一种硅片承载料托及具有其的运载水箱的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种硅片承载料托及具有其的运载水箱。


背景技术：

2.单晶硅片作为光伏行业的一种基础材料，有着广泛的市场需求。生产硅片要经过多道工序，其中在脱胶工序和分片清洗工序间缺乏连续自动化的流程，需要人工搬运，在人工搬运的过程中硅片很容易崩边和产生硅落。


技术实现要素：

3.为了解决现有技术中所存在的技术问题之一，本发明采用如下技术方案：
4.一种硅片承载料托，包括：
5.基座；
6.挡部，固定安装于所述基座上；
7.两个侧部，分设于所述基座上相对的两侧，并且与所述挡部在所述基座上围合形成用于放置硅片的槽位；
8.其中，所述基座的上端面倾斜设置，并且所述基座的上端面远离所述挡部的一侧高于靠近所述挡部的一侧；
9.至少一个所述侧部与所述基座活动连接，所述侧部与所述基座之间还设置有锁紧固定机构；
10.两个所述侧部夹紧固定堆叠于所述槽位内的硅片。
11.本发明实施例提供的一种硅片承载料托，若干个硅片倾斜堆叠放置在槽位中，硅片依靠自身重力作用紧靠在挡部，并通过两个挡部夹紧固定，有效避免在运输过程中硅片相对料托左右晃动，硅片磕碰到侧部的内壁导致硅片崩边的问题；在需要将硅片从料托中逐片取出时，可将侧部拆下或打开，消除侧部对硅片的限制，可以避免插片机驱使硅片逐片地从槽位中移送时硅片磕碰到侧壁的内壁的问题。
12.在一些可能实现的方式中，所述侧部铰接于所述基座上。
13.在一些可能实现的方式中，所述挡部的上端设置有连接部，所述连接部的两端水平折弯并延伸至靠近所述侧部。
14.在一些可能实现的方式中，所述连接部延伸至所述侧部的上方，所述锁紧固定机构包括弹性锁销以及锁孔，所述锁孔和所述弹性锁销的其中之一设置于所述侧部的外侧面，另一设置于所述连接部的外侧面。
15.在一些可能实现的方式中，所述弹性锁销沿竖向朝上设置于所述侧部，所述锁孔对应安装于所述连接部的侧面。
16.在一些可能实现的方式中，所述连接部的内侧面还向下延伸有限位部，所述侧部锁紧固定于所述限位部与所述锁孔之间。
17.在一些可能实现的方式中，所述侧部的内壁还设置有弹性防刮层。
18.在一些可能实现的方式中，所述基座的长度尺寸/宽度尺寸大于两个所述侧部的最大水平直线距离。
19.本发明还提供一种运载水箱，包括若干个如上述实施例的硅片承载料托，还包括上端敞开的箱体，所述箱体内还设置有倾斜向下朝向所述箱体侧壁的支撑板，所述支撑板与所述箱体侧壁之间设置有导流口。
20.本发明实施例提供的一种运载水箱，可以将若干个硅片承载料托排列放置于支撑板上，硅片已经通过侧部压紧固定在硅片承载料托内，硅片承载料托在水箱内可以不需要再限位和固定，可以快速取放硅片承载料托，提高运输转载的效率。
21.在一些可能实现的方式中，所述箱体内还设置有压紧件，所述压紧件可在支撑板上滑动并压紧所述硅片承载料托，所述箱体的一侧铰接有锁定摇杆，所述锁定摇杆的一端滑动抵接所述压紧件。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本发明实施例提供的硅片承载料托的结构示意图一；
24.图2为本发明实施例提供的硅片承载料托的结构示意图二；
25.图3为本发明实施例提供的运载水箱的结构示意图；
26.图4为本发明实施例提供的运载水箱的剖面示意图。
27.附图标记：
28.基座100；挡部101；侧部102；锁紧固定机构103；弹性锁销1031；锁孔1032；连接部104；限位部105；
29.箱体200；支撑板201；导流口202；压紧件203；锁定摇杆204；导向轴205。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
