技术特征：
1.一种连接器布置(200)，具有：第一连接器元件(202)，第二连接器元件(204)，其能够与所述第一连接器元件(202)在插入方向(e)上插接在一起以形成电连接，携载元件(210)，其携载所述第一连接器元件(202)，以及接受器(218)，所述携载元件(210)被容纳其中以垂直于所述插入方向(e)可移动，以便当将所述第一和第二连接器元件(202、204)插接在一起时产生容差补偿，其中，所述携载元件(210)是印刷电路板。2.根据权利要求1所述的连接器布置，其中，所述携载元件(210)容纳在所述接受器(218)中，使得提供垂直于所述插入方向(e)的间隙(s)，所述间隙限定和界定垂直于所述插入方向(e)的可移动性。3.根据权利要求2所述的连接器布置，其中，所述间隙(s)形成为围绕所述携载元件(210)的环形间隙。4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器布置，具有：第一壳体元件(220)，其中提供所述接受器(218)，和/或第二壳体元件(232)，所述第二连接器元件(204)连接到所述第二壳体元件(232)。5.根据权利要求4所述的传感器布置，具有：第一定中心元件(500)，其直接或间接刚性连接到所述携载元件(210)，以及第二定中心元件(502)，其配备在所述第二壳体元件(232)上，其中，所述第一和第二定中心元件(500、502)相互作用使得所述第一连接器元件(202)和所述第二连接器元件(204)当它们在所述插入方向(e)上插接在一起时相对于彼此定中心。6.根据权利要求5所述的连接器布置，其中，所述第一定中心元件(500)配备为靠近在所述第一连接器元件(202)，在所述插入方向(e)上延伸超过所述第一连接器元件(202)，并且直接或间接地刚性连接到所述第一连接器元件(202)，其中，所述第二定中心元件(502)包括接收元件(504)，所述接收元件(504)配备为容纳所述第一定中心元件(500)以达到实现定中心的目的。7.根据权利要求4至6中任一项所述的传感器布置，具有：第三连接器元件(406)，第四连接器元件(412)，其能够与所述第三连接器元件(406)在所述插入方向(e)上插接在一起以形成电连接，另外的携载元件(400)，其携载所述第三连接器元件(406)，以及另外的接受器(414)，所述另外的携载元件(400)被容纳其中以便垂直于所述插入方向(e)可移动以当所述第三和第四连接器元件(406、412)插接在一起时产生容差补偿，其中，所述另外的接受器(414)配备在所述第一壳体元件(220)中，并且其中，所述第四连接器元件(412)连接到所述第二壳体元件(232)。8.根据权利要求1至7中任一项所述的连接器布置，其中，所述第一连接器元件(202)和所述第二连接器元件(204)中的一个包括10-400个、特别是80-300个销连接器，以及所述第一连接器元件(202)和所述第二连接器元件(204)中的另一个包括10-400个、特别是80-300个销插口。
9.一种连接器布置(200)，具有：第一连接器元件(202)，第二连接器元件(204)，其能够与所述第一连接器元件(202)在插入方向(e)上插接在一起以形成电连接，第一印刷电路板区段(900)，其上安装所述第一连接器元件(202)，以及第二印刷电路板区段(902)，所述第一印刷电路板区段(900)安装于其上以垂直于所述插入方向(e)可移动，以便当所述第一和第二连接器元件(202、204)插接在一起时产生容差补偿。10.根据权利要求9所述的连接器布置，其中，所述第一印刷电路板区段(900)和所述第二印刷电路板区段(902)彼此整体地形成。11.根据权利要求9或10所述的连接器布置，具有至少一个挠曲件(1002、1004、1006、1008、1010)，其中，所述第一印刷电路板区段(900)和所述第二印刷电路板区段(902)通过所述至少一个挠曲件(1002、1004、1006、1008、1010)相互连接。12.一种系统(1100)，具有：根据权利要求1至12中任一项所述的连接器布置(200)，致动器(134)和/或传感器(136、1200、1202)，其电连接到所述携载区段(210)或所述第二印刷电路板区段(902)和所述第一连接器元件(202)。13.根据权利要求12所述的系统，具有：集成电路(1102)，其电连接到所述第二连接器元件(204)。14.一种光刻设备(100a、100b)，具有根据权利要求1至11中任一项所述的连接器布置(200)和/或根据权利要求12或13所述的系统(1100)。
技术总结
本发明涉及一种连接器布置(200)，其包括：第一连接器元件(202)；第二连接器元件(204)，其能够与第一连接器元件(202)在插入方向(E)上插接在一起以便形成电连接；支撑元件(210)，其支撑第一连接器元件(202)；以及接受器(218)，其中容纳支撑元件(210)以垂直于插入方向(E)可移动，以便当将第一和第二连接器元件(202、204)插接在一起时产生容差补偿。支撑元件(210)是电路板。件(210)是电路板。件(210)是电路板。
技术研发人员：T.沃尔夫施泰纳
受保护的技术使用者：卡尔蔡司SMT有限责任公司
技术研发日：2020.08.27
技术公布日：2022/6/21