拆装机构的制作方法

1.本技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种拆装机构。


背景技术：

2.在半导体的制造过程中，静电卡盘是一种常用的为晶圆提供承载作用的机构，静电卡盘通常被固定安装在工艺腔室中，具体来说，可以利用螺栓等结构将静电卡盘固定在工艺腔室内的接口盘上，使晶圆可以被稳定地放置在工艺腔室中。
3.在半导体工艺过程中，受多种原因影响，可能需要对工艺腔室内的静电卡盘进行拆装。并且，由于与静电卡盘配合的顶针不便于拆卸，为此，在拆装静电卡盘时，顶针并不会被拆下，而由于目前拆装静电卡盘时较难保证静电卡盘始终具有较高的水平度，从而在拆装静电卡盘的过程中，很容易出现顶针损坏的情况。


技术实现要素：

4.本技术公开一种拆装机构，以解决目前拆装静电卡盘时，静电卡盘的水平度难以保证，导致拆装静电卡盘时极易损坏顶针的问题。
5.为了解决上述问题，本技术采用下述技术方案：
6.本技术公开一种拆装机构，用于拆装半导体工艺腔室内的静电卡盘，所述拆装机构包括底座、升降组件、安装架、定位组件、第一检测组件和第二检测组件，其中，
7.所述底座能够置于所述半导体工艺腔室的内部底壁上，所述安装架通过所述升降组件安装于所述底座，所述升降组件用于驱动所述安装架相对所述底座作直线升降运动；
8.所述定位组件安装于所述安装架，所述定位组件用于定位所述静电卡盘和安装架；
9.所述第一检测组件和所述第二检测组件均安装于所述安装架上，且二者在所述升降组件的升降方向上具有预设距离，所述第一检测组件位于所述第二检测组件的上方，用于检测所述静电卡盘的水平度，所述第二检测组件可用于检测所述静电卡盘的安装到位情况。
10.本技术采用的技术方案能够达到以下有益效果：
11.本技术实施例公开一种拆装机构，拆装机构中，安装架通过升降组件活动地安装在底座上，且在升降组件的作用下，使得安装架能够相对底座作直线升降运动。并且，定位组件、第一检测组件和第二检测组件均安装在安装架上，利用定位组件可以定位静电卡盘和安装架，使静电卡盘与安装架能够形成相对固定关系。另外，在定位静电卡盘和安装架之前，可以通过第一检测组件和第二检测组件对静电卡盘和安装架之间的相对水平状态进行检测，且在确定静电卡盘与安装架之间形成较为精准的相对水平关系之后，可以利用升降组件使静电卡盘逐渐靠近安装位置，安装位置通常可以设有接口盘，在安装架携带静电卡盘逐渐靠近接口盘的过程中，第二检测组件亦随之靠近接口盘，通过检测第二检测组件是否被接口盘所遮挡，可以确定静电卡盘是否被安装到位，进一步提升静电卡盘的安装精度。
在采用上述技术方案对静电卡盘进行拆装的过程中，由于静电卡盘的水平度可以得到较高的保障，从而在垂直于顶针的延伸方向的方向上，使静电卡盘与顶针之间的相对静止程度较高，这可以最大化地保证拆装静电卡盘的过程中，不会碰撞或挤压到顶针，防止顶针被损坏。
附图说明
12.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
13.图1为本技术实施例公开的拆装机构的结构示意图；
14.图2为本技术实施例公开的拆装机构的部分分解示意图；
15.图3为本技术实施例公开的拆装机构在另一方向上的示意图；
16.图4为本技术实施例公开的拆装机构中光束发射器的装配示意图；
17.图5为本技术实施例公开的拆装机构中固定支架的剖面示意图；
18.图6为本技术实施例公开的拆装机构中弹性调节件的结构示意图；
19.图7为本技术实施例公开的拆装机构中包括导向组件的部分结构的示意图；
20.图8为图7示出的结构在另一方向上的结构示意图；
21.图9为本技术实施例公开的拆装机构拆装静电卡盘的示意图；
22.图10为本技术实施例公开的拆装机构与静电卡盘之间的装配示意图；
23.图11为本技术实施例公开的拆装机构的定位组件中部分结构的剖面示意图；