31.参照图1与图2所示的一种硅片承载料托，其包括基座100，基座100的上端面倾斜设置，基座100上固定安装有挡部101，挡部101自基座100的上端面沿竖向延伸，并且基座100的上端面远离挡部101的一侧高于靠近挡部101的一侧，即堆叠的若干个硅片倾斜放置在基座100上，并且由于自身的重力作用紧靠于挡部101，可以有效避免硅片在运输过程中发生前后晃动的问题；基座100上相对的两侧还分设有侧部102，即该两个侧部102对应设置在与挡部101相邻的两侧，并且与挡部101在基座100的上端面围合形成上端和一侧敞开的槽位，若干个堆叠的硅片可以倾斜放置在槽位中，至少一个侧部102与基座100活动连接，并且该活动连接的侧部102通过锁紧固定机构103与基座100固定并将堆叠的硅片夹紧固定于
槽位中；在需要装载硅片时，可以先将侧部102拆下，方便工人将硅片放置在槽位中，而后通过两个侧部102夹紧固定堆叠放置的硅片，可以有效避免硅片在运输过程中发生左右晃动的问题，而插片机要将堆叠的硅片逐片从槽位中移送出时，可以先将其中一个侧部102或者将两个侧部102拆下，消除两个侧部102相对硅片的夹紧力，方可将硅片移送出，而且也避免硅片在移送的过程中与侧部102的内壁发生磕碰而导致刮花侧部102甚至是崩边的问题。
32.在一些可能实现的方式中，参照图1所示，侧部102铰接于基座100上，具体的，侧部102的下端设置有沿前后方向上延伸的转轴，转轴与侧部102可以是一体成型设置，基座100上设置有让位于侧部102的避让口，避让口上相对的两端均设置有安装槽，转轴可插接到安装槽内并在安装槽内自转，从而实现侧部102相对基座100转动以靠近并压接硅片或远离硅片。
33.在一些可能实现的方式中，参照图2所示，挡部101通过螺栓连接或焊接的方式固定安装于基座100的上端面，挡部101的上端还设置有连接部104，该连接部104的两端水平折弯并延伸至靠近侧部102。在一些情形中，其中一个侧部102的两端分别通过螺栓连接或焊接的方式对应固定于基座100和连接部104，即通过连接部104将挡部101和该侧部102固定连接形成整体结构，提升承载料托的整体结构强度；另一个侧部102的一端铰接于基座100，另一端则是通过锁紧固定机构103与连接部104可分离连接，方便夹紧固定和松开堆叠的硅片。
34.在一些可能实现的方式中，参照图1与图2所示，连接部104延伸至侧部102的上方，锁紧固定机构103包括弹性锁销1031和锁孔1032，锁孔1032和弹性锁销1031的其中之一设置在侧部102的外侧面，另一设置于连接部104的外侧面，弹性锁销1031沿竖向朝上或朝下设置，并且通过与锁孔1032相配合将侧部102与连接部104固定以夹紧硅片，有效避免硅片在移送过程相对承载料托发生晃动以磕碰到侧部102的内壁而发生崩边的问题。进一步的，弹性锁销1031沿竖向朝上安装于侧部102的外侧面，锁孔1032对应安装于连接部104的外侧面。
35.在一些可能实现的方式中，参照图1与图2所示，连接部104的内侧面还向下延伸有限位部105，侧部102锁紧固定于限位部105与锁孔1032之间，即锁紧固定侧部102时，可以精确地限定两个侧部102之间的间距，避免两个侧部102相对硅片的夹紧力过大而导致崩边或过小而无法稳定夹紧固定的问题。进一步的，该限位部105呈
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型并且一端通过螺栓连接或焊接固定于连接部104，另一端朝下延伸并自连接部104的下端面突出，以达到限位侧部102的目的。需要说明的是，此时硅片堆叠的高度应低于限位部105朝下延伸的高度，以避免限位部105与硅片发生干涉而刮伤最上端的硅片。
36.在一些可能实现的方式中，侧部102的内壁还设置有弹性防刮层(图未示)，该弹性防刮层可以是贴附于侧部102以定期更换，两个侧部102夹紧固定硅片时，可以通过弹性防刮层自身的弹性回复力消除硅片与侧部102内壁之间的某些微小间隙，确保两个侧部102稳定夹紧硅片，进一步防止硅片发生左右晃动，并且在一个侧部102固定安装于基座100的情形下，插片机将硅片从槽位中移送出时可能回刮伤该固定的侧部102的内壁，此时可以直接更换弹性防刮层，有效避免刮花的内壁对下一批次运载的硅片造成崩边风险的影响。
37.在一些可能实现的方式中，参照图1与图2所示，挡部101呈圆杆状，并且基座100上设置有至少两个挡部101，挡部101的外表面贴附或包覆有弹性防刮层，其目的在于避免硅
