一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法与流程

文档序号:29127991发布日期:2022-03-05 00:40阅读:51来源:国知局
一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法
技术领域
1.本发明涉及led技术领域,具体地,涉及一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法。


背景技术:

2.led晶粒生产过程中需要对落入不同光电性能范围内的产品进行分级,即从晶圆上选取光电性能符合的部分晶粒转移到对应蓝膜上。目前市场上所有的分选机均采用传统的优先邻近挑拣法,以某一个晶粒为起点,按顺序将该区域内的晶粒依次排列在蓝膜上,这是因为不同晶粒在晶圆上的位置越靠近,其光电性能就越相近,该方法可以以最快的速度将相同等级的晶粒挑拣出来,生产效率最高。
3.但即使晶圆上落入同一光电性能等级内的不同区域之间也会存在厚度或其他均匀性差异,这就导致位于同一蓝膜的不同区域的晶粒之间也存在均匀性差异。而下游客户在购入led晶粒进行深加工时,也是按照蓝膜上的排列顺序逐一使用晶粒的,反馈到产品上就是同一批次的不同产品之间,或者同一产品的不同发光区域之间存在肉眼可间的差异,影响产品质量和终端客户体验感。
4.综上所述,针对led制造企业提出的产品一致性需求,本行业需要提出一种新的led晶粒分选方案,以消除蓝膜上晶粒各区域间存在的均匀性差异。


技术实现要素:

5.本申请的目的在于提供一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,尽可能减小同一光电性能范围内产品分布不均导致的肉眼可见的差异性。本申请的技术方案如下:
6.一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,包括如下步骤:
7.步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级a的晶粒重新划分等级a1、a2……an

8.步骤2、先将第一区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,再将第二区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,继续挑选下一区域,直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完;
9.步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2,直至所有区域内原等级a的晶粒全部挑完。
10.在一些具体的实施例中,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干段,每一段所包含的晶粒数量相等,按顺序将各段内的晶粒分别标记为a1、a2……an

11.在一些具体的实施例中,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干循环,每一循环的结构相同且包括若干节,每一节所包含的晶粒数量相等,按顺序将各节内的晶粒分别标记为a1、a2……an

12.在一些具体的实施例中,每一节所包含的晶粒数量为1~5个。
13.在一些具体的实施例中,重新划分等级后,同一区域内每个新等级对应的晶粒总数不超过50个。
14.本申请提供的技术方案至少具有如下有益效果:
15.本申请通过对同一等级的晶粒进行重新分级,使得原本按晶圆上初始位置顺次排列的产品改为按晶圆区域顺序交错循环排列,达到了同一张晶圆上不同区域内相同等级产品混分的效果,减少了产品分选后存在的均值差异大的问题,至少在分光板上无直接目视差异,提升客户满意度和下游产品质量一致性。
具体实施方式
16.为了便于理解本申请,下面将结合说明书和部分实施例对本申请中的技术方案作更全面、细致地描述,但本申请的保护范围并不限于以下具体的实施例,基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,均属于本申请保护的范围。
17.除非另有定义,下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的,并不是旨在限制本申请的保护范围。
18.一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,包括如下步骤:
19.步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级a的晶粒重新划分等级a1、a2……an
,n为不小于2的整数,具体取值可根据需要混分的效果选择,n值越大,混分的效果越好。
20.步骤2、先将第一区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,再将第二区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,继续挑选下一区域,直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完。
21.步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2,直至所有区域内原等级a的晶粒全部挑完。
22.所述步骤1中重新划分晶粒等级的具体方式可根据实际生产需要来选择,这里列举两种形式。具体为:
23.在一些可能的实施例中,将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干段,每一段所包含的晶粒数量相等,通常在5个以上,按顺序将各段内的晶粒分别标记为a1、a2……an

