金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板与流程

文档序号:33965149发布日期:2023-04-26 18:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,该隔离绝缘层(15)还同时覆盖该半导体有源层(131),该隔离绝缘层(15)在蚀刻后所具有的图案与该数据线、该源极(141)、该漏极(142)和该半导体有源层(131)四者一起构成的图案相同。

3.如权利要求2所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,该金属氧化物薄膜晶体管阵列基板还包括:

4.如权利要求1所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,该隔离绝缘层(15)在蚀刻后所具有的图案与该数据线、该源极(141)和该漏极(142)三者一起构成的图案相同。

5.如权利要求4所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,该金属氧化物薄膜晶体管阵列基板还包括:

6.一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:

7.如权利要求6所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,该制作方法还包括:

8.一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:

9.如权利要求8所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,该制作方法还包括:

10.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1-5任一项所述的金属氧化物薄膜晶体管阵列基板。


技术总结
一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板,包括:衬底;位于衬底上由第一金属层经蚀刻图案化形成的扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的栅极绝缘层;位于栅极绝缘层上依次设置的金属氧化物半导体层、第二金属层和隔离绝缘层;其中,隔离绝缘层、第二金属层和金属氧化物半导体层均被蚀刻图案化,第二金属层被蚀刻后形成数据线以及相互间隔开的源极和漏极,金属氧化物半导体层被蚀刻后在沟道位置形成半导体有源层,被蚀刻后的隔离绝缘层与数据线、源极和漏极上下重叠设置,数据线、源极和漏极的下方均层叠设置有金属氧化物半导体层,数据线、源极和漏极的侧面被氧化处理而形成有一层氧化层。

技术研发人员:钟德镇,祝伟鹏
受保护的技术使用者:昆山龙腾光电股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/11
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