技术特征：
1.晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于，包括套筒(1)、固定环一(2)、固定环二(3)、固定环三(4)和固定环四(5)，所述套筒(1)、固定环一(2)、固定环二(3)、固定环三(4)和固定环四(5)均为同轴设置，所述固定环一(2)、固定环二(3)、固定环三(4)和固定环四(5)从内之外依次设置，所述固定环一(2)的内周面上固定安装有多个安装盒(9)，多个安装盒(9)相互靠近的一侧固定安装有同一个支撑环(7)，所述套筒(1)的外周面上呈放射状固定安装有多个撑板(6)，多个撑板(6)远离套筒(1)的一侧均与固定环一(2)的内周面固定连接，所述安装盒(9)内滑动安装有横杆(91)，所述横杆(91)的一端固定安装有移动条(93)，所述安装盒(9)的内壁上转动安装有两个转动销(96)，两个转动销(96)上均固定安装有顶推板(97)，两个顶推板(97)相互靠近的一侧均与移动条(93)相抵接，所述安装盒(9)的前后两侧均开设有矩形口(99)，两个顶推板(97)分别与对应的矩形口(99)相适配。2.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述横杆(91)上固定安装有挡块(94)，挡块(94)的一侧固定安装有多个复位弹簧(95)，多个复位弹簧(95)远离挡块(94)的一端与安装盒(9)的一侧内壁固定连接。3.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述转动销(96)上活动套设有扭簧(98)，扭簧(98)的两端分别与顶推板(97)和安装盒(9)的内壁固定连接。4.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述安装盒(9)的两侧内壁上固定安装有同一个导向杆(11)，导向杆(11)的外侧滑动安装有滑套，滑套固定安装在移动条(93)上。5.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述固定环四(5)的外周面上开设有多个收纳槽(10)，横杆(91)远离安装盒(9)的一端延伸至收纳槽(10)内并固定安装有按压板(92)。6.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述固定环一(2)的内周面上和支撑环(7)的外周面上固定安装有多个支板(8)，多个支板(8)与多个撑板(6)呈交错设置。7.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述安装盒(9)和收纳槽(10)的数量相同，且安装盒(9)和收纳槽(10)的数量均为偶数个。8.根据权利要求1所述的晶圆气浮式镀铜用网格盘，其特征在于：所述固定环一(2)、固定环二(3)、固定环三(4)和固定环四(5)的厚度依次增大。
技术总结
本实用新型属于晶圆技术领域，尤其为晶圆气浮式镀铜用网格盘，包括套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四，所述套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四均为同轴设置，所述固定环一、固定环二、固定环三和固定环四从内之外依次设置，所述固定环一的内周面上固定安装有多个安装盒，多个安装盒相互靠近的一侧固定安装有同一个支撑环，所述套筒的外周面上呈放射状固定安装有多个撑板，多个撑板远离套筒的一侧均与固定环一的内周面固定连接。本实用新型设计合理，操作简单，能够适用于不同尺寸的晶圆片，同时便于将将与安排快速取出，且可以不用区分正反面进行操作，使用较为便捷。便捷。便捷。
技术研发人员：罗中平
受保护的技术使用者：常熟市兆恒众力精密机械有限公司
技术研发日：2022.04.24
技术公布日：2022/9/13