一种晶圆划片机定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆划片机技术领域，具体为一种晶圆划片机定位装置。


背景技术：

2.晶圆划片机是现有的激光划片机，晶圆划片机具有切割结构化硅晶片的功能，是半导体技术的制造的理想工具，在晶圆划片机切割前，需要工作人员对被切割的晶片进行定位的工作，此时就需要使用到晶圆划片机定位装置。
3.现有的晶圆划片机定位装置存在的缺陷是：
4.1、现有的晶圆划片机定位装置不方便工作人员进行定位的工作，且定位精度较低，容易导致后续切割错误，不方便使用；
5.2、现有的晶圆划片机定位装置没有设置防护的机构，容易因工作人员操作失误或机器故障导致事故的发生，不方便使用，为此我们提出一种晶圆划片机定位装置来解决现有的问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种晶圆划片机定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆划片机定位装置，包括工作台、安装件和支撑杆，所述工作台一端的顶部与底部皆安装有横向滑杆，所述横向滑杆的外围皆安装有横向滑块，所述横向滑块底部的表面安装有数字计量器，所述横向滑杆之间的横向滑块之间皆安装有竖向滑杆，所述竖向滑杆的外围皆安装有竖向滑块，所述竖向滑杆之间的竖向滑块顶部安装有托盘，所述工作台的顶部安装有安装件，所述工作台一端的安装件底部安装有划片机构，所述划片机构一端的底部安装有显微镜，所述工作台两侧的表面皆安装有安装板，所述工作台一端的安装板内侧皆安装有红外传感器。
8.优选的，所述工作台底部的表面安装有铭牌，且铭牌与工作台之间安装有螺栓。
9.优选的，所述安装板与工作台之间皆安装有安装栓，且安装栓的表面皆涂覆有抗氧化涂层。
10.优选的，所述竖向滑杆一侧的竖向滑块一侧安装有握把，且握把的外围设置有橡胶套。
11.优选的，所述工作台另一端的顶部与底部皆安装有支撑杆，且支撑杆的一端与工作台之间皆安装有连接座。
12.优选的，所述支撑杆的另一端皆安装有脚座，且脚座的另一端皆设置有防滑垫。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型通过在横向滑块的表面安装有数字计量器，划片机构一端的底部安装有显微镜，工作人员将晶片放置在托盘上，根据数字计量器通过手持握把拉动横向滑块在横向滑杆外围滑动可调节托盘的横向位置，通过握把拉动竖向滑块在竖向滑杆外围滑动
可调节托盘的竖向位置，通过调节托盘的横向位置以及竖向位置可将托盘调节至划片机构的底部，从而完成定位的工作，调节完成后工作人员通过显微镜观察托盘上的晶片，根据观察结果对托盘的位置进行细微调节，增加定位的准确性，优化使用过程。
15.2、本实用新型通过在工作台一端的安装板内侧皆安装有红外传感器，通过安装板可将红外传感器安装在工作台上，增加红外传感器的稳定性，当工作人员对托盘进行定位调节的过程中，通过红外传感器对工作人员的手部进行识别，当红外传感器识别到工作人员的手部时，通过红外传感器使得划片机构处于断电状态，避免因操作失误或机器故障导致划片机构误伤工作人员，增加本装置防护效果和安全性，优化使用过程。
附图说明
16.图1为本实用新型的立体图；
17.图2为本实用新型的主视图；
18.图3为本实用新型的竖向滑杆局部结构示意图；
19.图4为本实用新型的托盘局部结构示意图。
20.图中：1、工作台；2、握把；3、红外传感器；4、数字计量器；5、横向滑杆；6、安装件；7、划片机构；8、横向滑块；9、竖向滑杆；10、托盘；11、安装板；12、竖向滑块；13、显微镜；14、安装栓；15、支撑杆；16、螺栓；17、铭牌；18、脚座。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.请参阅图1
