一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法与流程

1.本发明涉及键合丝技术领域，具体涉及一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法。


背景技术：

2.键合丝总的发展趋势是微量元素复合化、成分合金化、线径细小化和低成本化，通过优化的合金化元素组成提高键合丝强度，使线径更加细小，降低弧高及破断率，提高可靠性和键合强度。
3.现有技术存在以下不足：现有的键合铜丝存在氧化问题，银丝存在硫化、可靠性偏低等问题，目前解决键合丝易氧化、腐蚀的方法主要是在丝材表面增加抗腐蚀镀层，使丝材与空气等腐蚀介质隔绝，常规键合丝在加工过程中电镀金、钯、有机物、强酸等原料，且其本身为贵金属材料，产生环境污染问题，且电镀层与键合丝之间的附着力不够，使键合丝制造成本的大幅度上升，同时没有绝缘效果，适用范围较小。
4.因此，发明一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法很有必要。


技术实现要素：

5.为此，本发明提供一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法，通过氩气喷出至靶扣板表面，在两极电场的作用下，使阳极导电条与阴极座之间产生辉光放电，电子在电场的作用下加速飞向基体的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，呈中性的靶原子沉积在键合丝上成膜，以解决减小环境污染与增大绝缘膜的附着力的问题。
6.为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种绝缘覆合金键合丝的制备方法，包括合金基材熔炼-拉丝-成品退火-绕线-覆膜-入库操作步骤，具体步骤如下：
7.步骤一：合金基材熔炼，选择纯度高达99.999％的银金属原料，放置于连铸炉内，经真空熔炼、定向凝固、拉铸成直径为8
±
0.3mm的合金棒；
8.步骤二：拉丝，将银合金金属棒先通过粗拉设备拉制成直径为1.55mm的合金丝，再通过中拉设备拉制成直径为0.26mm的合金丝此线径作450℃中间退火处理，最终利用细拉、超细拉设备拉制成直径为25μm的银合金线；
9.步骤三：成品退火，在退火过程中采用氮气作为退火气氛，管式退火，退火炉有效长度为800mm，退火温度为550℃，退火速率为80m/min，以消除合金线的内应力，使之不产生扭曲、弯曲，使线材的机械性能达到bl＞10.5f、延伸率e/l12-16％；
10.步骤四：绕线，用放线设备检验键合丝的放线和应力情况，合格后置于复绕机上将键合丝缠绕在键合丝轴上；
11.步骤五：覆膜，将键合丝安装在覆膜设备上，通过沉积的材料制成板材-靶，固定在阴极上，键合丝置于正对靶面的阳极之间，距靶一定距离，系统抽至高真空后充入氩气，在阴极和阳极间加电压，两极间即产生辉光放电，放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原子碰撞，受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子，其能量在1至几十电子伏范
围内，同时覆膜设备带动键合丝进行自转与公转，使溅射出的靶原子在键合丝表面均匀沉积成膜；
12.步骤六：入库，将覆膜后的键合丝用放线设备检验键合丝的放线和应力情况，合格后置于复绕机上进行绕线，用拉力试验机检验键合丝的机械性能是否符合要求，将检验合格的成品按照要求进行包装；
