技术特征：
1.一种晶圆片背面视觉检测结构，其特征在于，包括：升降组件；吸盘，连接于所述升降组件的一端，用于吸取晶圆片；检测组件，所述检测组件包括检测台、线扫相机和移动组件，所述线扫相机设置在所述检测台的一侧，所述检测台可转动地连接于所述移动组件，所述吸盘位于所述检测组件的上方。2.根据权利要求1所述的晶圆片背面视觉检测结构，其特征在于，所述升降组件包括：电机；丝杠，所述电机的输出端连接于所述丝杠；滑块，滑动设置在所述丝杠上；其中，所述吸盘连接于所述滑块。3.根据权利要求2所述的晶圆片背面视觉检测结构，其特征在于，所述移动组件包括：x轴滑轨；y轴滑轨，滑动设置在所述x轴滑轨上；移动件，滑动设置在所述y轴滑轨上；其中，检测台可转动地连接于所述移动件。4.根据权利要求3所述的晶圆片背面视觉检测结构，其特征在于，还包括：台架，所述升降组件和所述检测组件连接于所述台架。5.根据权利要求3所述的晶圆片背面视觉检测结构，其特征在于，所述检测台为多个，多个所述检测台间隔布置在所述移动组件上。6.一种晶圆片背面视觉检测方法，其特征在于，用于权利要求1至5中任一项所述的晶圆片背面视觉检测结构，所述晶圆片背面视觉检测方法包括：获取晶圆片检测信息，控制所述升降组件吸取在待检测晶圆片上；控制所述升降组件带动所述待检测晶圆片远离于所述检测台；通过检测台带动所述线扫相机在所述晶圆片远离于所述升降组件的一侧移动，通过所述线扫相机采集所述晶圆片背面的图像信息。7.根据权利要求6所述的晶圆片背面视觉检测方法，其特征在于，还包括：基于所述图像信息，获取实时晶圆片背面的墨点位置信息；基于所述墨点位置信息，确定所述晶圆片正面的触电设置位置。8.根据权利要求7所述的晶圆片背面视觉检测方法，其特征在于，还包括：控制所述升降组件带动所述晶圆片向所述检测组件所在位置移动，将所述晶圆片设置在所述检测台上，控制所述检测台移动远离于所述升降组件。9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，实现如权利要求6至8中任一项所述的晶圆片背面视觉检测方法。10.一种控制装置，其特征在于，包括：存储器，存储有计算机程序；处理器，执行所述计算机程序；其中，所述处理器在执行所述计算机程序时，实现如权利要求6至8中任一项所述的晶
圆片背面视觉检测方法。
技术总结
本申请实施例公开了一种晶圆片背面视觉检测结构、检测方法和相关设备，其中晶圆片背面视觉检测结构包括：升降组件；吸盘，连接于所述升降组件的一端，用于吸取晶圆片；检测组件，所述检测组件包括检测台、线扫相机和移动组件，所述线扫相机设置在所述检测台的一侧，所述检测台可转动地连接于所述移动组件，所述吸盘位于所述检测组件的上方。该晶圆片背面视觉检测结构够在不改变晶圆片正面对准的情况下，实现背面晶圆片的生产，从而提高晶圆片的利用率，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。
技术研发人员：肖上
受保护的技术使用者：无锡九霄科技有限公司
技术研发日：2022.04.18
技术公布日：2022/7/15