，特别是直径。宽度d3大于宽度d1(参见图5)，使得引导区段514当离开区段508时不再被引导。同时，连接器元件202、204开始相互接合，从而通过连接器元件202、204本身进行定中心并且不需要通过区段508的进一步引导。这还具有避免超定系统的优点。
92.与图6相比，图7示出了连接器元件202、204完全相互插入。以这种方式形成连接器元件202、204之间的电连接。
93.图8示出了处于连接器元件202、204的插入状态的连接器布置200的另外的实施例。与图5至图7的实施例相比，定中心元件500直接地连接到连接器元件202，与其整体地形成或至少与其接触。从移动方向b1观看，定中心元件500布置靠近连接器元件500。
94.定中心元件500包括基底区段800，其连接到连接器元件202并且与引导区段514邻接，该引导区段514是圆柱形状并且包括形成插入斜面516的尖端。接收元件504形成为腔，特别是圆柱腔。在该示例性实施例中，空隙s1例如可以大于图5中的示例性实施例。例如，较大的容差补偿然后可以通过连接器元件202、204来补偿。这具有可以简化定中心元件500、502的优点。
95.图9示出了连接器装配件200的另外实施例。连接器装配件包括连接器元件202、连接器元件204、其上安装连接器元件202的印刷电路板区段900(在此也被称为第一印刷电路板区段)和印刷电路板区段902(在此也被称为第二印刷电路板区段)，其中印刷电路板区段900附接成垂直于插入方向e可移动，以便当连接器元件202、204插接在一起时产生容差补偿。连接器元件204优选地连接到印刷电路板238。例如，多个连接器元件可以连接到印刷电路板238。
96.特别地，印刷电路板238形成为类似于印刷电路板区段900、902(即，可移动的)。
97.例如，印刷电路板区段902安装在壳体部分220中，使得当连接器元件202、204插接在一起时它不会移动。印刷电路板区段902可以拧紧到壳体区段232上。当连接器元件202、204插接在一起时，印刷电路板区段900与连接器元件202一起相对于印刷电路板区段902和壳体区段220在移动方向b1、b2上移动以便产生容差赔偿。
98.特别地，印刷电路板区段900和印刷电路板区段902彼此整体地形成。印刷电路板区段优选地通过至少一个弹簧元件904、906相互连接。例如，弹簧元件904、906形成为挠曲件1000、1002、1004、1006、1008(参见图10)。印刷电路板区段900、902优选地形成印刷电路板908，其被分成两个印刷电路板区段900、902。印刷电路板区段902包括电连接到连接器元件202的导体轨道212。例如，可以使连接器元件202与导体轨道212直接接触。
99.替代地，可以使连接器元件202与印刷电路板区段900的导体轨道(未示出)接触，该导体轨道继而电连接到导体轨道212。此外，导体轨道212可以穿过弹簧元件904、906进入印刷电路板区段900中延伸并与连接器元件202接触。此外，可以为该示例性实施例提供如图4至图8所述的定中心元件。
100.图10示出了印刷电路板908的另外的实施例的俯视图。印刷电路板908具有材料弱化部1000，其形成为使得在印刷电路板区段900、902之间形成至少一个挠曲件1002、1004、1006、1008、1010。例如，多个挠曲件1002、1004、1006、1008、1010可以形成为弹簧元件904、
906。这些优选地与印刷电路板区段900、902整体地形成并且因此特别由相同材料构成。
101.材料弱化部1000可以例如借助于分离过程、特别是激光或铣削来引入。材料弱化部1000优选地形成为间隙或切口，其优选地在印刷电路板区段900、902的整个厚度上延伸。例如，材料弱化部1012、1014被引入印刷电路板908中，使得挠曲件1002形成为u形。此外，可以提供与挠曲件1002相对的另外的u形挠曲件1004。
102.另外两个u形挠曲件1006、1008优选地配备为与挠曲件1002、1004镜像对称。此外，例如，材料弱化部1016、1018以梯形挠曲件1010的方式提供。挠曲件1002、1004、1006、1008、1010配备为允许印刷电路板区段900相对于印刷电路板区段902弹性移动。例如，挠曲件1002、1004、1006、1008、1010也可以是l形的、弯曲的、w形的或i形的。
103.图11示出了用于光刻设备100a、100b(参见图1和图2)的系统1100。系统1100包括连接器布置200和致动器134，该致动器134通过多条线路1104电连接到携载区段210或印刷电路板区段902以及连接器元件202。连接器元件202充当致动器134的电子接口，其可连接到连接器元件204。例如，系统1100包括集成电路1102，其通过多条线路1106电连接到连接器元件204。