13.优选的，步骤五中所述覆膜设备包括外壳、溅射装置、转动装置与收卷装置，所述外壳两侧安装有转动装置，两组所述转动装置对称设置，所述外壳内壁固定安装有内隔板，所述内隔板内壁开设有反应腔，所述内隔板内壁开设有限位槽，所述限位槽设有三组，三组所述限位槽内壁各安装有一组所述溅射装置，所述溅射装置包括底板，所述底板顶部固定安装有阴极座，所述阴极座内壁开设有矩形限位槽，所述矩形限位槽内壁安装有冷却组件；
14.所述冷却组件包括矩形盒，所述矩形盒内壁固定安装有翅片，所述翅片内壁均匀缠绕有螺旋铜管，所述螺旋铜管两端安装在矩形盒左侧外壁，所述翅片内壁设有磁组件，所述磁组件包括支撑盒，所述支撑盒底部均匀开设有插槽，所述支撑盒通过插槽安装在翅片内壁，所述支撑盒内壁固定安装有硅钢块，所述硅钢块顶部表面设置为v形，所述硅钢块设有三组，所述支撑盒顶部设有骨架，所述骨架设有三组，三组所述骨架外壁缠绕有线圈，三组所述骨架分别安装在三组所述硅钢块外壁，所述支撑盒顶部固定安装有顶板，所述顶板内壁开设有通孔，所述通孔设有三组，所述硅钢块顶部插接在通孔内壁；
15.所述矩形盒顶部固定安装有盖板，所述矩形盒与盖板内壁设置有绝缘填充层，所述盖板内壁设置有屏蔽板，所述屏蔽板底部安装在顶板内壁顶部，所述屏蔽板底部与硅钢块不接触，所述阴极座外壁设有屏蔽罩，所述屏蔽罩底部与底板顶部连接，所述屏蔽罩两侧固定安装有边板，所述屏蔽罩顶部安装有靶背板，所述靶背板底部与边板固定连接，所述靶背板顶部设有靶材，所述靶材顶部设有靶扣板，所述靶材通过靶扣板安装在靶背板内壁顶部，所述屏蔽罩两侧顶部固定安装气罩；
16.所述转动装置设有两组，两组所述转动装置固定安装在外壳两侧，所述转动装置包括密封罩，所述密封罩内壁左侧安装有轴承，所述轴承内壁安装有转盘，所述收卷装置包括气缸，所述气缸设有三组，三组所述气缸固定安装在转盘内壁，所述转盘内壁均匀开设有内齿纹，所述转盘内壁固定安装有凸环，所述转盘右侧设有支撑件，所述支撑件内壁开设滑槽，所述滑槽内壁固定安装有平面轴承一，所述凸环插接在滑槽内壁，所述凸环右侧与平面轴承一连接，所述凸环与滑槽滑动连接，所述支撑件内壁固定安装有绝缘柱，所述绝缘柱插接在转盘内壁与凸环不接触，所述绝缘柱右侧固定安装有支撑柱；
17.所述转盘左侧设有限位柱，所述限位柱右侧固定安装有平面轴承三，所述平面轴承三右侧固定安装有转环，所述转环插接在凸环内壁，所述绝缘柱左侧插接在转环与限位柱内壁，所述绝缘柱与限位柱固定连接，所述绝缘柱与转环不接触，所述反应腔内壁设有阳极导电条，所述阳极导电条两端与两组所述绝缘柱固定连接，所述阳极导电条中心位置固定安装有三角板，所述三角板的三个侧面分别与三组所述溅射装置相互垂直。
18.优选的，所述绝缘柱右侧安装有平面轴承二，所述平面轴承二右侧固定安装有圆环，所述圆环外壁固定安装有支撑架，所述支撑架设有三组，三组所述支撑架左侧与转盘右侧固定连接，所述支撑柱与平面轴承二和圆环不接触，所述圆环右侧固定安装有过孔气滑环，所述过孔气滑环插接在支撑柱内壁，所述孔气滑环内壁与在支撑柱外壁滑动连接，所述
孔气滑环输出端固定安装有液压管，所述液压管设有三组，三组所述液压管输出端与气缸输入端固定连接。
19.优选的，所述外壳外壁顶部固定安装有电源箱，所述支撑柱内壁固定安装有阳极电缆，所述阳极电缆右端穿过密封罩与电源箱电性连接，所述阳极电缆左端穿过绝缘柱与阳极导电条电性连接，所述阳极导电条外壁套接有绝缘套，所述阴极座右侧固定安装有阴极电缆，三组所述阴极电缆右端依次穿过屏蔽罩和外壳与电源箱电性连接。
20.优选的，所述密封罩右侧固定安装有电机一，所述密封罩内壁设有齿轮轴，所述齿轮轴左端通过内齿纹与转盘啮合连接，所述齿轮轴右端与电机一输出端连接。
21.优选的，两组所述气罩一侧开设有气孔，所述气罩右侧固定安装有三通管，所述外壳外壁左侧固定安装有管道法兰，所述管道法兰两侧固定安装有氩气管，三组所述三通管输入端固定安装有输气管，三组所述输气管输入端穿过内隔板安装在外壳外壁与氩气管相互连接。