24.图12为本技术实施例公开的拆装机构的定位组件中部分结构的分解示意图；
25.图13为本技术实施例公开的拆装机构的定位组件中部分结构的分解示意图；
26.图14为本技术实施例公开的拆装机构中限位杆与限位件之间的装配示意图。
27.附图标记说明：
28.1-静电卡盘、
29.2-接口盘、
30.100-底座、
31.200-驱动器、
32.300-安装架、310-导向孔、320-调节孔、330-贯通槽、
33.400-定位组件、410-限位杆、411-限位槽、420-弹性件、430-吸盘、440-限位件、451-第一连杆、452-第二连杆、460-销轴、471-螺栓、472-螺钉、480-固定柱、490-垫片、
34.510-光束发射器、520-光束接收器、530-光路检测器、540-反射件、550-固定支架、551-卡槽、552-定位孔、553-限位柱、560-弹性调节件、
35.600-导向组件、610-导轨、611-贯穿孔、620-滑块、630-连接块、
36.710-限位块、720-缓冲件、
37.910-水平检测器件、920-防滑垫。
具体实施方式
38.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一
部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
39.以下结合附图，详细说明本技术各个实施例公开的技术方案。
40.如图1所示，本技术实施例公开一种拆装机构，利用该拆装机构可以对半导体工艺设备的半导体工艺腔室内的静电卡盘1进行拆装，且可以在静电卡盘1被固定在接口盘2等安装结构上之前，预先实现静电卡盘1的水平度的调节工作，保证静电卡盘1被安装在接口盘2上之后的水平度仍可以保持预先的调节结果，降低静电卡盘1的安装难度，防止静电卡盘1的安装过程中损坏顶针。
41.如图1-图14所示，拆装机构包括底座100、升降组件、安装架300、第一检测组件、第二检测组件和定位组件400。其中，底座100为整个拆装机构的安装基础，拆装机构中的其他组件均直接或间接地安装在底座100上。底座100可以采用金属等结构强度相对较大的材料形成，底座100可以为块状结构件，当然，底座100亦可以为框架状结构，对此，本文不作限定。在本技术实施例公开的拆装机构的使用过程中，需要将拆装机构放置在工艺腔室内，为了使拆装机构与工艺腔室之间的相对固定关系更为稳定，可以在底座100上设置通孔，且利用螺栓等结构件将底座100固定在工艺腔室内对应的位置处。
42.为了提升本技术实施例公开的拆装机构的使用便利性，可以根据工艺腔室内的具体结构，对应地设置底座100的形状。通常来说，工艺腔室内设有接口盘2等凸台结构，继而，可以使底座100的形状与工艺腔室内的凸台结构适配，且使底座100可以套设在凸台结构之外，进而使底座100能够置于半导体工艺腔室的内部底壁上。同时，基于凸台结构的尺寸参数，通过对底座100的内侧尺寸进行设计，即可使底座100可以套设在凸台结构之外，且基本可以保证底座100与凸台结构在垂直于升降方向的方向上具有较强的相对固定关系。其中，前述升降方向为上述升降组件的驱动方向，更具体地，可以为工艺腔室的轴向或高度方向，亦可以为接口盘2或静电卡盘1处于工作状态时的厚度方向，更直观地说，前述升降方向可以为图1中的方向a。
43.如上所述，在底座100能够与凸台结构形成限位配合关系的情况下，可以不再利用螺栓等连接将对底座100的位置进行固定，为了进一步提升底座100的位置稳定性，可选地，底座100的底面设有防滑垫920，在防滑垫920的作用下，使得底座100与工艺腔室之间的摩擦力相对更大，保证底座100能够更为稳定地被定位在预设位置。防滑垫920具体可以粘接在底座100的底面，防滑垫920可以为块状结构件，且防滑垫920的数量可以为多个，多个防滑垫920可以沿底座100的周向均匀且间隔地固定在底座100上。在本技术的另一实施例中，防滑垫920为环状结构件，且防滑垫920与底座100对应设置，使得底座100上的任一位置处均对应设置有防滑垫920，这可以进一步提升底座100与工艺腔室之间相对固定关系的稳定性。