24.以n=3且每一段含有5个晶粒为例,同一区域内的晶粒划分效果表现为:a1、a1、a1、a1、a1、a2、a2、a2、a2、a2、a3、a3、a3、a3、a3。
25.在分选时,先将各个区域内的a1等级晶粒挑选出来,并按照区域顺序放置在蓝膜上,然后将各个区域内的a2等级晶粒挑选出来,同样也按照区域顺序继续放置在蓝膜上,最后将各个区域内的a3等级晶粒挑选出来,按照区域顺序继续放置在蓝膜。事实上,在该蓝膜上,等级a的晶粒按照区域顺序循环排列了三次,达到了产品混合的目的。
26.在另一些可能的实施例中,将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干循环,每一循环的结构相同且包括若干节,每一节所包含的晶粒数量相等,通常为1~5个,按顺序将各节内的晶粒分别标记为a1、a2……an

27.以n=2为例,若每一节包含3个晶粒,则同一区域内的晶粒划分效果表现为:

a1、
a1、a1、a2、a2、a2、a1、a1、a1、a2、a2、a2…
;若每一节仅包含1个晶粒,即采用隔一个挑一个的方式划分新等级,同一区域内的晶粒划分效果表现为:

a1、a2、a1、a2、a1、a2…

28.在分选时,先将第一区域内的a1等级晶粒挑选出来,并按照循环顺序放置在蓝膜上,然后将第二区域内的a1等级晶粒挑选出来,同样按照循环顺序继续放置在蓝膜上,以此类推,直至将所有区域内a1等级等级的晶粒全部挑完;重复上述步骤挑选a2等级(或者更多等级)晶粒,直至所有区域内原等级a的晶粒全部挑完。事实上,在该蓝膜上,等级a的晶粒按照区域顺序循环排列了两次,且每一次循环在各个区域内的晶粒都是间隔式挑选,进一步打乱了产品的排列次序,有利于达产品混分。
29.此外,为了确保晶粒的排布顺序被有效打乱,在重新划分等级时,需要限制同一区域内每个新等级对应的晶粒总数不超过50个。
30.以上所述仅为本申请的部分实施例,并非因此限制本申请的专利保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。在本申请的精神和原则之内,凡是利用本申请说明书内容所作的任何改进或等同替换,直接或间接运用在其它相关的技术领域,均应包括在本申请的专利保护范围内。


技术特征:
1.一种消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级a的晶粒重新划分等级a1、a2……
a
n
;步骤2、先将第一区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,再将第二区域内的a1等级晶粒排列在蓝膜上,继续挑选下一区域,直至所有区域内该新等级的晶粒全部挑完;步骤3、挑选下一等级的晶粒并重复步骤2,直至所有区域内原等级a的晶粒全部挑完。2.根据权利要求1所述的消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,其特征在于,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干段,每一段所包含的晶粒数量相等,按顺序将各段内的晶粒分别标记为a1、a2……
a
n
。3.根据权利要求1所述的消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,其特征在于,所述步骤1中重新划分等级的过程如下:将同一区域内具有相同等级a的晶粒划分为若干循环,每一循环的结构相同且包括若干节,每一节所包含的晶粒数量相等,按顺序将各节内的晶粒分别标记为a1、a2……
a
n
。4.根据权利要求3所述的消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,其特征在于,每一节所包含的晶粒数量为1~5个。5.根据权利要求2~4中任意一项所述的消除各区域间均匀性差异的led晶粒分选方法,其特征在于,重新划分等级后,同一区域内每个新等级对应的晶粒总数不超过50个。

技术总结
本申请公开了一种消除各区域间均匀性差异的LED晶粒分选方法,包括如下步骤:步骤1、将晶圆划分为若干区域,将各个区域内具有相同等级A的晶粒重新划分等级A1、A2……


技术研发人员:郭祖福
受保护的技术使用者:湘能华磊光电股份有限公司
技术研发日:2021.11.29
技术公布日:2022/3/4
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