22.优选的，三组所述螺旋铜管两端安装在外壳外壁，所述外壳与螺旋铜管连接处固定安装有密封管，所述外壳顶部安装有真空波纹管，所述真空波纹管底部安装在内隔板内壁与反应腔连接。
23.优选的，所述转盘左侧设有t形板，所述t形板设有三组，所述t形板一侧与气缸输出轴固定连接，所述t形板，一侧固定安装有电池，所述t形板左侧固定安装有电机二，所述t形板右侧设有转轴，所述转轴与电机二输出轴固定连接，所述转轴右侧安装有插销柱。
24.一种绝缘覆合金键合丝，由权利要求1-7任意一项所述的一种绝缘覆合金键合丝的制备方法制得。
25.本发明的有益效果是：
26.1.氩气通过气孔喷出至靶扣板表面，硅钢块被线圈磁场磁化，使硅钢块变成磁体，阴极电缆与阳极电缆通过电源箱施加2000v电压，在两极电场的作用下，使阳极导电条与阴极座之间产生辉光放电，电子在电场的作用下加速飞向基体的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，呈中性的靶原子沉积在键合丝上成膜，键合丝在公转、自转、与收卷的过程中使键合丝进行均匀覆膜，与电镀方法防止氧化腐蚀等方式相比，本发明的绝缘覆合金键合丝成本更低，附着力更强，且在抗腐蚀的同时实现了键合丝表面绝缘，适用范围更广泛；
27.2.通过齿轮轴带动两组转盘相同方向旋转，使三组气缸带动t形板进行旋转，使键合丝围绕三角板进行公转，同时转盘通过支撑架带动圆环旋转，圆环带动过孔气滑环底部旋转，过孔气滑环、液压管、转盘与气缸同时旋转，使液压管与气缸在旋转过程中保持有效传输高压气体，使气缸的输出轴带动键合丝自转，两组收卷装置的键合丝轴对键合丝同时进行缓慢收卷，使键合丝在三组溅射装置与三角板溅射反应，键合丝在公转、自转、与收卷的过程中使键合丝进行均匀覆膜，具有覆膜均匀的效果；
28.3.通过矩形盒内壁固定安装有翅片，翅片由多组u型铝合金片叠成，翅片内壁均匀缠绕有螺旋铜管，螺旋铜管两端安装在矩形盒左侧外壁，螺旋铜管外接输送冷却水管道，冷却水从螺旋铜管一端流入，另一端流出，翅片内壁设有磁组件，磁组件包括支撑盒，支撑盒底部均匀开设有插槽，支撑盒通过插槽安装在翅片内壁，具有提高冷却降温作用的效果。
附图说明
29.图1为本发明的主视结构示意图；
30.图2为本发明的仰视结构示意图；
31.图3为本发明的分解结构示意图；
32.图4为本发明的剖面结构示意图；
33.图5为本发明的溅射装置安装结构示意图；
34.图6为本发明的转动装置剖面结构示意图；
35.图7为本发明的转动装置分解结构示意图
36.图8为本发明的阳极导电条安装结构示意图；
37.图9为本发明的转动装置主视结构示意图；
38.图10为本发明的支撑件安装结构示意图；
39.图11为本发明的限位柱安装结构示意图；
40.图12为本发明的溅射装置与三角板定位结构示意图；
41.图13为本发明的溅射装置主视结构示意图；
42.图14为本发明的靶材安装结构示意图
43.图15为本发明的冷却组件安装结构示意图；
44.图16为本发明的磁组件安装结构示意图；
45.图17为本发明的磁组件分解安装结构示意图；
46.图18为本发明的气罩结构示意图；
47.图19为本发明的收卷装置结构示意图。
48.图中：外壳100、输气管101、氩气管102、管道法兰103、密封管104、真空波纹管105、内隔板110、电源箱120、限位槽130、反应腔140、溅射装置200、底板210、阴极座220、矩形限位槽221、阴极电缆222、冷却组件230、矩形盒231、盖板232、屏蔽板233、绝缘填充层234、翅片240、螺旋铜管250、磁组件260、支撑盒261、插槽262、硅钢块263、骨架264、线圈265、顶板266、通孔267、屏蔽罩270、边板271、靶背板280、靶扣板281、靶材282、气罩290、气孔291、三通管292、转动装置300、密封罩310、电机一311、齿轮轴312、轴承320、转盘330、内齿纹331、凸环332、支撑件340、平面轴承一341、滑槽342、绝缘柱343、平面轴承二344、限位柱350、转环351、平面轴承三352、圆环360、支撑架361、支撑柱370、阳极电缆371、过孔气滑环380、液压管381、阳极导电条390、绝缘套391、三角板392、收卷装置400、气缸410、t形板420、电机二430、电池440、转轴450、插销柱460。
