一种PSS八孔铝盘上盖盲孔式PIN孔的制作方法

文档序号:30854343发布日期:2022-07-23 06:41阅读:75来源:国知局
一种PSS八孔铝盘上盖盲孔式PIN孔的制作方法
一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔
技术领域
1.本实用新型属于刻蚀用具技术领域,具体为一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔。


背景技术:

2.图形化蓝宝石衬底,也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用icp刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长gan材料,使gan材料的纵向外延变为横向外延。一方面可以有效减少gan外延材料的位错密度,从而减小有源区的非辐射复合,减小反向漏电流,提高led的寿命;另一方面有源区发出的光,经gan和蓝宝石衬底界面多次散射,改变了全反射光的出射角,增加了倒装led的光从蓝宝石衬底出射的几率,从而提高了光的提取效率,目前在刻蚀的过程中,需要用到刻蚀载具,目前的载具为铝盘。
3.目前,pss八孔铝盘上盖在生产上使用时,因通孔式pin孔会导致氦漏,所以pin孔处要加装密封圈,并且,由于长期放置在有酸性气体的腔体中,需要定时送去超声波清洗。清洗前要先将密封圈槽内的密封圈拆卸下来,长期以来浪费大量的人工,并且频繁的拆卸会导致密封圈提前报废使用,为了解决以上问题,提出了一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于:为了解决上述提出的问题,提供一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔。
5.本实用新型采用的技术方案如下:一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,包括八孔铝盘上盖本体,所述八孔铝盘上盖本体的下侧内部开设有安装腔,所述安装腔的两侧在八孔铝盘上盖本体上设置有定位安装孔,所述八孔铝盘上盖本体上贯穿开设有多个放置孔,所述定位安装孔整体截面为喇叭形状,所述定位安装孔整体在八孔铝盘上盖本体上为下贯通上闭合,所述八孔铝盘上盖本体的下端配合安装有八孔铝盘下盖,所述八孔铝盘下盖的上端两侧凸出设置有与定位安装孔相适配的定位头。
6.在一优选的实施方式中,所述定位安装孔整体属于盲孔,所述定位安装孔的深度位于八孔铝盘上盖本体厚度的三分之二。
7.在一优选的实施方式中,所述八孔铝盘上盖本体和放置孔的形状都为圆形,所述放置孔为八个,所述放置孔均匀的分布在八孔铝盘上盖本体上。
8.在一优选的实施方式中,所述八孔铝盘上盖本体的下端安装有多个螺丝预留孔,所述放置孔内分布有多个定位扣头。
9.在一优选的实施方式中,所述放置孔内安装有铝盘橡胶圈。
10.综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
11.本实用新型中,本装置上的定位安装孔为盲孔式结构,使得在与定位头安装时,处于一个密封环境,不再需要装密封圈,并且降低氦漏风险,提升生产的产品良率、节省大量
人力及物料,使得装置整体的使用效果更好。
附图说明
12.图1为本实用新型的整体的立体的结构示意图;
13.图2为本实用新型的整体的背面的结构示意简图;
14.图3为本实用新型的整体的结构剖面图;
15.图4为本实用新型的定位安装孔的放大的结构剖面图。
16.图中标记:1-八孔铝盘上盖本体、2-放置孔、3-定位扣头、4-定位安装孔、5-安装腔。
具体实施方式
17.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
18.参照图1-4,一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,包括八孔铝盘上盖本体1,八孔铝盘上盖本体1的下侧内部开设有安装腔5,安装腔5的两侧在八孔铝盘上盖本体1上设置有定位安装孔4,八孔铝盘上盖本体1上贯穿开设有多个放置孔2,定位安装孔4整体截面为喇叭形状,定位安装孔4整体在八孔铝盘上盖本体1上为下贯通上闭合,使得定位安装孔4整体属于盲孔种类,在与八孔铝盘下盖连接时,整体的密封性更好,八孔铝盘上盖本体1的下端配合安装有八孔铝盘下盖,八孔铝盘下盖的上端两侧凸出设置有与定位安装孔4相适配的定位头,将八孔铝盘下盖上的定位头对准八孔铝盘上盖本体1上的定位安装孔4插入,完成铝盘的初步安装处理,通过定位安装孔4和定位头还可以起到导向作用。
19.需要说明的是,定位安装孔4整体属于盲孔,定位安装孔4的深度位于八孔铝盘上盖本体1厚度的三分之二,定位安装孔4整体为盲孔式,在与定位头插入安装时,整体之间为密封,不再需要装密封圈,并且降低氦漏风险,提升生产的产品良率、节省大量人力及物料。
20.需要说明的是,八孔铝盘上盖本体1和放置孔2的形状都为圆形,放置孔2为八个,放置孔2均匀的分布在八孔铝盘上盖本体上,通过设置的多个放置孔2对需要刻蚀的工件进行承载处理。
21.需要说明的是,八孔铝盘上盖本体1的下端安装有多个螺丝预留孔,通过多个螺丝和多个螺丝预留孔的配合,便可将八孔铝盘上盖本体1和八孔铝盘下盖固定在一起,完成整体的组装,放置孔2内分布有多个定位扣头3。
22.需要说明的是,放置孔2内安装有铝盘橡胶圈,能够对放入在放置孔2内的工件起到一定的缓冲和保护效果。
23.工作原理:本装置在整体组装时,将八孔铝盘下盖上的定位头对准八孔铝盘上盖本体1上的定位安装孔4插入,在通过多个螺丝将八孔铝盘下盖和八孔铝盘上盖本体1整体固定在一起,在使用时,定位安装孔4整体为盲孔式,在与定位头插入安装时,整体之间为密封,不再需要装密封圈,并且降低氦漏风险,提升生产的产品良率、节省大量人力及物料。
24.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型
的保护范围之内。


