衬底处理装置的制作方法

1.本发明涉及一种衬底处理装置，是将半导体晶圆、液晶显示器或有机el(electroluminescence，电致发光)显示装置用衬底、光罩用玻璃衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底等衬底(以下，简称为衬底)支撑在旋转台上并以此状态使其旋转，同时对衬底进行特定处理。


背景技术：

2.以往，作为这种装置，有具备旋转台及多个支撑销的装置。例如，参照日本专利特开2017-228582号公报(图4)。该装置中，利用多个支撑销来支撑衬底，衬底的下表面与旋转台的上表面分离。衬底通过旋转台而旋转，同时对它的上表面进行特定处理。在衬底原本便带电或供给到衬底的处理液带电的情况下，担心因带电引起的静电力而导致粒子吸附于衬底。因此，需要去除衬底的电荷。
3.在以往的装置中，支撑销的一部分由导电性的材料构成，使支撑销与旋转轴导通而将支撑销接地。由此，被支撑的衬底经由支撑销及旋转轴而接地，从而可去除衬底的电荷。
4.但是，就具有这种构成的以往示例来看，存在如下问题。
5.也就是说，以往的装置必须要实现多根支撑销与旋转轴的导通，所述多根支撑销俯视下配置在旋转台的外周侧，所述旋转轴俯视下配置在旋转台的中心部。为此，例如通过用导电性的材料构成旋转台，可实现支撑销与旋转轴的导通。
6.但是，旋转台也必须要具备耐化学品性，因此，衬底处理装置中可利用的材料受限。例如，在背景技术中，列举了在氟树脂系的树脂中混合碳而成的材料。但是，如果用这种材料构成旋转台，那么会有成本变得非常高的问题。


技术实现要素：

7.本发明是鉴于所述情况而完成的，目的在于提供一种可通过对实现导通的构成进行研究而防止衬底带电并且抑制成本的衬底处理装置。
8.本发明为了达成所述目的而采取如下构成。
9.(1)本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动构件，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。
10.根据本发明，中央部连结在经接地的旋转轴的旋转台中的一部分由接地线构成，通过所述接地线来将多根支撑销与旋转轴电连接。因此，与在整个旋转台中实现导通的构成相比，可防止衬底带电并且抑制成本。
11.(2)在本发明中，优选为，所述多根支撑销由在peek(聚醚醚酮)材料中调配碳纳米管而成的材料构成。
12.可通过作为氟系树脂的peek(聚醚醚酮)材料而具备耐化学品性。通过在该peek材料中调配碳纳米管而获得导电性。因此，可良好地构成接地线。
13.(3)在本发明中，优选为，所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。
14.由于将接地线构成为在旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件，因此，旋转台旋转时不易受到风的阻力。因此，可抑制乱流对处理造成的不良影响。
15.(4)在本发明中，优选为，所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。
16.由于容易形成为十字型，因此可容易构成接地线。另外，由于将4个部位接地，因此可充分地去除衬底的电荷。
17.(5)在本发明中，优选为，所述接地线安装在所述旋转台的下表面。
18.可使对衬底进行处理的处理液不易回流。另外，即便处理液回流，也可以使其容易落下。因此，可抑制因伴随处理而产生的处理液附着引起的不良状况。
19.(6)在本发明中，优选为，所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。
20.由于将接地线埋设，因此，可减少旋转台的下表面的凹凸。因此，可抑制伴随旋转台旋转而产生的乱流。