具体实施方式
49.以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
50.参照附图1-19，本发明提供的一种绝缘覆合金键合丝的制备方法，包括合金基材熔炼-拉丝-成品退火-绕线-覆膜-入库操作步骤，具体步骤如下：
51.步骤一：合金基材熔炼，选择纯度高达99.999％的银金属原料，放置于连铸炉内，经真空熔炼、定向凝固、拉铸成直径为8
±
0.3mm的合金棒；
52.步骤二：拉丝，将银合金金属棒先通过粗拉设备拉制成直径为1.55mm的合金丝，再
通过中拉设备拉制成直径为0.26mm的合金丝此线径作450℃中间退火处理，最终利用细拉、超细拉设备拉制成直径为25μm的银合金线；
53.步骤三：成品退火，在退火过程中采用氮气作为退火气氛，管式退火，退火炉有效长度为800mm，退火温度为550℃，退火速率为80m/min，以消除合金线的内应力，使之不产生扭曲、弯曲，使线材的机械性能达到bl＞10.5f、延伸率e/l12-16％；
54.步骤四：绕线，用放线设备检验键合丝的放线和应力情况，合格后置于复绕机上将键合丝缠绕在键合丝轴上；
55.步骤五：覆膜，将键合丝安装在覆膜设备上，通过沉积的材料制成板材-靶，固定在阴极上，键合丝置于正对靶面的阳极之间，距靶一定距离，系统抽至高真空后充入氩气，在阴极和阳极间加电压，两极间即产生辉光放电，放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原子碰撞，受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子，其能量在1至几十电子伏范围内，同时覆膜设备带动键合丝进行自转与公转，使溅射出的靶原子在键合丝表面均匀沉积成膜；
56.步骤六：入库，将覆膜后的键合丝用放线设备检验键合丝的放线和应力情况，合格后置于复绕机上进行绕线，用拉力试验机检验键合丝的机械性能是否符合要求，将检验合格的成品按照要求进行包装；
57.进一步地，步骤五中覆膜设备包括外壳100、溅射装置200、转动装置300与收卷装置400，具体的，外壳100两侧安装有转动装置300，两组转动装置300对称设置，外壳100与内隔板110为一体式结构，外壳100与内隔板110处安装有可闭合的观察窗(图中未标注)，观察窗采用密封铰链连接，具有开启后放入键合丝轴(图中未标注)的作用，内隔板110一侧与外壳100固定连接，内隔板110内壁开设有反应腔140，内隔板110内壁开设有限位槽130，溅射装置200通过螺栓可拆卸安装在限位槽130内壁，限位槽130设有三组，三组限位槽130内壁各安装有一组溅射装置200，溅射装置200包括底板210，底板210顶部固定安装有阴极座220，底板210为绝缘材质，阴极座220采用无氧铜为材质，阴极座220内壁开设有矩形限位槽221，矩形限位槽221对冷却组件230具有限位与安装作用，通过螺栓将矩形盒231与底板210连接，矩形限位槽221内壁安装有冷却组件230，冷却组件230对溅射装置200具有冷却降温作用；
