用于扫描电子显微镜的样品座的制作方法

1.本实用新型涉及金属检测设备领域，具体而言，涉及一种用于扫描电子显微镜的样品座。


背景技术：

2.目前，扫描电子显微镜能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级小可至平方微米的量级，图像的几何分辨率可以达到或优于纳米级，其样品制备相对简单，附件以及其他功能丰富，不仅能作高分辨力的微观形貌，也能够对试样表面的微区进行化学组分分析，是当前必不可少的分析手段，其中，样品仓是电镜测试中的重要组成部分。相关技术中，样品台的种类有限，一种是单个圆柱铜座大小的圆柱形凹槽样品座，一种是能容纳三个圆柱铜座的圆柱形凹槽样品座，这些样品台存在诸多问题。
3.例如，块状长条的样品不易纳入样品座内，需要做比较冗杂的处理，需要使用大量导电胶带固定样品，导致导电胶带的浪费；在需要放多个样品，且样品的高度均不一时，需要辅以垫片来达到统一高度的固定效果，操作复杂；无法同时观测多个块状样品的表面；在固定样品的过程中的操作手法需要比较灵活，不易上手，在固定过程中会浪费大量时间与材料，存在改进的空间。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种用于扫描电子显微镜的样品座，样品放置容易，操作方便。
5.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，包括：基座，样品置于所述基座上；固定件，所述固定件设于所述基座且包括相对布置的两个，所述固定件用于固定所述样品，其中，两个所述固定件彼此相对的一面形成为平面且相互平行。
6.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，可以直接放置块状长条状样品，固定过程方便，不会浪费过多材料和时间，有利于后续的检测，且样品座结构简单，制造方便。
7.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，至少一个所述固定件设有固定孔，所述固定孔适于紧固件贯穿以固定所述样品。
8.可选地，所述固定孔包括多个，多个所述固定孔沿竖向间隔布置。
9.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，所述基座具有贯穿其的通孔，所述通孔设有内螺纹，具有外螺纹的紧固件可活动地设于所述通孔。
10.可选地，还包括：支撑台，所述支撑台设于所述基座，所述支撑台的下表面适于与所述紧固件抵接。
11.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，所述固定件为长方体结构件。
12.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座，扫描电子显微镜上设有
安装底座，所述安装底座具有滑槽，所述基座的至少一部分适于插接至所述滑槽。
13.可选地，所述安装底座的侧部设有与所述滑槽相连通的配合孔，配合件适于插接至所述配合孔以固定所述基座。
14.可选地，所述基座包括：安装平台，所述固定件设于所述安装平台上；支撑部，所述支撑部设于所述安装平台的底部且所述支撑部适于插接至所述滑槽。
15.可选地，两个所述固定件分别设于所述安装平台的边缘处且两个所述固定件平行布置。
16.可选地，所述安装平台大致形成为方形。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1是根据本实用新型实施例的样品座的结构示意图；
20.图2是根据本实用新型实施例的样品座在一个视角的透视图；
21.图3是根据本实用新型实施例的样品座在另一个视角的透视图；
22.图4是根据本实用新型实施例的样品座在又一个视角的透视图；
23.图5是根据本实用新型实施例的样品座的安装示意图；
24.图6是图5所示结构的分解图；
25.图7是图5所示结构的立体图。
26.附图标记：
27.样品座100，
28.基座10，安装平台11，支撑部12，通孔13，支撑台14，
29.固定件20，固定孔21，
30.安装底座30，滑槽31，配合孔32，安装凹槽33。
具体实施方式
31.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
33.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.下面参考图1-图7描述根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100。
35.如图1-图7所示，根据本实用新型一个实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100包括：基座10和固定件20，样品可放置在基座10上，固定件20设置在基座10上，固定件20包括两个，两个固定件20相对布置，其中，两个固定件20彼此相对的一面形成为平面，即每个固定件20朝向另一个固定件20的一侧形成为平面，两个平面相互平行，固定件20可以对样品起到固定的作用。
36.可以理解的是，通过将固定件20的相对的一面设置为平行的平面，可以更加贴合块状长条状板材等样品，可支持没有弧度的样品的轻松放置，可放置的样品种类多，减少了样品的局限性，满足更多现有样品的需求；同时块状的样品能更轻松放入样品座100，不需要做冗杂的处理，也无需使用大量的导电胶带来固定，能有效的节约时间，降低成本，还可以同时放置多个块状样品，实现对多个块状样品的观测，结构简单，操作方便。
37.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100，可以直接放置块状长条状样品，固定过程方便，易操作，不会浪费过多材料和时间，有利于后续的检测，且样品座100结构简单，制造方便。
38.根据本实用新型的一个实施例，固定件20上设有固定孔21，通过紧固件穿设固定孔21来固定样品，可以理解的是，样品可放置在两个固定件20之间，在样品安装到位后，通过调节紧固件来对样品进行固定，可防止样品移动影响观测以及样品活动掉入电镜真空腔体内损坏真空腔体等。这里的紧固件可以为螺丝螺栓等，固定孔21具有内螺纹，螺丝螺栓安装在固定孔21内，可避免掉落，在样品安装到位后，只需拧弄螺丝螺栓使其与样品抵接即可。
