一种高效LED晶粒分选方法与流程

文档序号:29127992发布日期:2022-03-05 00:40阅读:164来源:国知局
一种高效led晶粒分选方法
技术领域
1.本发明涉及led技术领域,具体地,涉及一种高效led晶粒分选方法。


背景技术:

2.在led行业中,芯片分选是一道必不可少的工序,其具体操作为:在分选机的一端放置晶圆,而另一端摆放若干设有蓝膜的铁片,不同的铁片对应不同的电性范围,利用机械手臂将晶圆上的芯片挑拣出来并摆放在对应铁片的蓝膜上。由于机械手臂在作业时是按顺序依次挑拣晶粒的,而晶圆上位于同一区域内的n颗芯片的电性范围相同或相近,因此,当电性范围划分的等级不多时,抽拉铁片的次数也不多,而每次抽拉所耗费的时间也可忽略不计。但随着市场对电性范围需求的逐渐细化,同一晶圆上的晶粒需要被分选到越来越多的铁片上,特别是对于一些散bin,即该芯片对应电性等级内所包含的芯片数量较少,在晶圆上出现的频率越来越高,对led芯片的分类速度造成较大的影响。
3.例如,用asm分选机对led晶粒进行分选,对于包含5000颗芯片的某电性等级,仅需抽拉一次铁片(耗费30s),每颗芯片的挑拣时间为50ms,而若进一步将这5000颗芯片进一步细分至10个电性等级内,则芯片挑拣时间不变,但需要额外增加9次抽拉铁片的时间,对于芯片产能来说意味着浪费严重。而在实际生产中,包含几个、十几个芯片的电性等级已经较为常见,所浪费的时间更多、更严重,但本行业技术人员尚未对此引起重视,也未提出针对性的解决方法。
4.综上所述,行业内需要一种新的芯片分选方案,减少因散bin增多带来的产能下降问题。


技术实现要素:

5.本申请的目的在于提供一种高效led晶粒分选方法,在满足现有电性等级细分需求的同时提升芯片产能。本申请的技术方案如下:
6.一种高效led晶粒分选方法,包括如下步骤:
7.步骤1、在第一次分选时将多个晶圆上的散bin汇总至同一个指定等级内;
8.步骤2、将各个散bin分选至对应的电性等级内。
9.在一些具体的实施例中,在所述步骤1中,多个晶圆上的散bin排满第一片蓝膜后,继续排放在下一片蓝膜上;在所述步骤2中,对至少部分散bin进行再分选:将蓝膜上的部分散bin分选至对应的电性等级内,所有蓝膜上的剩余部分散bin汇总后再分选。
10.在一些具体的实施例中,所述步骤1和步骤2中对于散bin的汇总操作为:系统转档时,分选机系统监控落bin数量,将落bin数量不超过n颗的电性等级的等级号变为指定等级的等级号,同时保留各个散bin的原始电性等级数据,n为预设的散bin最大芯片数量。
11.在一些具体的实施例中,10≤n≤100。
12.在一些具体的实施例中,所述步骤2中的再分选次数为两次及以上。
13.本申请提供的技术方案至少具有如下有益效果:
14.本申请解决了散bin分选时存在的晶粒拣选时间还没有分选机换铁片(电性等级)时间长的问题,减少了每片晶圆抽拉换bin的次数,多片晶圆的散bin全部汇总在一起后实质上每个散bin的数量增加,规避了以往每个散bin都要抽拉换bin但又只挑选几颗就退回的低效生产方式,确保每次换bin时均可分选出较多数量的晶粒,节省下来的时间被用于分选晶粒,提高了生产效率,增加了产能,创造更多的经济效益。
具体实施方式
15.为了便于理解本申请,下面将结合部分较佳的实施例对本申请中的技术方案作更全面、细致地描述,但本申请的保护范围并不限于以下具体的实施例,基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,均属于本申请保护的范围。
16.除非另有定义,下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的,并不是旨在限制本申请的保护范围。
17.一种高效led晶粒分选方法,包括如下步骤:
18.步骤1、在第一次分选时将多个晶圆上的散bin汇总至同一个指定等级内;
19.步骤2、将各个散bin分选至对应的电性等级内。
20.具体地,在所述步骤1中,若散bin数量较多,当多个晶圆上的散bin排满第一片蓝膜后,可继续排放在第二片蓝膜、第三片蓝膜上,以此类推。在所述步骤2中,若蓝膜上汇总得到的对应某一电性等级的散bin数量较多,可将该部分散bin分选至对应的电性等级内,而对于即使经过一次汇总后数量仍然较少的部分散bin,可以采用二次汇总分选的方式,即重复上述过程,将该部分散bin再汇总,积少成多后作进一步分选。根据实际分选情况,汇总再分选的次数可以更多,直至所有散bin均被分选至对应的电性等级内。
21.所述步骤1和步骤2中对于散bin的汇总操作为:系统转档时,分选机系统监控落bin数量,将落bin数量不超过n颗的电性等级的等级号变为指定等级的等级号,同时保留各个散bin的原始电性等级数据,n为预设的散bin最大芯片数量。
22.实施例1
23.对于1000片a产品,设定将低于30颗的散bin转入同一个等级,汇总后利用分选机重转档实现重新分选。
24.根据统计,这1000片a产品中,30颗以下的散bin等级为9577个,而散bin的总晶粒数为162062个。按照机台一次抽拉换bin时间为20s计算,需要9577
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20=191540s,约等于53个小时,2.2天,即这些散bin将影响一台分选机2.2天的产能,而实际的产能仅有162062,即0.16kk,占1000片a产品中所有晶粒数量的0.1%还不到,严重拉低了生产效率。
25.通过采用本申请方法,作业1000片晶圆可节省出2.2天时间用于分选机挑拣芯片,而一台分选机正常工作2.2天能产出1.98kk晶粒,因此,这一部分是多出来的产能,且较于之前的产能提升了1.2%,进步显著。
26.本申请方法应用于实际生产中取得了非常明显的效果,创造了更高的经济效益,且操作过程简单,适用于市面上已有的各类芯片分选设备,具有推广价值。
27.以上所述仅为本申请的部分实施例,并非因此限制本申请的专利保护范围,对于
本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。在本申请的精神和原则之内,凡是利用本申请说明书内容所作的任何改进或等同替换,直接或间接运用在其它相关的技术领域,均应包括在本申请的专利保护范围内。


