窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法与流程

本公开涉及窄带化模块、气体激光装置和电子器件的制造方法。

背景技术：

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248.0nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193.4nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2017-9933号公报

6、专利文献2：美国专利第6867848号说明书

7、专利文献3：美国专利第7113263号说明书

8、专利文献4：日本特开2019-3046号公报

技术实现思路

1、本公开的一个方式的窄带化模块可以具有：棱镜；反射镜，其包含使透过棱镜的光反射的反射面、与反射面相邻的第1相邻面和第2相邻面、以及与反射面对置的对置面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；保持部，其保持反射镜；第1粘接剂，其被设置于保持部与第1相邻面之间或保持部与对置面之间，将反射镜粘接于保持部；第2粘接剂，其被设置于保持部与第2相邻面之间，将反射镜粘接于保持部；以及驱动部，其使保持部旋转，以使反射镜以与光进行波长色散的平面垂直的线为轴而绕轴旋转，第2粘接剂在正面观察反射面的情况下以与轴平行且通过反射镜的中心的中心线为基准位于与第1粘接剂相反的一侧。

2、本公开的一个方式的气体激光装置可以具有窄带化模块，窄带化模块具有：棱镜；反射镜，其包含使透过棱镜的光反射的反射面、与反射面相邻的第1相邻面和第2相邻面、以及与反射面对置的对置面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；保持部，其保持反射镜；第1粘接剂，其被设置于保持部与第1相邻面之间或保持部与对置面之间，将反射镜粘接于保持部；第2粘接剂，其被设置于保持部与第2相邻面之间，将反射镜粘接于保持部；以及驱动部，其使保持部旋转，以使反射镜以与光进行波长色散的平面垂直的线为轴而绕轴旋转，第2粘接剂在正面观察反射面的情况下以与轴平行且通过反射镜的中心的中心线为基准位于与第1粘接剂相反的一侧。

3、本公开的一个方式的电子器件的制造方法可以包含以下步骤：通过具有窄带化模块的气体激光装置生成激光，将激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，窄带化模块具有：棱镜；反射镜，其包含使透过棱镜的光反射的反射面、与反射面相邻的第1相邻面和第2相邻面、以及与反射面对置的对置面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；保持部，其保持反射镜；第1粘接剂，其被设置于保持部与第1相邻面之间或保持部与对置面之间，将反射镜粘接于保持部；第2粘接剂，其被设置于保持部与第2相邻面之间，将反射镜粘接于保持部；以及驱动部，其使保持部旋转，以使反射镜以与光进行波长色散的平面垂直的线为轴而绕轴旋转，第2粘接剂在正面观察反射面的情况下以与轴平行且通过反射镜的中心的中心线为基准位于与第1粘接剂相反的一侧。

技术特征：

1.一种窄带化模块，其具有：

2.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

3.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

4.根据权利要求3所述的窄带化模块，其中，

5.根据权利要求4所述的窄带化模块，其中，

6.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

7.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

8.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

9.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

10.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

11.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

12.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

13.根据权利要求12所述的窄带化模块，其中，

14.根据权利要求12所述的窄带化模块，其中，

15.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

16.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

17.根据权利要求1所述的窄带化模块，其中，

18.一种气体激光装置，其具有窄带化模块，其中，

19.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

技术总结
窄带化模块具有：棱镜；反射镜，其包含使透过棱镜的光反射的反射面、与反射面相邻的第1相邻面和第2相邻面、以及与反射面对置的对置面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；保持部，其保持反射镜；第1粘接剂，其被设置于保持部与第1相邻面之间或保持部与对置面之间，将反射镜粘接于保持部；第2粘接剂，其被设置于保持部与第2相邻面之间，将反射镜粘接于保持部；以及驱动部，其使保持部旋转，以使反射镜以与光进行波长色散的平面垂直的线为轴而绕轴旋转，第2粘接剂在正面观察反射面的情况下以与轴平行且通过反射镜的中心的中心线为基准位于与第1粘接剂相反的一侧。

技术研发人员：大贺仁
受保护的技术使用者：极光先进雷射株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15