44.安装架300为拆装机构中用以安装定位组件400等部件的机构，且安装架300可以在升降组件的作用下相对底座100运动。当然，在定位组件400完成与静电卡盘1的定位工作之后，静电卡盘1也可以随安装架300的运动而运动。基于此，为了保证安装架300具有较强的结构强度，安装架300亦可以采用金属材料形成，以提升安装架300的结构可靠性。安装架300的具体形状可以与底座100相同或相似，亦可以与底座100存在较大的差异，此处不作限定。
45.安装架300通过升降组件安装于底座100，升降组件具体可以为气缸、液压缸或直线电机等。具体来说，升降组件可以包括座体和驱动器200，座体和驱动器200中，一者与安装架300连接，另一者与底座100连接，即可保证在升降组件工作的过程中，能够驱动安装架300相对底座100运动。并且，通过对升降组件的驱动方向进行限制，即可保证升降组件能够驱动安装架300相对底座100作直线升降运动。
46.在升降组件的功率等参数相对较大的情况下，升降组件的数量可以为一个。为了保证安装架300的升降稳定性和直线度相对较高，在升降组件的数量为一个的情况下，可以为安装架300配置至少一个导向组件600，且使导向组件600与升降组件间隔设置。当然，在导向组件600的数量为多个的情况下，亦可以将升降组件安装于某一导向组件600所在的位置。
47.在本技术的另一实施例中，为了提升安装架300的升降稳定性，升降组件的数量为多个，多个升降组件沿安装架300的周向，即围绕升降方向的方向均匀且间隔设置，任一升降组件均传动连接于安装架300和底座100之间，以在多个升降组件的共同作用下，驱动安装架300相对底座100作直线升降运动，这还可以提升安装架300在作升降运动时的直线度相对较高。或者，升降组件在包括上述驱动器200的情况下，还可以上述导向组件600，在这种情况下，升降组件的数量为多个，则可以不再单独设置导向组件600。
48.定位组件400具体可以为板状支撑结构，通过多个板状支撑结构可以为静电卡盘1提供承托作用，且通过使多个板状支撑结构与安装架300之间形成可调连接关系，即可在静电卡盘1与安装架300之间的相对水平情况存在差异的情况下，通过调节某一板状支撑结构，使静电卡盘1与安装架300之间形成较为精准的水平关系。或者，定位组件400还可以为其他夹具，通过夹持的方式为静电卡盘1提供定位作用，使静电卡盘1能够与安装架300形成相对静止关系；同时，在静电卡盘1与安装架300之间相对水平情况不满足需求的情况下，亦可以通过改变静电卡盘1与夹具之间的相对位置，改变静电卡盘1与安装架300之间的相对位置，从而保证静电卡盘1与安装架300之间具有满足需求的相对水平关系。当然，定位组件400还可以为其他器件，且定位组件400的数量可以为一个或多个，一个定位组件400中亦可以包括多个用以提供定位作用的部件。
49.如上所述，在利用定位组件400定位静电卡盘1和安装架300的过程中，需要使静电卡盘1和安装架300之间的相对水平状态满足需求，详细地说，就是以安装架300作为水平基准，在静电卡盘1与安装架300之间的相对水平情况满足条件的情况下，即认为静电卡盘1与工艺腔室(内的接口盘2)之间的相对水平情况满足需求，更简单地说，静电卡盘1和安装架300之间的相对水平情况可以被看作是静电卡盘1的上表面和安装架300的上表面之间的平行关系。
50.为了获取静电卡盘1和安装架300之间的相对水平状态，如上所述，本技术实施例公开的拆装机构包括第一检测组件和第二检测组件，第一检测组件和第二检测组件均安装在安装架300上，且二者在上述升降方向上具有预设距离，具体地，前述预设距离需要稍大于所要安装的静电卡盘1的厚度。