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4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆划片机定位装置，包括工作台1、安装件6和支撑杆15，工作台1一端的顶部与底部皆安装有横向滑杆5，横向滑杆5的外围皆安装有横向滑块8，横向滑块8底部的表面安装有数字计量器4，横向滑杆5之间的横向滑块8之间皆安装有竖向滑杆9，竖向滑杆9的外围皆安装有竖向滑块12，竖向滑杆9之间的竖向滑块12顶部安装有托盘10，工作台1的顶部安装有安装件6，工作台1一端的安装件6底部安装有划片机构7，划片机构7一端的底部安装有显微镜13，工作人员将晶片放置在托
盘10上，根据数字计量器4通过手持握把2拉动横向滑块8在横向滑杆5外围滑动可调节托盘10的横向位置，通过握把2拉动竖向滑块12在竖向滑杆9外围滑动可调节托盘10的竖向位置，通过调节托盘10的横向位置以及竖向位置可将托盘10调节至划片机构7的底部，从而完成定位的工作，调节完成后工作人员通过显微镜13观察托盘10上的晶片，根据观察结果对托盘10的位置进行细微调节，增加定位的准确性，优化使用过程，定位工作完成后通过划片机构7对晶片进行激光划片的工作，工作台1两侧的表面皆安装有安装板11，工作台1一端的安装板11内侧皆安装有红外传感器3，通过安装板11可将红外传感器3安装在工作台1上，增加红外传感器3的稳定性，当工作人员对托盘10进行定位调节的过程中，通过红外传感器3对工作人员的手部进行识别，当红外传感器3识别到工作人员的手部时，通过红外传感器3使得划片机构7处于断电状态，避免因操作失误或机器故障导致划片机构7误伤工作人员，增加本装置防护效果和安全性，优化使用过程。
25.进一步，工作台1底部的表面安装有铭牌17，通过铭牌17可方便工作人员查看装置的型号与规格，且铭牌17与工作台1之间安装有螺栓16，通过螺栓16可将铭牌17安装在工作台1上，增加铭牌17的稳定性。
26.进一步，安装板11与工作台1之间皆安装有安装栓14，通过安装栓14可将安装板11安装在工作台1上，增加安装板11的稳定性，且安装栓14的表面皆涂覆有抗氧化涂层，通过抗氧化涂层可避免安装栓14生锈，避免生锈导致的零件松动。
27.进一步，竖向滑杆9一侧的竖向滑块12一侧安装有握把2，通过握把2可方便工作人员调节定位托盘10，且握把2的外围设置有橡胶套，通过橡胶套可增加握把2与工作人员手掌的摩擦力，避免出现打滑的现象。
28.进一步，工作台1另一端的顶部与底部皆安装有支撑杆15，通过支撑杆15可增加工作台1的稳定性，且支撑杆15的一端与工作台1之间皆安装有连接座，通过连接座可将支撑杆15安装在工作台1上，增加支撑杆15的稳定性。
29.进一步，支撑杆15的另一端皆安装有脚座18，通过脚座18可增加支撑杆15以及工作台1的稳定性，且脚座18的另一端皆设置有防滑垫，通过防滑垫可增加脚座18底部接触面的摩擦力，避免出现打滑的现象，增加脚座18的稳定性。
30.工作原理：工作人员将晶片放置在托盘10上，根据数字计量器4通过手持握把2拉动横向滑块8在横向滑杆5外围滑动可调节托盘10的横向位置，通过握把2拉动竖向滑块12在竖向滑杆9外围滑动可调节托盘10的竖向位置，通过调节托盘10的横向位置以及竖向位置可将托盘10调节至划片机构7的底部，从而完成定位的工作，调节完成后工作人员通过显微镜13观察托盘10上的晶片，根据观察结果对托盘10的位置进行细微调节，增加定位的准确性，定位工作完成后通过划片机构7对晶片进行激光划片的工作，当红外传感器3识别到工作人员的手部时，通过红外传感器3使得划片机构7处于断电状态，避免因操作失误或机器故障导致划片机构7误伤工作人员，优化使用过程。
31.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。