技术特征:
1.一种高效led晶粒分选方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、在第一次分选时将多个晶圆上的散bin汇总至同一个指定等级内;步骤2、将各个散bin分选至对应的电性等级内。2.根据权利要求1所述的高效led晶粒分选方法,其特征在于,在所述步骤1中,多个晶圆上的散bin排满第一片蓝膜后,继续排放在下一片蓝膜上;在所述步骤2中,对至少部分散bin进行再分选:将蓝膜上的部分散bin分选至对应的电性等级内,所有蓝膜上的剩余部分散bin汇总后再分选。3.根据权利要求2所述的高效led晶粒分选方法,其特征在于,所述步骤1和步骤2中对于散bin的汇总操作为:系统转档时,分选机系统监控落bin数量,将落bin数量不超过n颗的电性等级的等级号变为指定等级的等级号,同时保留各个散bin的原始电性等级数据,n为预设的散bin最大芯片数量。4.根据权利要求3所述的高效led晶粒分选方法,其特征在于,10≤n≤100。5.根据权利要求4所述的高效led晶粒分选方法,其特征在于,其特征在于,所述步骤2中的再分选次数为两次及以上。

技术总结
本申请公开了一种高效LED晶粒分选方法,包括如下步骤:步骤1、在第一次分选时,将多个晶圆上不超过30颗的散Bin汇总至同一个指定等级内,且散Bin排满第一片蓝膜后,继续排放在下一片蓝膜上;步骤2、将蓝膜上的部分散Bin分选至对应的电性等级内,所有蓝膜上的剩余部分散Bin汇总后再分选,直至所有散Bin均被分选至对应的电性等级内。本申请实现了对不同晶圆上散Bin的一次性集中分选,减少了分选机换铁片(电性等级)的时间,增加了芯片产能。增加了芯片产能。


技术研发人员:郭祖福 官婷 彭超 刘奇艳
受保护的技术使用者:湘能华磊光电股份有限公司
技术研发日:2021.11.29
技术公布日:2022/3/4
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