旁路装置、激光装置和电子器件的制造方法与流程

本公开涉及旁路装置、激光装置和电子器件的制造方法。

背景技术：

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2005-148550号公报

6、专利文献2：日本特开平8-015618号公报

技术实现思路

1、本公开的一个观点的旁路装置能够相对于输出脉冲激光的激光装置进行拆装，形成绕过脉冲宽度扩展装置的旁路光路，该脉冲宽度扩展装置设置于激光装置内、且对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展，其中，该旁路装置具有：多个光学元件，其形成旁路光路；以及壳体，其收纳多个光学元件，多个光学元件包含：第1高反射镜，其使入射到脉冲宽度扩展装置的脉冲激光朝向脉冲宽度扩展装置的外部反射而将该脉冲激光引导至旁路光路；以及第2高反射镜，其使被第1高反射镜反射而经由旁路光路入射的脉冲激光反射而返回到脉冲宽度扩展装置的出射光路。

2、本公开的一个观点的激光装置具有输出脉冲激光的激光振荡器、以及对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展的脉冲宽度扩展装置，该激光装置以能够拆装的方式安装有旁路装置，该旁路装置形成绕过脉冲宽度扩展装置的旁路光路，其中，旁路装置具有：多个光学元件，其形成旁路光路；以及壳体，其收纳多个光学元件，多个光学元件包含：第1高反射镜，其使入射到脉冲宽度扩展装置的脉冲激光朝向脉冲宽度扩展装置的外部反射而将该脉冲激光引导至旁路光路；以及第2高反射镜，其使被第1高反射镜反射而经由旁路光路入射的脉冲激光反射而返回到脉冲宽度扩展装置的出射光路。

3、本公开的1个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤：将从激光装置输出的脉冲激光输出到曝光装置，该激光装置具有输出脉冲激光的激光振荡器、以及对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展的脉冲宽度扩展装置，该激光装置以能够拆装的方式安装有旁路装置，该旁路装置形成绕过脉冲宽度扩展装置的旁路光路；以及在曝光装置内在感光基板上曝光脉冲激光，以制造电子器件，其中，旁路装置具有：多个光学元件，其形成旁路光路；以及壳体，其收纳多个光学元件，多个光学元件包含：第1高反射镜，其使入射到脉冲宽度扩展装置的脉冲激光朝向脉冲宽度扩展装置的外部反射，由此将脉冲激光引导至旁路光路；以及第2高反射镜，其使被第1高反射镜反射而经由旁路光路入射的脉冲激光反射，由此使脉冲激光返回到脉冲宽度扩展装置的出射光路。

技术特征：

1.一种旁路装置，其能够相对于输出脉冲激光的激光装置进行拆装，形成绕过脉冲宽度扩展装置的旁路光路，所述脉冲宽度扩展装置设置于所述激光装置内、且对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展，其中，所述旁路装置具有：

2.根据权利要求1所述的旁路装置，其中，

3.根据权利要求2所述的旁路装置，其中，

4.根据权利要求3所述的旁路装置，其中，

5.根据权利要求3所述的旁路装置，其中，

6.根据权利要求1所述的旁路装置，其中，

7.根据权利要求1所述的旁路装置，其中，

8.根据权利要求1所述的旁路装置，其中，

9.一种激光装置，其具有输出脉冲激光的激光振荡器、以及对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展的脉冲宽度扩展装置，所述激光装置以能够拆装的方式安装有旁路装置，所述旁路装置形成绕过所述脉冲宽度扩展装置的旁路光路，其中，

10.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

技术总结
本公开的一个观点的旁路装置能够相对于输出脉冲激光的激光装置进行拆装，形成绕过脉冲宽度扩展装置的旁路光路，该脉冲宽度扩展装置设置于激光装置内、且对入射的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展，其中，该旁路装置具有：多个光学元件，其形成旁路光路；以及壳体，其收纳多个光学元件，多个光学元件包含：第1高反射镜，其使入射到脉冲宽度扩展装置的脉冲激光朝向脉冲宽度扩展装置的外部反射而将该脉冲激光引导至旁路光路；以及第2高反射镜，其使被第1高反射镜反射而经由旁路光路入射的脉冲激光反射而返回到脉冲宽度扩展装置的出射光路。

技术研发人员：松本慎一
受保护的技术使用者：极光先进雷射株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/2/6