21.(7)在本发明中，优选为，所述旋转台中形成着从所述支撑销朝向所述旋转轴具有长轴的槽，所述槽在与所述长轴正交的短轴处的纵截面中，呈现上底形成得比下底长的梯形，所述接地线在所述短轴处的纵截面呈现与所述槽相应的形状。
22.可在不使用螺钉等产生的物理力的情况下将接地线经由槽而安装在旋转台。因此，可防止施加荷重时随时间变化而不断变形的现象(被称为蠕变现象)，这种现象在树脂等中易产生。
附图说明
23.为了说明本发明，附图中示出了本发明优选的若干形式，但是应理解，本发明并不限定于示出的精确布置及机构。
24.图1是表示实施例的衬底处理装置的整体构成的图，
25.图2a是表示整个旋转台的俯视图，
26.图2b是图2a的局部放大图，
27.图3a是表示整个旋转台的仰视图，
28.图3b是图3a的局部放大图，
29.图4是固定销的纵剖视图，
30.图5是图4及图6中的101-101箭视剖视图，
31.图6是活动销的纵剖视图，
32.图7是从下方观察活动销所得的立体图，
33.图8是切换机构的俯视图，
34.图9是表示活动销的保持位置上的磁铁的位置关系的图，
35.图10是表示活动销的交接位置上的磁铁的位置关系的图。
具体实施方式
36.以下，参照附图对本发明的一实施例进行说明。
37.图1是表示实施例的衬底处理装置的整体构成的图。图2a是表示整个旋转台的俯视图，图2b是旋转台的局部放大图。图3a是表示整个旋转台的仰视图，图3b是旋转台的局部放大图。
38.实施例的衬底处理装置是逐片处理衬底w的单片式处理装置。该衬底处理装置具备基底单元1、夹头单元3、防飞散杯5、供给喷嘴7及控制部9。
39.基底单元1使夹头单元3旋转，并且解除夹头单元3对衬底w的保持。夹头单元3将衬底w以水平姿势保持并使其旋转。防飞散杯5防止从供给喷嘴7供给到衬底w的处理液向周围飞散。防飞散杯5跨及处理高度(图1中的实线)与相当于处理高度下方的交接高度(图1中的双点划线)之间升降。
40.基底单元1具备电动马达11及切换机构13。电动马达11与切换机构13配置在具备耐化学品性的外罩15内。换句话说，外罩15覆盖电动马达11与切换机构13。由于将电动马达11与切换机构13配置在外罩15内，因此无须对这些部件实施对处理液具备耐性的处理，或者无须利用对处理液具备耐性的材料来构成。因此，可抑制基底单元1的成本。
41.电动马达11在铅直方向上具备旋转轴17。旋转轴17绕铅直方向的轴芯p1旋转。旋转轴17由具有导电性的金属材料构成。旋转轴17以与未图示的接地线导通的方式被电连接。电动马达11从编码器19输出旋转轴17的旋转位置。旋转轴17通过轴承21可旋转地支撑，且从外罩15向上方延伸。在旋转轴17的上部安装着夹头单元3。
42.所述电动马达11相当于本发明中的“旋转驱动构件”。
43.夹头单元3具备旋转台23及保持机构25。如图2a所示，旋转台23在俯视下呈圆形。旋转台23例如由对从供给喷嘴7供给的处理液具有耐性的材料构成。具体来说，可列举例如氟树脂。更具体来说，可列举peek(聚醚醚酮)。
44.保持机构25例如具备2根固定销27及2根活动销29。旋转台23在与2根固定销27及2根活动销29对应的位置具备贯通口31。各贯通口31从旋转台23的上表面贯通到下表面。2根固定销27及2根活动销29分别插通在贯通口31中。旋转台23在贯通口31的周围形成着切开部33。切开部33形成为比旋转台23的上表面低。切开部33在俯视下呈u字状。
45.切开部33使得处理液容易向侧方排出。因此，可抑制从旋转台23的上表面流向侧方的处理液滞留在安装着固定销27及活动销29的部位。因此，可防止因滞留的处理液而产生粒子。
46.此外，所述固定销27及活动销29相当于本发明中的“支撑销”。
47.在此，参照图4。图4是固定销的纵剖视图。