51.并且，第一检测组件位于第二检测组件的上方，具体地，第一检测组件为红外或激光传感器，第一检测组件用于检测静电卡盘的水平度，保证被定位组件400固定于安装架300上的静电卡盘1具有满足需求的水平度。进而，可以利用第一检测组件提供的参考，对应
地安装或调节静电卡盘1与安装架300之间的相对位置，以静电卡盘1尽可能近得贴靠第一检测组件提供的参考线或参考平面，且保证静电卡盘不会遮挡前述参考线或参考平面。
52.第二检测组件设置于第一检测组件的下方，相似地，第二检测组件亦可以为红外或激光传感器，第二检测组件用于检测静电卡盘的安装到位情况。也即，可以根据第二检测组件的具体检测结果，确定静电卡盘是否被安装到位。当然，为了保证第二检测组件具备上述能力，在装配第二检测组件的过程中，需要保证静电卡盘未被安装到位时，第二检测组件可以始终接收到自身发出的信号，也即，静电卡盘自身并不会阻挡第二检测组件的信号。
53.基于上述第二检测组件，通过对前述预设距离进行设定，使得静电卡盘在固定至安装架300上之后，既不与第一检测组件的检测媒介干涉，也不与第二检测组件的检测媒介干涉，这使得第二检测组件实际上亦具备检测静电卡盘1的水平度的能力，进而保证静电卡盘1可以被较为精准地水平安装至安装架300上。
54.本技术实施例公开一种拆装机构，拆装机构中，安装架300通过升降组件活动地安装在底座100上，且在升降组件的作用下，使得安装架300能够相对底座100作直线升降运动。并且，定位组件400、第一检测组件和第二检测组件均安装在安装架300上，利用定位组件400可以定位静电卡盘1和安装架300，使静电卡盘1与安装架300能够形成相对固定关系。另外，在定位静电卡盘1和安装架300时，可以通过第一检测组件和第二检测组件对静电卡盘1和安装架300之间的相对水平状态进行检测，且在确定静电卡盘1与安装架300之间形成较为精准的相对水平关系之后，可以利用升降组件使静电卡盘1逐渐靠近安装位置，安装位置通常可以设有接口盘2，在安装架300携带静电卡盘1逐渐靠近接口盘2的过程中，第二检测组件亦随之靠近接口盘2，通过检测第二检测组件是否被接口盘2所遮挡，可以确定静电卡盘1是否被安装到位，进一步提升静电卡盘1的安装精度。在采用上述技术方案对静电卡盘1进行拆装的过程中，由于静电卡盘1的水平度可以得到较高的保障，从而在垂直于顶针的延伸方向的方向上，使静电卡盘1与顶针之间的相对静止程度较高，这可以最大化地保证拆装静电卡盘1的过程中，不会碰撞或挤压到顶针，防止顶针被损坏。
55.可选地，第一检测组件包括光束发射器510和光束接收器520，光束发射器510和光束接收器520均安装在安装架300上，且光束发射器510和光束接收器520相对设置，以保证在光束接收器520没有被静电卡盘1遮挡的情况下接收到光束发射器510发射的光束。
56.具体地，可以将光束发射器510和光束接收器520均安装在安装架300背离底座100的一侧表面。在本技术的另一实施中，可以在安装架300上设置相对的贯通槽330，且使光束发射器510和光束接收器520分别安装在贯通槽330内。光束发射器510和光束接收器520均可以通过固定支架550安装至贯通槽330内，固定支架550用以承载第一检测组件中的光束发射器510和光束接收器520。具体地，固定支架550上可以设有卡槽551，光束发射器510和光束接收器520均可以通过卡持的方式分别安装在对应的固定支架550的卡槽551内。
57.考虑到光束发射器510和光束接收器520的接收精度相对较高，拆装机构还可以包括调节组件，调节组件包括上述固定支架550、弹性调节件560和调节顶丝，固定支架550、弹性调节件和调节顶丝的数量均可以为多个。
58.其中，可以在贯通槽330的槽底设置弹性调节件560，也即，多个弹性调节件560设置于固定支架550的背离卡槽的一侧，进而通过使固定支架550挤压弹性调节件560以将光束发射器510安装至贯通槽330内，使弹性调节件支撑固定支架550；同时，可以通过在安装