39.其中，可以仅在一个固定件20上设置固定孔21，也可以两个固定件20上均设有固定孔21，来实现双向调节。
40.如图2所示，在一些示例中，一个固定件20上设有多个固定孔21，多个固定孔21沿竖向间隔布置，一方面，多个固定孔21可以固定不同高度的样品，满足低位置处样品的固定需求，另一方面，多个紧固件可以提高对样品的固定效果，提高整体结构的稳定性，利于后续的检测和分析。
41.如图2所示，根据本实用新型的一个实施例，基座10具有通孔13，通孔13沿竖向贯穿基座10，通孔13设有内螺纹，具有外螺纹的紧固件可活动地设置在通孔13内，这里的紧固件也可以为螺丝螺栓，通过活动紧固件，可以实现调节样品高度的目的。即在基座10上无需额外增加复杂的结构件，仅通过旋转螺丝螺栓即可，操作方便。
42.如图5-图7所示，在一些具体的示例中，基座10上设置支撑台14，在水平面上，支撑台14与基座10的结构相同，由此支撑台14可以贴合在基座10的表面，支撑台14的两侧具有避让固定件20的避让槽，从而使得在支撑台14安装时，不会与固定件20发生干涉，可以理解
的是，支撑台14形成一安装平台，样品安装在支撑台14上，紧固件可以与支撑台14的下表面止抵配合，在调节紧固件时，例如旋转紧固件时，随着紧固件的转动，支撑台14可以上下移动，进而使得支撑台14上的样品上下活动，实现对样品高度的调节。
43.相比现有技术中，在固定的多个样品的高度不一致或样品厚度不合适时，需要辅以垫片来达到统一高度的固定效果而言，本实用新型实施例的样品座100，可以直接旋转通孔13内的紧固件，使紧固件顶起样品，来提高样品的高度，调节方便。
44.如图1所示，根据本实用新型的一个实施例，固定件20为长方体结构件，两个长方体结构件相对布置在基座10上，结构简单，制造成型方便。当然，固定件20也可以形成一侧为弧形面，一侧为平面的结构件。
45.如图5所示，根据本实用新型的一个实施例，扫描电子显微镜上设有安装底座30，安装底座30具有滑槽31，基座10的至少一部分适于插接在滑槽31内，由此实现基座10在扫描电子显微镜上的安装，可以理解的是，安装底座30也是安装在扫描电子显微镜上的，安装底座30具有开口向上的滑槽31，基座10可以从上至下的插接在滑槽31内，实现基座10的安装固定，当然，还可以通过活动基座10调节基座10的位置，实现对样品高度的调节。
46.如图5所示，在一些示例中，安装底座30的侧部设有配合孔32，配合孔32与滑槽31相连通，通过配合件插接至配合孔32，来实现对基座10的固定，避免在电镜操作过程中倾斜和旋转导致基座10掉落的情况，结构简单，稳定性好，便于观测和分析。通过配合件固定基座10，还可以实现对基座10高度的调节，满足不同的放置和观测需求，提高产品的适用性。
47.如图1和图5所示，在一些具体的示例中，基座10包括：安装平台11和支撑部12，固定件20设置在安装平台11上，支撑部12设置在安装平台11的底部，其中，安装底座30具有开口向上的滑槽31，支撑部12可以从上至下的插接在滑槽31内，在支撑部12插接到合适的位置时，例如将样品调节至理想的高度后，通过旋转拧紧配合孔32内的配合件，实现对支撑部12的固定。
48.在一些示例中，安装底座30上具有向下凹陷的凹槽33，凹槽33与安装平台11的形状对应，且凹槽33的深度与安装平台11的厚度大致相同，由此在基座10安装时，可以使得安装平台11设于凹槽33内，一方面可以降低基座10凸出安装底座30的高度，便于在电镜上的装配，另一方面，通过安装平台11与凹槽33的配合，还可以提高基座10安装的稳定性，且由于安装平台11为非圆形，进一步可以避免基座10转动等，稳定性更好。
49.如图1和图4所示，在一些示例中，两个固定件20分别设置在安装平台11的边缘处，两个固定件20平行布置，尽可能的保证安装平台11上的空间，使得样品可以平铺在安装平台11上，也可以夹设在两个固定件20之间，仅可能不改变现有样品座100的基础上，在不超过规格的情况下改造圆柱的曲面，增加样品的容纳量，增加可放置样品的多样性，提高样品放置的便利性。
50.如图4所示，在一些示例中，安装平台11大致形成为方形，例如，安装平台11可以形成具有圆角的多边形，且安装平台11整体对称布置，采用方形平面构造，能最大限度利用容纳样品的空间。
51.根据本实用新型一个具体的实施例，样品座100包括基座10和固定件20，基座10包括安装平台11和支撑部12，扫描电子显微镜上安装有安装底座30，安装底座30具有开口向上的滑槽31，支撑部12可以从上至下的插接在滑槽31内，在支撑部12插接到合适的位置时，
通过旋转拧紧配合孔32内的配合件，实现对支撑部12的固定。
52.安装平台11大致形成方形，固定件20为长方体结构件，固定件20设置在安装平台11的相对两个边缘上，基座10具有沿竖向延伸的通孔13，通孔13具有内螺纹，螺丝可转动地设在通孔13处，通过转动螺丝，可以调节安装平台11上样品的高度。固定件20上设有固定孔21，螺丝设在固定孔21内，多个样品可放置在两个固定件20之间，在样品安装到位后，通过调节螺丝来对样品进行固定，可防止样品移动影响观测以及样品活动掉入电镜真空腔体内损坏真空腔体等。
53.在本实施例中，在样品座100上设置两个相对应的对称矩形，可支持没有弧度的样品的轻松放置，更加贴合块状长条状板材等样品；块状的样品能更轻松放入样品座100，不需要做冗杂的处理，也无需使用大量的导电胶带来固定；可以直接旋转通孔13内的螺丝，使螺丝顶起样品，来提高样品的高度，调节方便，能有效的节约时间，降低成本，结构简单，操作方便。
54.根据本实用新型实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
55.在本实用新型的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。其中，上下方向、左右方向和前后方向以图示的上下方向、左右方向和前后方向为准。
56.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。
57.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
58.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。