48.固定销27具备下部销部35及上部销部37。下部销部35设置在旋转台23的下部。下部销部35经由贯通口31与上部销部37连结。下部销部35具有销支撑部35a、固定用螺钉35b、平衡块35c、盖部件35d及固定密封件35e。用来将上部销部37固定在销支撑部35a的固定用螺钉35b旋入销支撑部35a的上部。在固定用螺钉35b的下部安装着平衡块35c。平衡块35c用来取得与活动销29的重量平衡。在平衡块35c的下部安装着盖部件35d。盖部件35d将平衡块
35c固定在销支撑部35a。盖部件35d通过固定密封件35e而固定在销支撑部35a。销支撑部35a的上部隔着固定密封件35f而安装着上部销部37。固定密封件35f防止处理液渗入内部而腐蚀固定用螺钉35b等。
49.上部销部37具备轴部37a及支撑片37b。支撑片37b具备突起37c。轴部37a以载置于固定密封件35f的状态通过固定用螺钉35b而固定在销支撑部35a。支撑片37b在俯视下呈椭圆形。支撑片37b抵接于衬底w的外周侧的下表面及外周缘，以此来支撑衬底w。支撑片37b在轴芯p1侧形成着倾斜面37d。倾斜面37d具有从轴芯p1向旋转台23的外周侧缓慢变高的倾斜。倾斜面37d抵接于衬底w的下表面。支撑片37b在俯视下比固定用螺钉35b更靠外周侧的部位形成着突起37c。突起37c抵接于衬底w的外周缘，限制衬底w向外侧移动。固定销27以成为支撑片37b的椭圆形长轴沿着旋转台23的外周缘的姿势的方式安装。
50.在固定销27中的上部销部37与销支撑部35a的上表面的接触部分可插入填隙片39。填隙片39为不锈钢板的薄板。通过将填隙片39改变为不同厚度、或者增减填隙片39的片数，可调整固定销27的上部销部37距离旋转台23的上表面的高度。由此，可调整衬底w的支撑高度，从而可将衬底w调整为水平。固定密封件35e、35f为具有耐化学品性的弹性部件。具体来说，固定密封件35e、35f例如优选为氟橡胶(偏二氟乙烯系(fkm)、四氟乙烯-丙烯系(fepm)、四氟乙烯-全氟乙烯醚系(ffkm)等。
51.如图3a所示，固定销27的下部销部35隔着销壳41螺固于旋转台23的下表面。此外，图4中，就图示的关系来看，省略了销壳41的图示。所述构成固定销27的零件中，销支撑部35a与支撑片37b优选由具有耐化学品性的导电性材料构成。更优选为调配有碳纳米管的导电性peek素材(peek-cnt)。由此，能够确保导电性。
52.在旋转台23的下表面设置着接地线43。接地线43构成旋转台23的一部分。具体来说，如图2a及图3a所示，以与2根固定销27及2根活动销29导通的方式配置着4条接地线43。接地线43具有导电性。优选为调配有碳纳米管的导电性peek素材(peek-cnt)。接地线43的外周侧的端部以与销支撑部35a导通的方式安装。接地线43的轴芯p1侧的端部以与旋转轴17导通的方式安装。旋转轴17经由电动马达11而连接于接地线。
53.接地线43可通过作为氟系树脂的peek(聚醚醚酮)材料而具备耐化学品性。通过在该peek材料中调配碳纳米管而获得导电性。因此，peek-cnt可良好地构成接地线43。
54.在此，参照图5。图5是图4及图6中的101-101箭视剖视图。
55.在旋转台23的下表面，以俯视下呈十字形的方式形成着槽45。槽45的纵截面形状为倒梯形。槽45从固定销27或活动销29朝向旋转轴17具有长轴。槽45在与槽45的长轴正交的短轴的纵截面上，呈现上底形成得比下底长的梯形。相当于梯形的脚方向的槽45的深度比槽45的长轴短。槽45中嵌埋着所述接地线43。即，接地线43埋设在旋转台23的下表面。由于将接地线43埋设，因此，可减少旋转台23的下表面的凹凸。因此，可抑制伴随旋转台23的旋转而产生的乱流。进而，由于将接地线43安装在旋转台23的下表面，因此可使得对衬底w进行处理的处理液不易流回到接地线43。另外，即便处理液回流，也可使其容易落下。因此，可抑制因处理液附着导致接地线43可能会产生的不良状况。另外，接地线43是在旋转台23的面方向上形成得较薄的板状部件。因此，即便不埋设在旋转台23的下表面而以贴附在下表面的方式进行安装，在旋转台23旋转时也不易受到风的阻力。因此，可抑制乱流对处理造成的不良影响。接地线43的纵截面形状为与槽45大致一致的形状。换句话说，接地线43在槽