架300的顶面，也即贯通槽330的上方设置多个调节孔320，且在调节孔320内安装调节顶丝，多个调节顶丝一一对应地穿过多个调节孔320且穿设于贯通槽330内，使调节顶丝抵顶第一检测组件的光束发射器510(或光束接收器520)，进而通过正向或反向旋拧调节顶丝，可以改变弹性调节件560的被压缩程度，即可使光束发射器510与安装架300在升降方向上的相对位置发生变化，实现调节第一检测组件的位置的目的，进而改变光束发射器510发出的光线的路径，保证光束发射器510和光束接收器520均被安装至安装架300上之后，二者之间在未被其他器件遮挡时能够相互感应。
59.另外，为了防止光束发射器510和光束接收器520在贯通槽330内晃动，可选地，光束发射器510和光束接收器520的底部均可以设有多个限位柱553，且贯通槽330的底部可以设有多个对应的限位孔，通过使限位柱553与限位孔相互配合，使得光束发射器510和光束接收器520均可以在垂直于升降方向的方向上与安装架300形成稳定的限位配合关系，保证二者对静电卡盘1的位置检测的可靠性相对较高。相应地，为了提升弹性调节件560与光束发射器510和光束接收器520之间的配合稳定性，还可以在固定支架550中限位柱553所在的一侧设置定位孔552，且使弹性调节件560朝向固定支架550的一端伸入定位孔552中，使弹性调节件560与固定支架550在垂直于升降方向的方向上形成稳定的配合关系。
60.基于上述第一检测组件，在定位组件400定位静电卡盘1的过程中，可以通过光束接收器520是否能够正常接收到光束，判断静电卡盘1是否遮挡光束，进而确定静电卡盘1与安装架300之间的相对水平情况是否满足条件。展开的说，如果光束接收器520无法正常接收到光束，则存在静电卡盘1遮挡光束的情况，进而静电卡盘1可能存在相对安装架300偏斜的情况；如果光束接收器520能够正常接收到光束，则静电卡盘1未遮挡光束，此时，静电卡盘1可能相对安装架300处于水平状态。
61.但是，在上述两种情况中均存在相对特殊的状态，继而，为了提升检测结果的精确性，可以根据定位组件400和静电卡盘1等部件的实际尺寸等参数，预先在安装架300上设置多个定位标记，且在定位静电卡盘1的过程中，使静电卡盘1与定位标记对准，且在利用定位标记使静电卡盘1位于其初始定位位置时，使静电卡盘1的上表面与光束发射器510发出的光线之间的间距小于一预设值，前述预设值大于零，预设值具体可以为0.1mm，当然，亦可以根据加工精度等参数对应选定其他具体值，此处不作限定。
62.继而，在定位静电卡盘1的过程中，通过使静电卡盘1与多个定位标记对应，使得静电卡盘1与光束发射器510发出的光束之间具有相对较小的间隙，继而，如果静电卡盘1相对安装架300存在偏斜的情况，静电卡盘1会遮挡光束，导致光束接收器520无法正常接收到光束，在这种情况下，可以基于多个定位标记的位置，通过调整静电卡盘1的位置，保证静电卡盘1在与多数定位标记对应的情况下，不再遮挡光束。
63.如上所述，为了提升静电卡盘1在被定位时的精准度，可以在安装架300上设置多个定位标记，且基于多个定位标记的位置对应地确定静电卡盘1与安装架300之间的大体相对位置。在本技术的另一实施例中，可选地，拆装机构中光束发射器510和光束接收器520的数量可以为多个，且多个光束发射器510和多个光束接收器520一一对应设置，多个光束发射器510中的两者沿升降方向分布，且使两个光束发射器510发出的光束之间的间距稍大于静电卡盘1的厚度，进而在对静电卡盘1与安装架300进行预定位的过程中，可以利用前述两个光束发射器510进行标定。具体来说，在两个光束发射器510发射的光束均能够被对应的
光束接收器520所接收时，即可认为静电卡盘1与安装架300之间的相对水平情况相对较好，满足预设需求。当然，在布设前述两个光束发射器510的过程中，需要保证两个光束发射器510发出的光束在升降方向上的间距不能超过静电卡盘1的厚度过多，以保证静电卡盘1的安装精度相对较高。