片抵接或压接挡部101时刮花挡部101，而对后续承载的硅片造成影响。
38.需要说明的是，上述所有实施例的弹性防刮层均可以为行业内常规的具有弹性的塑料。
39.本技术还提供一种运载水箱，参照图3与图4所示，该运载水箱包括箱体200以及若干个如上述实施例的硅片承载料托，该运载水箱包括上端敞开的箱体200，箱体200底部形成有至少一道倾斜向下朝向箱体200侧壁的支撑板201，若干个硅片承载料托可以排列放置于支撑板201上，并且通过倾斜的支撑板201增大硅片朝向挡部101倾斜的角度，进一步降低硅片沿前后方向晃动而掉落的风险。本实施例以两道支撑板201镜像设置于箱体200内为例进行说明，支撑板201靠近箱体200中部的一侧高于靠近箱体200侧壁的一侧，进而硅片承载料托可以在支撑板201上倾斜依靠在箱体200侧壁，并且由于堆叠的硅片通过两个侧部102夹紧固定于硅片承载料托内，因此硅片承载料托之间、相邻两个硅片承载料托之间可以不再设置限位或固定结构，从而更加方便地将硅片承载料托从箱体200中取出或放入箱体200内。支撑板201和箱体200侧壁之间还设置有导流口202，硅片随硅片承载料托倾斜放置在支撑板201后，硅片上的杂质、硅粉等可以从导流口202掉落到水箱底部，方便收集处理水箱内的杂质、硅粉等。
40.在一些可能实现的方式中，参照图4所示，为了保证硅片承载料托稳定放置于箱体200内，箱体200的侧壁也倾斜设置并且与支撑板201相垂直，因而基座100的下端面可以与支撑板201完全抵接，而基座100上靠近挡部101的侧面则是可以靠在箱体200的侧壁；进一步的，为了方便硅片上的杂质、硅粉等沿着箱体200的侧壁掉落到底部，侧壁内可以呈凹凸间隔设置的波浪状(图未示)，即波浪状的侧壁其波峰处与硅片承载料托抵接，而波谷处则于硅片承载料托形成导流口202，杂质、硅粉等可以从导流口202处掉落到箱体200底部。
41.在一些可能实现的方式中，参照图4所示，运载水箱的底部呈喇叭口状并且最底部设置有排污口，其目的在于确保水箱内的杂质、硅粉等集中于排污口处排出。
42.在一些需要更加精细作业的情形中，参照图3与图4所示，硅片承载料托还需要固定安装于箱体200内。参照图3所示，箱体200内还设置有压紧件203，压紧件203设置在箱体200内并且可沿支撑板201往复滑动，若干个硅片承载料托排列放置于支撑板201上，压紧件203沿支撑板201滑动并且将若干个排列的硅片承载料托压紧于压紧件203与箱体200内壁之间。
43.进一步的，参照图3与图4所示，箱体200中部设置有至少一根导向轴205，压紧件203穿设于导向轴205内并且沿导向轴205直线滑动，箱体200的一侧铰接有锁定摇杆204，锁定摇杆204的一端滑动抵接压紧件203，另一端作为把手以驱使锁定摇杆204沿其铰接点相对箱体200转动，压紧件203上与锁定摇杆204抵接的一侧还设置有滑槽，锁定摇杆204的一端可在滑槽内沿竖向上下滑动。常态下，锁定摇杆204的把手端朝上倾斜并且压紧件203在箱体200内靠近该锁定摇杆204，人手驱使锁定摇杆204转动时，把手端朝下移动并且驱使压紧件203沿支撑板201远离锁紧摇杆，从而将若干个排劣的硅片承载料托压紧固定于箱体200内，并且锁定摇杆204呈水平时，压紧件203位于靠近箱体200中部的一端；锁定摇杆204与箱体200之间的铰接点可以设置有阻尼，避免锁定摇杆204在没有外力的作用下驱使压紧件203远离硅片承载料托。
44.在一些可能实现的方式中，基座100的长度尺寸/宽度尺寸大于两个侧壁之间的最
大水平直线距离，即相邻两个硅片承载料托的连接部104或侧部102之间还具有一定的间隙，可以方便人手或机械手伸入并抓取连接部104/侧部102上的拉手，以将硅片承载料托从箱体200内取出。
45.需要说明的是，箱体200还连接有若干个带脚刹的万向脚轮或者是箱体200放置于移动架上属于本领域技术人员所熟知的方案，在此不作赘述。
46.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何在本发明揭露的技术范围内的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。