58.进一步地，冷却组件230包括矩形盒231，具体的，矩形盒231内壁固定安装有翅片240，翅片240由多组u型铝合金片叠成，翅片240内壁均匀缠绕有螺旋铜管250，螺旋铜管250两端安装在矩形盒231左侧外壁，螺旋铜管250具有输送冷却水的作用，与翅片240配合对溅射装置200具有冷却降温作用，翅片240内壁设有磁组件260，磁组件260包括支撑盒261，支撑盒261底部均匀开设有插槽262，支撑盒261通过插槽262安装在翅片240内壁，支撑盒261内壁固定安装有硅钢块263，硅钢块263顶部表面设置为v形，硅钢块263绝缘的硅钢片叠成，硅钢片一般厚度为0.35
‑‑
0.5mm使涡流在狭长形的回路中流动，通过较小的截面，以增大涡流通路上的电阻，同时，硅钢片中的硅使材料的电阻率增大，也起到减小涡流的作用，通过线圈265通电使硅钢块263产生磁性，硅钢块263设有三组，支撑盒261顶部设有骨架264，骨架264设有三组，三组骨架264外壁缠绕有线圈265，三组骨架264分别安装在三组硅钢块263外壁，支撑盒261顶部固定安装有顶板266，顶板266内壁开设有通孔267，通孔267设有三组，硅钢块263顶部插接在通孔267内壁，且硅钢块263顶部裸漏在顶板266外，线圈265外接电源
线(图中未标注)将其与阴极电缆222缠绕与电源箱120电性连接；
59.进一步地，矩形盒231顶部固定安装有盖板232，矩形盒231与盖板232内壁设置有绝缘填充层234，绝缘填充层234采用陶瓷纤维为材质，具有绝缘、耐高温、热稳定性好与导热率低的效果，具有使矩形盒231和盖板232将冷却组件230和磁组件260与阴极座220之间进行绝缘的作用，盖板232内壁设置有屏蔽板233，屏蔽板233采用坡莫合金为材质，具有将磁体产生的磁场与杂散磁场集中到屏蔽板233上减少外来电磁干扰，屏蔽板233底部安装在顶板266内壁顶部，屏蔽板233底部与硅钢块263不接触，阴极座220外壁设有屏蔽罩270，屏蔽罩270底部与底板210顶部连接，屏蔽罩270两侧固定安装有边板271，屏蔽罩270顶部安装有靶背板280，靶背板280底部与边板271固定连接，靶背板280顶部设有靶材282，靶材282顶部设有靶扣板281，靶背板280顶部和靶扣板281底部开设有与靶材282大小相同的槽，对靶材282具有安装与限位作用，靶材282通过靶扣板281安装在靶背板280内壁顶部，靶材282采用氧化硅靶、氮化硅靶、氧化铝靶与氮化铝靶为材质，屏蔽罩270两侧顶部固定安装气罩290；
60.进一步地，转动装置300设有两组，具体的，两组转动装置300固定安装在外壳100两侧且密封连接，转动装置300包括密封罩310，密封罩310内壁左侧安装有轴承320，轴承320内壁安装有转盘330，轴承320设置为大型回转支承轴承对转盘330具有支撑作用，收卷装置400包括气缸410，气缸410设置为回转气缸，气缸410设有三组，三组气缸410固定安装在转盘330内壁，气缸410的两侧设置在转盘330两侧外壁，转盘330内壁均匀开设有内齿纹331，转盘330内壁固定安装有凸环332，转盘330与凸环332为一体式结构，凸环332采用凸台形状，内壁开设有凸台形状的孔，转盘330右侧设有支撑件340，支撑件340对转盘330与凸环332具有支撑作用，支撑件340内壁开设滑槽342，滑槽342内壁固定安装有平面轴承一341，凸环332插接在滑槽342内壁，凸环332右侧与平面轴承一341连接，凸环332与滑槽342滑动连接，凸环332可在滑槽342内旋转，支撑件340内壁固定安装有绝缘柱343，绝缘柱343插接在转盘330内壁与凸环332不接触，绝缘柱343右侧固定安装有支撑柱370；