64.在第一检测组件包括光束发射器510和光束接收器520的情况下，利用光束接收器520的光束接收情况，可以确定静电卡盘1与安装架300之间的相对水平状态，且在静电卡盘1与安装架300之间的相对水平状态满足需求的情况下，再通过定位组件400将静电卡盘1与安装架300固定在一起。之后，再将固定有静电卡盘1的拆装机构安置在工艺腔室中对应的位置处，在升降组件的作用下，可以使安装架300携带静电卡盘1下降，且最终落在接口盘2上；之后，利用多个螺栓等结构件可以将静电卡盘1固定在接口盘2上，在多个螺栓的锁紧力基本相同的情况下，可以保证静电卡盘1在与接口盘2连接前后的水平度基本不会发生变化，由于在将静电卡盘1安装至接口盘2上之前，已经完成了对静电卡盘1的水平度的控制，从而可以保证静电卡盘1的安装工作一次完成，无需对静电卡盘1的水平度进行多次拆装调试，可以降低静电卡盘1的拆装难度，且可以在一定程度上提升静电卡盘1的水平度的精度。
65.在本技术的另一实施例中，为了降低拆装机构的整体成本，光束发射器510和光束接收器520仅设置一组，且通过利用上述第二检测组件与第一检测组件一并检测静电卡盘1的水平度，以进一步为静电卡盘1的安装精度提供进一步保障作用。具体来说，第二检测组件可以包括光路检测器530和反射件540，且光路检测器530和反射件540均安装在安装架300上，光路检测器530和反射件540相对设置，反射件540能够反射光路检测器530发出的光线，且在光路检测器530和反射件540之间的空间未被静电卡盘1以及其他器件遮挡的情况下，保证光路检测器530发出的光线能够被反射件540所反射，且被光路检测器530所接收，以辅助用户确定静电卡盘1的被定位位置和相对水平状态。基于上述第二检测组件，使得第二检测组件仍具备对静电卡盘1的安装到位情况进行检测的能力，具体来说，在静电卡盘1未到达安装位置时，光路检测器530能够接收到自反射件540反射的光线。
66.相似地，设置于安装架300上的光路检测器530和光束发射器510在升降方向上间隔设置，从而分别对静电卡盘1的上表面和下表面进行检测，为静电卡盘1的预定位过程提供辅助作用，保证静电卡盘1处于预定位位置时，静电卡盘1与安装架300之间的相对水平状态相对较好。当然，光路检测器530与光束发射器510之间的间距亦不能超过静电卡盘1的厚度过多，例如，可以使光路检测器530和光束发射器510之间的间距超过静电卡盘1的厚度0.1mm，这基本可以保证静电卡盘1的被安装精度相对较高。
67.如上所述，在本技术实施例公开的拆装机构的使用过程中，可以利用静电卡盘1与安装架300之间的相对水平情况表征静电卡盘1与工艺腔室中接口盘2之间的相对水平程度，为此，需要对安装架300与工艺腔室(内的接口盘2)之间的相对水平程度进行控制，保证在安装架300放置在工艺腔室之内后，安装架300与工艺腔室内的接口盘2之间的相对水平程度较高。
68.可选地，通过对底座100、升降机构和安装架300的加工精度进行控制，可以保证底座100的地面与安装架300的顶面之间具有较高的相对水平程度，且保证安装架300能够沿直线方向相对底座100作升降运动，这使得在随底座100被安置在工艺腔室内之后，安装架300能够与工艺腔室内的接口盘2形成精度较高的相对水平状态。
69.同时，在安装静电卡盘1的过程中，还需要对工艺腔室的水平程度进行检测，以保证静电卡盘1完成安装之后的水平程度较高。基于此，在通过拆装机构拆装静电卡盘1的过程中，可以预先对工艺腔室的水平度进行检测。