104.致动器134优选地拧紧到壳体元件220上。连接器元件204充当集成电路1102到连接器元件202的电子接口。该电路可以包括处理器1108。代替致动器134，系统可以包括2、3、4或更多个致动器，它们通过连接器元件202、204、406、408、410、412与电路1102接触(参见图4)。
105.与图11相比，图12示出了系统1100具有传感器136、1200、1202以代替致动器134，该传感器136、1200、1202配备为例如捕获光刻设备100a、100b的反射镜110、112、114、116、118、m1、m2、m3、m4、m5、m6的位置。不用说，这样的系统1100可以包括多个连接器元件、图11中的致动器134以及图12中的传感器136、1200、1202的组合。
106.虽然基于示例性实施例描述了本发明，但是仍可以通过各种方式来修改本发明。
107.附图标记列表
108.100a euv 光刻设备
109.100b duv 光刻设备
110.102
ꢀꢀ
束整形和照明系统
111.104
ꢀꢀ
投射系统
112.106a euv 光源
113.106b duv 光源
114.108a euv 辐射
115.108b duv 辐射
116.110
ꢀꢀ
反射镜
117.112
ꢀꢀ
反射镜
118.114
ꢀꢀ
反射镜
119.116
ꢀꢀ
反射镜
120.118
ꢀꢀ
反射镜
121.120
ꢀꢀ
光掩模
122.122
ꢀꢀ
反射镜
123.124
ꢀꢀ
晶片
124.126
ꢀꢀ
光轴
125.128
ꢀꢀ
透镜元件
126.130
ꢀꢀ
反射镜
127.132
ꢀꢀ
介质
128.134
ꢀꢀ
致动器
129.136
ꢀꢀ
传感器
130.200
ꢀꢀ
连接器布置
131.202
ꢀꢀ
连接器元件
132.204
ꢀꢀ
连接器元件
133.206
ꢀꢀ
连接器
134.208
ꢀꢀ
插口
135.210
ꢀꢀ
携载元件
136.212
ꢀꢀ
导体轨道
137.214
ꢀꢀ
材料
138.216
ꢀꢀ
线路
139.218
ꢀꢀ
接受器
140.220
ꢀꢀ
壳体元件
141.222
ꢀꢀ
侧壁
142.224
ꢀꢀ
侧壁
143.226
ꢀꢀ
侧壁
144.228
ꢀꢀ
侧壁
145.230
ꢀꢀ
底部
146.232
ꢀꢀ
壳体元件
147.234
ꢀꢀ
开口
148.236
ꢀꢀ
上侧
149.238
ꢀꢀ
印刷电路板
150.300
ꢀꢀ
壁
151.302
ꢀꢀ
壁
152.400
ꢀꢀ
携载元件
153.402
ꢀꢀ
携载元件
154.404
ꢀꢀ
携载元件
155.406
ꢀꢀ
连接器元件
156.408
ꢀꢀ
连接器元件
157.410
ꢀꢀ
连接器元件
158.412
ꢀꢀ
连接器元件
159.414
ꢀꢀ
接受器
160.500
ꢀꢀ
定中心元件
161.502
ꢀꢀ
定中心元件
162.504
ꢀꢀ
接收元件
163.506
ꢀꢀ
区段
164.508
ꢀꢀ
区段
165.510
ꢀꢀ
区段
166.512
ꢀꢀ
区段
167.514
ꢀꢀ
引导区段
168.516
ꢀꢀ
插入斜面
169.518
ꢀꢀ
零件
170.520
ꢀꢀ
管状区段
171.522
ꢀꢀ
销
172.524
ꢀꢀ
插口
173.526
ꢀꢀ
定中心元件
174.528
ꢀꢀ
定中心元件
175.530
ꢀꢀ
定中心元件
176.600
ꢀꢀ
插入斜面
177.602
ꢀꢀ
开口边缘
178.800
ꢀꢀ
基底区段
179.900
ꢀꢀ
印刷电路板区段
180.902
ꢀꢀ
印刷电路板区段
181.904
ꢀꢀ
弹簧元件
182.906
ꢀꢀ
弹簧元件
183.908
ꢀꢀ
印刷电路板
184.1000 材料削弱部
185.1002 挠曲件
186.1004 挠曲件
187.1006 挠曲件
188.1008 挠曲件
189.1010 挠曲件
190.1012 材料削弱部
191.1014 材料削弱部
192.1100 系统
193.1102 电路
194.1104 线路
195.1106 线路
196.1108 处理器
197.1200 传感器
198.1202 传感器
199.b1
ꢀꢀꢀ
移动方向
200.b2
ꢀꢀꢀ
移动方向
201.e 插入方向
202.d 厚度
203.d1
ꢀꢀꢀ
宽度
204.d2
ꢀꢀꢀ
宽度
205.d3
ꢀꢀꢀ
宽度
206.m1
ꢀꢀꢀ
反射镜
207.m2
ꢀꢀꢀ
反射镜
208.m3
ꢀꢀꢀ
反射镜
209.m4
ꢀꢀꢀ
反射镜
210.m5
ꢀꢀꢀ
反射镜
211.m6
ꢀꢀꢀ
反射镜
212.s 间隙
213.s0
ꢀꢀꢀ
空隙
214.s1
ꢀꢀꢀ
空隙
215.z 定中心轴线