技术特征:
1.一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,包括八孔铝盘上盖本体(1),其特征在于:所述八孔铝盘上盖本体(1)的下侧内部开设有安装腔(5),所述安装腔(5)的两侧在八孔铝盘上盖本体(1)上设置有定位安装孔(4),所述八孔铝盘上盖本体(1)上贯穿开设有多个放置孔(2),所述定位安装孔(4)整体截面为喇叭形状,所述定位安装孔(4)整体在八孔铝盘上盖本体(1)上为下贯通上闭合,所述八孔铝盘上盖本体(1)的下端配合安装有八孔铝盘下盖,所述八孔铝盘下盖的上端两侧凸出设置有与定位安装孔(4)相适配的定位头。2.如权利要求1所述的一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,其特征在于:所述定位安装孔(4)整体属于盲孔,所述定位安装孔(4)的深度位于八孔铝盘上盖本体(1)厚度的三分之二。3.如权利要求1所述的一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,其特征在于:所述八孔铝盘上盖本体(1)和放置孔(2)的形状都为圆形,所述放置孔(2)为八个,所述放置孔(2)均匀的分布在八孔铝盘上盖本体上。4.如权利要求1所述的一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,其特征在于:所述八孔铝盘上盖本体(1)的下端安装有多个螺丝预留孔,所述放置孔(2)内分布有多个定位扣头(3)。5.如权利要求1所述的一种pss八孔铝盘上盖盲孔式pin孔,其特征在于:所述放置孔(2)内安装有铝盘橡胶圈。

技术总结
本实用新型公开了一种PSS八孔铝盘上盖盲孔式PIN孔,包括八孔铝盘上盖本体,所述八孔铝盘上盖本体的下侧内部开设有安装腔,所述安装腔的两侧在八孔铝盘上盖本体上设置有定位安装孔,所述八孔铝盘上盖本体上贯穿开设有多个放置孔,所述定位安装孔整体截面为喇叭形状,所述定位安装孔整体在八孔铝盘上盖本体上为下贯通上闭合,所述八孔铝盘上盖本体的下端配合安装有八孔铝盘下盖,所述八孔铝盘下盖的上端两侧凸出设置有与定位安装孔相适配的定位头,所述定位安装孔整体属于盲孔,本装置通过采取盲孔式定位安装孔结构,不再需要装密封圈,并且降低氦漏风险,能够提升生产的产品良率、节省大量人力及物料,保证了整体的使用效果。果。果。


技术研发人员:金道根 顾伟
受保护的技术使用者:深圳市金旺鑫半导体科技有限公司
技术研发日:2022.01.07
技术公布日:2022/7/22
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