70.为了进一步降低静电卡盘1的拆装复杂度，在本技术实施例中，可选地，拆装机构还包括第三检测组件，第三检测组件包括水平检测器件910，水平检测器件910安装在安装架300上，以利用水平检测器件910检测安装架300的水平度，进而得到工艺腔室的水平度。水平检测器件910具体可以为气泡水平尺，其可以采用粘接等连接方式固定在安装架300上，且在安装水平检测器件910的过程中，需要保证水平检测器件910的水平检测方向与安装架300和底座100的相对运动方向垂直，进而保证拆装机构工作过程中安装架300的运动方向为竖直方向。
71.为了进一步提升安装架300的水平检测精度，可选地，水平检测器件910的数量为多个，多个水平检测器件910沿安装架300的轴向，即围绕升降方向的方向间隔安装在安装架300上，从而在拆装机构的使用过程中，可以通过多个水平检测器件910一并确定安装架300(即工艺腔室)的水平度，且在工艺腔室的水平度不满足需求的情况下，根据多个水平检测器件910的检测结果对工艺腔室的水平度进行调节，使工艺腔室的水平度满足需求。
72.如上所述，定位组件400可以为板状支撑结构或夹具，在本技术的另一实施例中，为了提升定位组件400的定位效果，可选地，定位组件400的数量为多个，且多个定位组件400沿安装架300的轴向，即围绕升降方向的方向间隔分布，以利用多个定位组件400一并为静电卡盘1提供定位作用，提升静电卡盘1的被定位效果。
73.并且，任一定位组件400均包括限位组件和吸盘430，限位组件穿设于安装架300的侧壁，且与安装架300连接，同时，限位组件与安装架300在限位组件的延伸方向上的相对位置可调，从而使限位组件可以与安装架300形成可调的固定关系。限位组件与吸盘430连接，以通过限位组件驱动吸盘选择性地吸附或脱离静电卡盘1的侧壁。展开地说，在定位组件400的使用过程中，可以根据静电卡盘1的直径的具体值，确定限位组件与安装架300在限位组件的延伸方向上的预设相对位置，且通过使限位组件沿前述延伸方向相对安装架300移动，直至限位组件与安装架300满足前述预设相对位置关系，且使限位组件与安装架300在前述延伸方向上保持固定，保证吸盘430可以与静电卡盘1的侧壁形成可靠的吸合关系；对应地，在需要分离吸盘430与静电卡盘1时，则可以使限位组件与安装架300恢复在前述延伸方向上的相对运动关系，继而，通过使限位组件相对安装架300向远离静电卡盘1的方向移动，即可在限位组件的拉伸作用下，使吸盘430与静电卡盘1分离。具体地，限位组件与安装架300之间可以通过螺纹连接的方式在前述延伸方向上形成可调的固定连接关系。
74.在本技术的另一实施例中，限位组件包括限位杆410和限位件440，限位杆410穿设于安装架300的侧壁，以使限位杆410与安装架300在升降方向上相对固定。限位杆410设有限位槽411，限位件440和限位槽411可以在限位杆410的延伸方向上相互限位，进而使限位杆410能够与安装架300在前述延伸方向上形成相对固定关系。限位件440具体可以为限位片，通过使限位杆410伸出至安装架300之间，将限位件440卡持于限位杆410的限位槽411内，继而，利用限位件440使限位杆410与安装架300在弹性方向上形成限位配合关系。
75.更进一步地，在限位件440与限位槽411形成限位配合关系之后，还可以利用螺钉472等连接件将限位件440固定在安装架300上，从而进一步提升限位件440为限位杆410提
供的限位作用的可靠性。更具体地，可以利用两个连接件将限位件440固定在安装架300上，一方面可以最大化地提升限位件440与安装架300之间的限位作用效果，另一方面，在静电卡盘1的拆装过程中，可以将一个连接件拆下，使限位件440与安装架300之间能够形成转动配合关系，之后，在限位杆410的定位位置确定之后，可以通过旋转限位件440使限位件440伸入至限位杆410的限位槽411内，之后，可以将另一连接件安装至限位件440上，使限位件440与安装架300形成可靠的固定关系，且保证限位件440可以为限位杆410提供可靠的限位关系。