45的短轴处的纵截面呈现与槽45相应的形状。接地线43的外形形成为稍小于槽45。因此，通过沿着旋转台23的面在半径方向上使接地线43穿过槽45，可在不使用螺钉等产生的物理力的情况下将接地线43安装在槽45。由此，接地线43会缓慢地穿过槽45。因此，可防止施加荷重时随时间变化而不断变形的现象(被称为蠕变现象)，树脂材料中会担心发生这种现象。由此，可防止接地线43变形而难以实现导通这样的不良状况。
56.在旋转台23由peek等非导电性材料构成的情况下，存在附着粒子因带电而难以脱离的情况。由此，存在衬底w被粒子污染的情况。在本实施例中，通过配置接地线43，来将所述固定销27与以下说明的活动销29接地。因此，可防止带电，从而可防止所述不良状况。而且，虽说调配有碳纳米管的导电性peek素材的价格非常高，但在本实施例中，并非整个旋转台23由导电性peek素材构成，而是仅俯视下呈十字形的一部分旋转台23由导电性peek素材构成。因此，可在抑制成本的同时防止所述不良状况。
57.接下来，参照图6。图6是活动销的纵剖视图。
58.活动销29具备下部销部47及上部销部49。下部销部47设置在旋转台23的下部。下部销部47经由贯通口31与上部销部49连结。下部销部47具备销支撑部47a、旋转磁铁47c、盖部件47d、固定密封件47e、轴承47f、固定密封件47g及筒状部件47h。
59.用来将上部销部49固定在销支撑部47a的固定用螺钉47b旋入销支撑部47a的上部。在固定用螺钉47b的下部安装着旋转磁铁47c。旋转磁铁47c连结在活动销29的下端部。如下所述，该旋转磁铁47c是通过切换周围的磁极来使活动销29旋动。在旋转磁铁47c的下部安装着盖部件47d。盖部件47d将旋转磁铁47c固定在销支撑部47a。盖部件47d通过固定密封件47e而固定在销支撑部47a。销支撑部47a经由轴承47f及筒状部件47h并通过固定密封件47g而安装在贯通口31。销支撑部47a只固定在轴承47f的内轮，而未固定在轴承47f的外轮。轴承47f的外轮固定在贯通口31。筒状部件47h以下表面与销支撑部47a的上表面分离的状态安装在销支撑部47a的上部。
60.筒状部件47h只固定在轴承47f的外轮及旋转台23的下表面。筒状部件47h以下表面与销支撑部47a分离的方式配置。轴承47f在内轮与外轮之间不具备密封部件。因此，流体可流经轴承47f的内轮与外轮之间。轴承47f由对处理液具有耐性的材料构成。例如，轴承47f优选内轮及外轮均由导电性树脂构成。轴承47f例如优选由调配有碳纳米管的导电性peek素材构成。另外，从确保耐磨性及导电性的方面来看，轴承47f的滚动体优选由sic(碳化硅)构成。沿着轴承47f流下的流体经过筒状部件47h的下表面与销支撑部47a的间隙的流路47i而向周围排出。因此，与切开部33的效果相结合，可更有效地防止处理液滞留在旋转台23上的活动销29的根部。
61.上部销部49具备轴部49a及支撑片49b。支撑片49b具备突起49c。轴部49a以载置在固定密封件47g的状态通过固定用螺钉47b而固定在销支撑部47a。支撑片47b在俯视下呈椭圆形。支撑片47b抵接于衬底w的外周侧的下表面及外周缘，以此来支撑衬底w。支撑片47b在轴芯p1侧形成有倾斜面49d。倾斜面49d形成有从轴芯p1朝向旋转台23的外周侧缓慢变高的倾斜。倾斜面49d抵接于衬底w的下表面。支撑片49b在俯视下比固定用螺钉47b更靠外周侧的部位形成着突起49c。突起49c抵接于衬底w的外周缘，以此限制衬底w向外侧移动。此外，活动销29与固定销27同样，可在上部销部49与销支撑部47a的上表面的接触部分插入填隙片51。通过将填隙片51改变为不同厚度、或增减填隙片51的片数，可调整活动销29的上部销