61.进一步地，转盘330左侧设有限位柱350，具体的，限位柱350右侧固定安装有平面轴承三352，平面轴承三352对转环351具有支撑作用，平面轴承三352右侧固定安装有转环351，转环351插接在凸环332内壁，转环351与凸环332连接，凸环332旋转时通过平面轴承三352带动转环351旋转，限位柱350不旋转，绝缘柱343左侧插接在转环351与限位柱350内壁，绝缘柱343与限位柱350固定连接，绝缘柱343与限位柱350连接处通过套管螺栓(图中未标注)连接，转环351内壁开设的孔大于绝缘柱343，绝缘柱343与转环351不接触，反应腔140内壁设有阳极导电条390，阳极导电条390具有导电作用，阳极导电条390两端与两组绝缘柱343固定连接，述绝缘柱343对阳极导电条390具有支撑作用，阳极导电条390中心位置固定安装有三角板392，三角板392的三个侧面分别与三组溅射装置200相互垂直，便于与溅射装置200产生辉光放电的效果；
62.进一步地，绝缘柱343右侧安装有平面轴承二344，具体的，平面轴承二344右侧固定安装有圆环360，平面轴承二344对圆环360与绝缘柱343具有支撑与支持旋转的作用，圆环360外壁固定安装有支撑架361，支撑架361设有三组，三组支撑架361左侧与转盘330右侧固定连接，圆环360内开设有孔，支撑柱370与平面轴承二344和圆环360不接触，圆环360右侧固定安装有过孔气滑环380，过孔气滑环380是中心带孔的一系列导电滑环的统称，主要
用于传输精密信号、微弱电流、大电流、高电压，具有低扭矩，低损耗免维护；低电气噪音、超长寿命等主要特点，过孔滑环也叫空心轴滑环，过孔气滑环380插接在支撑柱370内壁，孔气滑环380内壁与在支撑柱370外壁滑动连接，孔气滑环380输出端固定安装有液压管381，液压管381设有三组，三组液压管381输出端与气缸410输入端固定连接，孔气滑环380通过将液压管381将气压输出入至气缸410，孔气滑环380的底部可旋转，顶部不旋转，孔气滑环380的顶部外壁具有外接高压气管的作用；
63.进一步地，外壳100外壁顶部固定安装有电源箱120，具体的，支撑柱370内壁固定安装有阳极电缆371，阳极电缆371右端穿过密封罩310与电源箱120电性连接，阳极电缆371左端穿过绝缘柱343与阳极导电条390电性连接，阳极导电条390外壁套接有绝缘套391，绝缘套391具有减少磁干扰的作用，阴极座220右侧固定安装有阴极电缆222，三组阴极电缆222右端依次穿过屏蔽罩270和外壳100与电源箱120电性连接；
64.进一步地，密封罩310右侧固定安装有电机一311，具体的，密封罩310内壁设有齿轮轴312，齿轮轴312是支承转动零件并与之一起回转以传递运动、扭矩或弯矩的机械零件，电机一311设置为伺服电机，齿轮轴312左端通过内齿纹331与转盘330啮合连接，齿轮轴312右端与电机一311输出端连接，电机一311输出轴与密封罩310连接处设置有磁流体密封轴(图中未标注)，磁流体密封轴与齿轮轴312一端固定连接；
65.进一步地，两组气罩290一侧开设有气孔291，具体的，气罩290内部设置为空心结构与三通管292输出端相互连接，气罩290右侧固定安装有三通管292，外壳100外壁左侧固定安装有管道法兰103，管道法兰103具有外接氩气输入管道的作用，管道法兰103两侧固定安装有氩气管102，三组三通管292输入端固定安装有输气管101，三组输气管101输入端穿过内隔板110安装在外壳100外壁与氩气管102相互连接，有气罩290、三通管292氩气管102与输气管101具有传输氩气的作用；
66.进一步地，三组螺旋铜管250两端安装在外壳100外壁，具体的，外壳100与螺旋铜管250连接处固定安装有密封管104，密封管104具有密封作用，密封管104具有外接冷却水管道的作用，将冷却水输入与输出至螺旋铜管250的效果，外壳100顶部安装有真空波纹管105，真空波纹管105底部安装在内隔板110内壁与反应腔140连接，真空波纹管105具有外接真空泵的作用；
