1.一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，采用离子束在砷化镓电池表面刻蚀微纳米减反结构，其特征在于，具体步骤为：
(1)用酒精清洗电池表面并用吹风机吹干；
(2)将电池背面粘贴在基板上固定，再将粘好电池的基板放置于旋涂机中旋涂光刻胶薄膜；
(3)旋涂完光刻胶薄膜后，将基片放置于真空干燥箱中保温烘干；
(4)选取掩模版，采用光刻机将紫外光透过掩模版辐照在附有光刻胶的电池表面，对照射部分曝光；
(5)采用化学溶液腐蚀的方法溶解去除曝光区发生降解反应的光刻胶；
(6)离子束刻蚀设备发出定向高能离子束撞击带有太阳能电池的基板，刻蚀曝光区的电池表面，从而形成微结构。
2.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的电池为gaas基单结异质太阳能电池，太阳能电池的结构包括正背面接触层、窗口层、发射区、基区、背散射场、缓冲区、衬底层。
3.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的旋涂机为evg101旋涂机，evg101旋涂机的运行参数为：旋涂时间为30s，加速度为1000rpm/s，速度为2000rpm。
4.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的真空干燥箱保温烘干，其温度为135℃，保温时间为15min。
5.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的掩模版为矩形，正方形或圆形；光刻机为karisussma6光刻机，所述karisussma6光刻机的激光为13nm的极端紫外光，所用的光刻机的曝光时间为5s。
6.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的化学溶液为浓度为2.38％的四甲基氢氧化铵溶液。
7.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述的离子束刻蚀设备运行参数设置为离子束电流：150ma，离子束电压：400v，加速电压：400v，中性电流：150ma，射频功率300w；离子束是氩离子束。
8.如权利要求1所述的一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法，其特征在于，所述微纳米减反结构的底面尺寸为1μm～10μm，深度为10nm～300nm。