部49距离旋转台23的上表面的高度。由此，可调整衬底w的面高度。这种情况也被称为面偏移调整。此外，固定密封件47e、47g的材质优选与所述固定密封件35e、35f相同。活动销29构成为能够通过轴承47f而绕轴芯p2旋动。
62.如图3a及图3b所示，活动销29的下部销部47利用支撑板53而螺固固定于旋转台23的下表面。此外，图6中，从图示的关系方面来看，省略了支撑板53的图示。在所述构成活动销29的零件中，下部销部47与上部销部37优选由具有耐化学品性的导电性材料构成。更优选为调配有碳纳米管的导电性peek素材(peek-cnt)。由此，能够确保导电性。
63.活动销29在旋动到保持位置时，与固定销27同样，以成为支撑片49b的椭圆形长轴沿着旋转台23的外周缘的姿势的方式安装。因此，通过将活动销29旋动到保持位置，而成为支撑片37b、49b的长轴沿着旋转台23的外周缘的姿势。因此，可减小旋转台23旋转时支撑片37b、49b的空气阻力，可抑制固定销27及活动销29周围的气流紊乱。其结果为，可抑制固定销27及活动销29附近的衬底w的周缘部的处理不均。
64.图2a及图3所示的接地线43以其外周侧的端部与下部销部47导通的方式安装。接地线43的轴芯p1侧的端部以与旋转轴17导通的方式安装。
65.参照图3及图7。此外，图7是从下方观察活动销所得的立体图。
66.支撑板53具备一端部53a、另一端部53b、安装部53c、圆螺钉孔部53d及长螺钉孔部53e。支撑板53由对处理液具备耐性的材料构成。该材料优选为氟树脂。更优选为peek。
67.一端部53a是沿着相当于旋转台23的外周缘的圆弧的支撑板53的一部位。另一端部53b是在相当于旋转台23的外周缘的圆弧上与一端部53a为相反侧的一部位。安装部53c是形成在一端部53a侧的供安装活动销29的部位。圆螺钉孔部53d是形成在另一端部53b侧且用来螺固固定在旋转台23的安装孔。长螺钉孔部53e是形成在一端部53a侧且用来形成螺固于旋转台23的安装孔。该孔是在旋转台23的径向上具有长轴的长孔。
68.支撑板53如上所述具备长螺钉孔部53e。因此，可在将长螺钉孔部53e的螺钉旋松的状态下，使一端部53a向旋转台23的径向移动，以此调整活动销29在旋转台23的径向上的位置。由此，能够以衬底w在旋转台23的径向上被恰当地支撑的方式容易地进行调整。换句话说，能够以旋转台23的旋转中心与衬底w的中心一致的方式，即不会出现所谓的“芯偏移”的方式容易地进行调整。其结果为，可提高衬底w中的处理的面内均一性。
69.支撑板53在与安装部53c相邻的位置形成着收容部55。收容部55位于旋转台23的下表面，且形成在旋转磁铁47c的侧方。收容部55中收容着固定磁铁57。固定磁铁57始终对旋转磁铁47c赋予磁场。被固定磁铁57赋予磁场的旋转磁铁47c因磁力被固定磁铁57吸引并旋转，并在稳定的状态下静止。因此，活动销29绕轴芯p2旋动并静止。该位置成为保持位置。如图2b中实线所示，保持位置是突起49c抵接于衬底w的端缘的位置。另一方面，如图2b中双点划线所示，交接位置是活动销29绕轴芯p2旋动，突起49c与衬底w的端缘分离，衬底w的下表面周缘抵接于倾斜面49d而被支撑的状态。因此，当活动销29位于交接位置时，可通过未图示的搬送臂来交接衬底w。由于在旋转磁铁47c的侧方配置着固定磁铁57，因此，可通过固定磁铁57的位置而容易调整活动销29成为保持位置时的旋动程度。
70.如图3a及图3b所示，所述固定磁铁57与旋转磁铁47c配置在俯视下以旋转台23的旋转中心p1为中心的同一圆周上。由于进行这样的配置，因此，如图7所示，固定磁铁57与旋转磁铁47c均能够从外周侧被观察到。因此，在维护时可容易进行操作。
71.参照图1及图8～图10。此外，图8是切换机构的俯视图。图9是表示活动销的保持位置上的磁铁的位置关系的图。图10是表示活动销的交接位置上的磁铁的位置关系的图。