67.进一步地，转盘330左侧设有t形板420，具体的，t形板420设有三组，t形板420一侧与气缸410输出轴固定连接，t形板420，一侧可拆卸安装有电池440，电池440采用适用真空环境的高压锂离子电池模块，电机二430设置为步进电机，电机二430对转轴450具有传动作用，t形板420左侧固定安装有电机二430，t形板420对电池440与电机二430具有支撑作用，t形板420右侧设有转轴450，转轴450具有安装键合丝轴(图中未标注)的作用，转轴450与电机二430输出轴固定连接，转轴450右侧安装有插销柱460，转轴450内壁开设有内螺纹(图中未标注)，插销柱460外壁开设有外螺纹(图中未标注)；
68.一种绝缘覆合金键合丝，由权利要求1-7任意一项的一种绝缘覆合金键合丝的制备方法制得。
69.本发明的使用过程如下：在使用本发明时本领域工作人员需要将三个绕线后的键合丝轴分别安装在一组收卷装置400的转轴450上，将三个没有绕线的键合丝轴分别安装在另一组收卷装置400的转轴450上，通过插销柱460将其固定，将绕线后的键合丝轴外壁的键
合丝的一端拉出，穿过反应腔140缠绕在没有绕线的键合丝轴上，启动电源箱120，反应腔140打开后，将靶材282安装在溅射装置200的靶背板280与靶扣板281之间，确定靶材282位置，启动真空泵通过真空波纹管105将反应腔140内抽至真空状态，当真空度达到真空4*10-4pa后关闭真空泵，管道法兰103外接氩气输入管道，将0.15-0.5pa压力的氩气管102、输气管101、三通管292与气罩290通过气孔291喷出至靶扣板281表面，流量达到20l/min，启动溅射装置200，硅钢块263被通电的线圈265磁场磁化，使三组硅钢块263变成磁体，同时密封管104外接冷却水管道，冷却水从螺旋铜管250一端流入，另一端流出，阴极电缆222与阳极电缆371通过电源箱120施加2000v电压，在两极电场的作用下，与氩气经高电压解离成正电荷氩粒子及带负电荷的粒子，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区，因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内，使阳极导电条390与阴极座220之间产生辉光放电，电子在电场的作用下加速飞向基体的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基体，在此过程中不断和氩原子碰撞，产生更多的氩离子和电子，根据费莱明左手定律氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，将靶材撞击成大量纳米尺寸的靶材原子，其原子在1－100nm范围以反作用方向离开靶材282表面，启动电机一311，电机一311通过齿轮轴312带动两组转盘330相同方向旋转，使三组气缸410带动t形板420进行旋转，使键合丝围绕三角板392进行公转，同时转盘330通过支撑架361带动圆环360旋转，圆环360带动过孔气滑环380底部旋转，过孔气滑环380、液压管381、转盘330与气缸410同时旋转，使液压管381与气缸410在旋转过程中保持有效传输高压气体，使气缸410的输出轴带动键合丝自转，两组收卷装置400的键合丝轴对键合丝同时进行缓慢收卷，使键合丝在三组溅射装置200与三角板392溅射反应，同时电子在加速飞向三角板392的过程中受到磁场洛伦磁力的影响，被束缚在靠近靶材面的等离子区域内，并在磁场的作用下围绕靶材面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经多次碰撞后电子的能量逐渐降低，呈中性的靶原子沉积在键合丝上成膜，键合丝在公转、自转、与收卷的过程中使键合丝进行均匀覆膜。
70.虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。