异质结太阳能电池、电极及其制备方法与流程

本发明涉及光伏，尤其涉及一种异质结太阳能电池、电极及其制备方法。

背景技术：

1、异质结太阳能电池是一种高效的太阳能电池结构。目前，异质结太阳能电池的电极的制备方法中，一般是在异质结太阳能电池完成氧化铟锡(ito)等透明导电层的工艺后，先采用物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)等方式镀一层60-150nm的种子层，例如铜种子层，然后使用光敏材料形成正反两面的掩膜层、曝光和显影制备电极图形，完成电极图形的制备后，采用化学电镀工艺完成电极的制备，例如电镀铜或铜和锡电极，最后，进行去除掩膜层和回刻多余的种子层，完成异质结太阳能电池的电极的制备并进行测试。该异质结太阳能电池的电极的制备的工艺需要掩膜、曝光、显影和回刻等，工艺实现过程繁琐，难度大，效率较低。

技术实现思路

1、本发明提供一种异质结太阳能电池、电极及其制备方法，用以解决现有技术中制备异质结太阳能电池的电极工艺过程繁琐，难度大，效率较低的缺陷，简化了工艺，缩短了异质结太阳能电池的电极制备工艺过程，提高了制备异质结太阳能电池的电极的效率。

2、本发明提供一种异质结太阳能电池的电极制备方法，包括：

3、在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层；诱导层的材质为绝缘材质且含有导电元素，用于在激光诱导下生成含有导电元素的导电材质；

4、对诱导层进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层。

5、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层，包括：

6、在硅基底上形成整面覆盖的诱导层；

7、对诱导层进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层，包括：

8、对诱导层与电极图形对应的区域进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层。

9、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，在对诱导层与电极图形对应的区域进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层之后，还包括：

10、采用电镀的方式，在第一电极导电层上形成第二电极导电层。

11、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，还包括：

12、去除诱导层未进行激光诱导的区域。

13、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层，包括：

14、在硅基底上与电极图形对应的区域形成诱导层；

15、对诱导层进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层，包括：

16、对诱导层与电极图形对应的区域进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层。

17、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，在硅基底上与电极图形对应的区域形成诱导层，包括：

18、采用打印或者丝印的方式，在硅基底上与电极图形对应的区域形成诱导层。

19、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，还包括：

20、对形成有第一电极导电层的硅基底进行烧结。

21、根据本发明提供的异质结太阳能电池的电极制备方法，还包括：

22、在第一电极导电层上形成保护层。

23、本发明还提供一种异质结太阳能电池的制备方法，包括上述异质结太阳能电池的电极制备方法。

24、本发明还提供一种异质结太阳能电池的电极，异质结太阳能电池的电极是采用上述异质结太阳能电池的电极制备方法制备得到的。

25、本发明还提供一种异质结太阳能电池，异质结太阳能电池是采用上述异质结太阳能电池的制备方法制备得到。

26、本发明提供的异质结太阳能电池的电极的制备方法中，通过在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层，而后对诱导层进行激光诱导，诱导层在激光诱导下生成含有导电元素的导电材质，进而形成包含导电材质的第一电极导电层，相较于现有技术中需要经过掩膜、曝光、显影和回刻，工艺更加简便，更利于实现，缩短了异质结太阳能电池的电极制备工艺过程，提高了制备异质结太阳能电池的电极的效率。

技术特征：

1.一种异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，所述在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层，包括：

3.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，在所述对所述诱导层与电极图形对应的区域进行所述激光诱导，形成包含所述导电材质的所述第一电极导电层之后，还包括：

4.根据权利要求2或3所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，所述在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层，包括：

6.根据权利要求5所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，所述在所述硅基底上与电极图形对应的区域形成所述诱导层，包括：

7.根据权利要求5所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求5至7任一项所述的异质结太阳能电池的电极制备方法，其特征在于，还包括：

9.一种异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述异质结太阳能电池的电极制备方法。

10.一种异质结太阳能电池的电极，其特征在于，所述异质结太阳能电池的电极是采用如权利要求1至8任一项所述异质结太阳能电池的电极制备方法制备得到的。

11.一种异质结太阳能电池，其特征在于，所述异质结太阳能电池是采用如权利要求9所述异质结太阳能电池的制备方法制备得到的。

技术总结
本发明涉及光伏技术领域，提供一种异质结太阳能电池、电极及其制备方法，异质结太阳能电池的电极制备方法包括：在形成有透明导电层的硅基底上形成诱导层；诱导层的材质为绝缘材质且含有导电元素，用于在激光诱导下生成含有导电元素的导电材质；对诱导层进行激光诱导，形成包含导电材质的第一电极导电层。解决了现有技术中存在的制备异质结太阳能电池的电极工艺过程繁琐，难度大，效率较低的技术问题，简化了工艺，缩短了异质结太阳能电池的电极制备工艺过程，提高了制备异质结太阳能电池的电极的效率。

技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,周涛
受保护的技术使用者：株洲三一硅能技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11