72.切换机构13具备气缸59、支撑臂61及驱动磁铁63。气缸59具备在铅直方向上伸缩的作动轴65。支撑臂61安装在作动轴65上。支撑臂61具有跨及两根活动销29的长度。在支撑臂61的两端安装着驱动磁铁63。驱动磁铁63在俯视下位于比旋转磁铁47c更靠旋转台23的内周侧。换句话说，驱动磁铁63配置在比旋转磁铁47c及固定磁铁57更靠旋转台23的轴芯p1侧。驱动磁铁63产生比固定磁铁57强的磁力。
73.切换机构13在保持衬底w的保持位置，以驱动磁铁63位于图1中实线所示的下降位置的方式使气缸59的作动轴65收缩。该状态为通常状态下的位置，例如在因停电或电源故障等而切断电源的情况下，会成为该状态。此外，在俯视下，会成为如图9所示的位置关系。即，对活动销29的旋转磁铁47c赋予仅由固定磁铁57产生的磁力，旋转磁铁47c与固定磁铁57因磁力而相互吸引，从而将活动销29旋动到保持位置。
74.另一方面，切换机构13在释放衬底w的交接位置，以驱动磁铁63位于图1中双点划线所示的上升位置的方式使气缸59的作动轴65伸长。此外，在俯视下，成为如图10所示的位置关系。即，赋予给活动销29的旋转磁铁47c的比固定磁铁57更大的磁力从驱动磁铁63被赋予到旋转磁铁47c。于是，旋转磁铁47c被驱动磁铁63吸引，活动销29被旋动到交接位置。
75.所述旋转磁铁47c、固定磁铁57及驱动磁铁63优选为钕磁铁。钕磁铁是以钕、铁、硼为主成分的稀土类磁铁(稀土元素磁铁)。钕磁铁产生强力的磁场。
76.切换机构13在俯视下配置在比旋转磁铁47c及固定磁铁57更靠旋转台23的轴芯p1侧。因此，可将驱动磁铁63偏靠旋转台23的轴芯p1侧而配置。因此，可实现切换机构13的小型化。
77.控制部9包含cpu(central processing unit，中央处理器)及存储器等。控制部9控制从供给喷嘴7的处理液的供给、以及供给喷嘴7在待机位置与供给位置之间的摆动。待机位置是供给喷嘴7的喷出口如图1所示相当于轴芯p1的上方的位置。待机位置是供给喷嘴7的喷出口从防飞散杯5向侧方偏离的位置。控制部9控制防飞散杯5在处理高度与交接高度之间的升降。控制部9控制电动马达11的旋转。例如，控制部9以处理速度为目标按特定加速度提高转速，在达到处理速度的时点，在整个处理时间范围内维持处理速度。控制部9在经过处理时间后，以特定的负加速度使转速下降，并使其停止。对控制部9输入来自编码器19的信号。控制部9在使电动马达11停止时，参照来自编码器19的输出。控制部9以成为图8所示的位置关系的方式使电动马达11停止。具体来说，以2根活动销29的旋转磁铁47c与切换机构13的驱动磁铁63在旋转台23的径向上对向的方式控制电动马达11的旋转。控制部9控制由切换机构13进行的驱动磁铁63的升降。
78.所述构成的衬底处理装置例如以如下方式对衬底w进行处理。此外，在正常情况下，控制部9不对切换机构13进行操作。即，驱动磁铁63位于图1中实线所示的下降位置。该正常情况下，如图9所示，旋转磁铁47c被固定磁铁57的磁力吸引而旋动。因此，活动销29成为图2b中实线所示的保持位置。
79.控制部9使防飞散杯移动到交接高度，并且操作切换机构13，使驱动磁铁63移动到上升位置。上升位置是图1中双点划线所示的位置。于是，如图10所示，旋转磁铁47c被驱动磁铁63吸引。因此，活动销29处于图2b中双点划线所示的交接位置。
80.控制部9使保持着作为处理对象的衬底w的搬送臂(未图示)移动到旋转台23的上方，然后使搬送臂下降而将衬底w载置在固定销27的倾斜面37d及活动销29的倾斜面49d。
81.在搬送臂向外侧退出之后，控制部9使防飞散杯上升到处理高度。控制部9操作切换机构13，使驱动磁铁63下降到图1中实线所示的下降位置。于是，如图9所示，解除驱动磁铁63对旋转磁铁47c的吸引。因此，旋转磁铁47c被固定磁铁57的磁力吸引而旋动。由此，活动销29处于图2b中实线所示的保持位置。
