技术特征：
1.一种衬底处理装置，对衬底进行特定处理，所述装置包含以下要素：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动构件，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述多根支撑销由在peek(聚醚醚酮)材料中调配碳纳米管而成的材料构成。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。4.根据权利要求2所述的装置，其中所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。6.根据权利要求2所述的装置，其中所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。7.根据权利要求3所述的装置，其中所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。8.根据权利要求4所述的装置，其中所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。10.根据权利要求2所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。11.根据权利要求3所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。12.根据权利要求4所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。13.根据权利要求5所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。14.根据权利要求6所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。15.根据权利要求7所述的装置，其中
所述接地线安装在所述旋转台的下表面。16.根据权利要求8所述的装置，其中所述接地线安装在所述旋转台的下表面。17.根据权利要求9所述的装置，其中所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。18.根据权利要求10所述的装置，其中所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。19.根据权利要求11所述的装置，其中所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。20.根据权利要求1所述的装置，其中所述旋转台中形成着从所述支撑销朝向所述旋转轴具有长轴的槽，所述槽在与所述长轴正交的短轴处的纵截面中，呈现上底形成得比下底长的梯形，所述接地线在所述短轴处的纵截面呈现与所述槽相应的形状。
技术总结
本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。上述要素是指：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动部，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。连接。连接。
技术研发人员：藤内裕史
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/6/3