晶圆气浮式镀铜用网格盘的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，特别涉及晶圆气浮式镀铜用网格盘。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。在晶圆的加工过程中需要对其进行镀铜操作，要使用到网格盘，但是现有的网格盘一般只能适用于指定尺寸的晶圆，适用性欠佳，在镀铜操作完成后，将晶圆片从网格盘内取出时需要将其翻转并将其从网格盘中倒出，操作便捷性欠佳，因此，本实用新型提出了晶圆气浮式镀铜用网格盘用以解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术的缺点，而提出的晶圆气浮式镀铜用网格盘。
4.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：晶圆气浮式镀铜用网格盘，包括套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四，所述套筒、固定环一、固定环二、固定环三和固定环四均为同轴设置，所述固定环一、固定环二、固定环三和固定环四从内之外依次设置，所述固定环一的内周面上固定安装有多个安装盒，多个安装盒相互靠近的一侧固定安装有同一个支撑环，所述套筒的外周面上呈放射状固定安装有多个撑板，多个撑板远离套筒的一侧均与固定环一的内周面固定连接，所述安装盒内滑动安装有横杆，所述横杆的一端固定安装有移动条，所述安装盒的内壁上转动安装有两个转动销，两个转动销上均固定安装有顶推板，两个顶推板相互靠近的一侧均与移动条相抵接，所述安装盒的前后两侧均开设有矩形口，两个顶推板分别与对应的矩形口相适配。
5.优选的，所述横杆上固定安装有挡块，挡块的一侧固定安装有多个复位弹簧，多个复位弹簧远离挡块的一端与安装盒的一侧内壁固定连接。
6.优选的，所述转动销上活动套设有扭簧，扭簧的两端分别与顶推板和安装盒的内壁固定连接。
7.优选的，所述安装盒的两侧内壁上固定安装有同一个导向杆，导向杆的外侧滑动安装有滑套，滑套固定安装在移动条上。
8.优选的，所述固定环四的外周面上开设有多个收纳槽，横杆远离安装盒的一端延伸至收纳槽内并固定安装有按压板。
9.优选的，所述固定环一的内周面上和支撑环的外周面上固定安装有多个支板，多个支板与多个撑板呈交错设置。
10.优选的，所述安装盒和收纳槽的数量相同，且安装盒和收纳槽的数量均为偶数个。
11.优选的，所述固定环一、固定环二、固定环三和固定环四的厚度依次增大。
12.本实用新型的有益效果是：本实用新型中，通过固定环一、固定环二、固定环三和
固定环四的厚度依次增大的设置能够形成不同尺寸的环形槽，从而能够适用于不同尺寸的晶圆片，同时可以在不用区分该装置正反面的状态下使用，通过将收纳槽和安装盒设置成偶数个，便于操作者通过位于同一轴线上的两个按压板进行按压操作，从而能够使横杆推动移动条挤压对应的两个顶推板向相互远离的方向偏转，进而便于将晶圆片快速取出，取出后松开按压板，在复位弹簧的作用下能够使横杆和按压板复位，同时在扭簧的作用下能够使两个顶推板回缩至安装盒内。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型提出的晶圆气浮式镀铜用网格盘的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型提出的晶圆气浮式镀铜用网格盘的剖视结构示意图；
16.图3为本实用新型提出的安装盒部分的剖视结构示意图；
17.图4为本实用新型提出的晶圆气浮式镀铜用网格盘中a部分的结构示意图；
18.图5为本实用新型提出的晶圆气浮式镀铜用网格盘中b部分的结构示意图。
19.图中：1、套筒；2、固定环一；3、固定环二；4、固定环三；5、固定环四；6、撑板；7、支撑环；8、支板；9、安装盒；91、横杆；92、按压板；93、移动条；94、挡块；95、复位弹簧；96、转动销；97、顶推板；98、扭簧；99、矩形口；10、收纳槽；11、导向杆。
具体实施方式
20.下面将结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.参照图1-5，晶圆气浮式镀铜用网格盘，包括套筒1、固定环一2、固定环二3、固定环三4和固定环四5，套筒1、固定环一2、固定环二3、固定环三4和固定环四5均为同轴设置，固定环一2、固定环二3、固定环三4和固定环四5从内之外依次设置，固定环一2的内周面上固定安装有多个安装盒9，多个安装盒9相互靠近的一侧固定安装有同一个支撑环7，套筒1的外周面上呈放射状固定安装有多个撑板6，多个撑板6远离套筒1的一侧均与固定环一2的内周面固定连接，通过撑板6能够对固定环一2提供稳定的支撑，安装盒9内滑动安装有横杆91，横杆91的一端固定安装有移动条93，安装盒9的内壁上转动安装有两个转动销96，两个转动销96上均固定安装有顶推板97，两个顶推板97相互靠近的一侧均与移动条93相抵接，安装盒9的前后两侧均开设有矩形口99，两个顶推板97分别与对应的矩形口99相适配，通过矩形口99便于两个顶推板97进行收放操作。
22.本实施例中，横杆91上固定安装有挡块94，挡块94的一侧固定安装有多个复位弹簧95，多个复位弹簧95远离挡块94的一端与安装盒9的一侧内壁固定连接，通过挡块94和复位弹簧95的配合下能够通过横杆91推动按压板92复位。
23.本实施例中，转动销96上活动套设有扭簧98，扭簧98的两端分别与顶推板97和安装盒9的内壁固定连接，通过扭簧98能够控制顶推板97向靠近移动条93的方向偏转。
24.本实施例中，安装盒9的两侧内壁上固定安装有同一个导向杆11，导向杆11的外侧滑动安装有滑套，滑套固定安装在移动条93上，通过导向杆11和滑套的配合下能够使移动条93保持稳定的运动。
25.本实施例中，固定环四5的外周面上开设有多个收纳槽10，横杆91远离安装盒9的一端延伸至收纳槽10内并固定安装有按压板92，通过按压板92便于对横杆91进行操作。
26.本实施例中，固定环一2的内周面上和支撑环7的外周面上固定安装有多个支板8，多个支板8与多个撑板6呈交错设置，通过支板8能够使支撑环7与固定环一2之间保持较好的稳定性。
27.本实施例中，安装盒9和收纳槽10的数量相同，且安装盒9和收纳槽10的数量均为偶数个，便于单手同时对两个按压板92进行按压操作。
28.本实施例中，固定环一2、固定环二3、固定环三4和固定环四5的厚度依次增大，从而能够形成多个台阶，进而能够适用于不同尺寸的晶圆。
29.工作原理：在使用时，首先将该装置平放在操作台面上，将需要进行镀铜的晶圆片放置在适合的台阶形槽内，然后对晶圆片进行镀铜操作，通过将固定环一2、固定环二3、固定环三4和固定环四5的厚度依次增大的设置，能够形成不同尺寸的环形槽，从而能够适用于不同尺寸晶圆片的使用，镀铜完成后，将位于同一轴线上的两个按压板92向相互靠近的方向按压，在横杆91的作用下带动移动条93控制两个顶推板97从操作口伸出，从而便于操作者将晶圆片从该装置内取出。
30.以上对本实用新型所提供的晶圆气浮式镀铜用网格盘进行了详细介绍。本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。