82.控制部9操作供给喷嘴7，使供给喷嘴7从待机位置摆动到处理位置。然后，在使电动马达11旋转到处理速度的状态下从供给喷嘴7供给处理液，在处理时间内对衬底w供给处理液并进行处理。
83.在经过特定时间之后，通过所述一连串动作的相反动作来搬出衬底w。
84.根据本实施例，切换机构13在正常情况下，不对旋转磁铁47c赋予驱动磁铁63的磁场，只有在衬底w的交接时，才将驱动磁铁63的磁场赋予给旋转磁铁47c，使得各活动销29旋动到交接位置。因此，正常情况下，是通过来自固定磁铁57的磁力来将各活动销29旋动到保持位置。另一方面，只有在衬底w的交接时，才通过切换机构13的驱动磁铁63的磁力来将各活动销29旋动到交接位置。其结果为，无需弹簧、凸轮板、升降板等，因此，能够以简单的构成实现旋转台的轻量化。另外，伴随着旋转台23的轻量化，在对需定期更换的2个固定销27及2个活动销29进行更换这样的维护时，可容易拆卸旋转台23。因此，也可以减轻维护时作业人员的负担。
85.另外，根据本实施例，通过构成旋转台23的一部分的接地线，将2根固定销27及2根活动销29与旋转轴17电连接。因此，与整个旋转台23中实现导通的构成相比，可防止衬底w带电并且抑制成本。
86.本发明并不限定于所述实施方式，也可以按以下方式变化实施。
87.(1)在所述实施例中，将旋转磁铁47c与固定磁铁57配置在以轴芯p1为中心的同一圆周上。但是，本发明并不限定于这种构成。即，也可以将旋转磁铁47c与固定磁铁57配置在旋转台23的径向上。
88.(2)在所述实施例中，将固定磁铁57配置在旋转磁铁47c的侧方。但是，本发明并不限定于这种构成。即，固定磁铁57只要能通过对旋转磁铁47c赋予磁场而使活动销29旋动到保持位置即可，其配置位置不受限定。
89.(3)在所述实施例中，切换机构13包括气缸59，但本发明并不限定于这种构成。即，只要构成为能够使驱动磁铁63跨及接近旋转磁铁47c的位置与远离旋转磁铁47c的位置之间移动，那么可以为任意构成。
90.(4)在所述实施例中，旋转台23具备切开部33，但本发明并非必须具备这种构成。
91.(5)在所述实施例中，构成为可利用支撑板53来调整活动销29在旋转台23的径向上的位置。但是，本发明并非必须具备该构成。只要所谓的芯偏移不会对处理造成较大影响，那么也可以省略该构成，从而抑制成本。
92.(6)在所述实施例中，固定销27与活动销29的支撑片37b、49b在俯视下呈椭圆形。但是，本发明并不限定于这种构成。例如，支撑片37b、49b也可以在俯视下呈圆形。
93.(7)在所述实施例中，夹头单元3具备2根固定销27及2根活动销29。但是，本发明并不限定于所述根数。
94.(8)在所述实施例中，例示了通过供给喷嘴7供给处理液而进行处理的衬底处理装置。但是，本发明也可以应用到一边使衬底w旋转一边实施特定处理的衬底处理装置这样的任意装置中。
95.(9)在所述实施例中，固定销27及活动销29由peek-cnt构成。但是，本发明并不限定于所述材料。即，只要具有耐化学品性且具有导电性，那么也可以由其它材料构成。
96.(10)在所述实施例中，接地线43以俯视下形成为十字型的方式构成。但是，本发明并不限定于这种构成。例如，在活动销27与固定销29合计为6根的情况下，也可以形成为俯视下呈6条线状。但是，即便在这种情况下，也可以构成为6根中的4根十字型接地线43导通。
97.(11)在所述实施例中，将接地线43设置在旋转台23的下表面。但是，本发明并不限定于这种构成。即，也可以将接地线43设置在旋转台23的上表面。另外，将接地线43插通在槽45中而安装，但在不会受到蠕变现象的影响的情况下，也可以通过螺固等来安装接地线43。
98.本发明可在不脱离其精神或基本属性的情况下，以其它特别形式加以实施，因此，不应参考说明书，而应参考指定了本发明的范围的权利要求书。