76.当然，在上述实施例中，限位杆410上限位槽411的具体位置需要根据所要定位的静电卡盘1的具体直径，以及吸盘430的型号尺寸等参数对应确定，以保证在限位杆410通过限位槽411与安装架300在弹性方向上形成限位配合关系之后，限位杆410和安装于弹性件420背离安装架300一端的吸盘430能够与静电卡盘1形成可靠的吸附固定关系。
77.另外，为了扩大拆装机构的适用范围，可以在限位杆410上设置多个限位槽411，且通过对多个限位槽411的具体位置进行设定，且使任一限位槽411分别对应一种具体类型的静电卡盘1，从而根据工艺需求，基于多种静电卡盘1的尺寸参数等在限位杆410的对应位置形成限位槽411，以在需要定位某一种静电卡盘1时，使限位件440能够选择性地与多个限位槽411中的任一者限位配合，用于在限位杆410的轴向上限位限位杆410和安装架300，且保证定位组件400能够使该静电卡盘1与安装架300形成稳定的定位关系。
78.如上所述，可以通过手动操作限位组件的方式，改变限位组件与安装架300在限位组件的延伸方向上的相对位置，以使吸盘430与静电卡盘1的侧壁相互吸合或相互分离。在本技术的另一实施例中，可选地，本技术实施例公开的定位组件还包括弹性件，弹性件和限位件440间隔设置于安装架300的两侧，也即，弹性件和限位件440中的一者设置于安装架300的内侧，另一者设置于安装架300的外侧。弹性件420具体可以为压缩弹簧，这使得弹性件420具有较强的伸缩效果和弹性作用力，弹性件420套设于限位杆410上，限位杆410可以为弹性件420提供沿前述升降方向的支撑作用，防止因弹性件420相对升降方向发生弯折而对吸盘430的吸附固定效果产生不利影响；另外，还可以为弹性件420配设弹性套筒，且使弹性件嵌设于弹性套筒内，弹性套筒可以为弹性件420提供防护作用。
79.在装配弹性件420的过程中，可以使弹性件420的一端固定设置于安装架300，以利用安装架300为弹性件420提供定位作用；并且，可以在限位杆410靠近静电卡盘1的安装空间的一端设置止挡凸缘，且使穿设于限位杆410上的弹性件420的一端连接于止挡凸缘，进而使限位杆410能够通过止挡凸缘与弹性件和弹性件420形成限位配合关系。
80.在本技术的上述实施例中，限位件440可以为限位杆410与安装架300之间的相对位置提供限制，基于此，在定位组件包括弹性件420的情况下，可以使弹性件420为吸盘430的分离提供驱动作用力，提升拆装机构的自动化程度，减少工作人员的劳动量。
81.详细地说，在本技术实施例中，当通过限位件440卡持于限位杆410的某一限位槽411内时，可以使弹性件420弹性连接于限位杆410的止挡凸缘和安装架300之间，基于此，当需要分离静电卡盘1和吸盘430时，则可以通过将限位件440与限位杆410分离，使限位杆410恢复沿前述延伸方向相对安装架300运动的能力，在这种情况下，弹性件420具有恢复自身形变的趋势，进而，弹性件420能够驱动止挡凸缘(即限位杆410)相对安装架300运动，以使吸盘430和静电卡盘1的侧壁分离。
82.具体地，在上述实施例中，当限位件440与限位杆410相互限位时，弹性件420所处的具体状态(包括被挤压和被拉伸)以及弹性件与止挡凸缘的连接关系均可以与吸盘430和限位杆410之间的具体连接关系确定。例如，在吸盘直接连接在限位杆410上的情况下，则弹性件420的一端需与止挡凸缘固定连接，且在限位件440与限位杆410相互限位的情况下，使弹性件420处于被拉伸的状态，在这种情况下，当限位件440与限位杆410相互分离之后，弹性件420可以向限位杆施加拉力，以使限位杆410远离静电卡盘1，同时，驱动吸盘430与静电卡盘1分离。
83.另外，考虑到部分型号的静电卡盘1的侧面设有孔，为此，在拆装这类静电卡盘1的过程中，还可以利用静电卡盘1的侧面的孔提升静电卡盘1与定位组件400之间的定位效果。可选地，定位组件400还包括固定柱480，固定柱480可拆卸地固定在限位杆410上，且在拆装上述类型的静电卡盘1的过程中，如图10所示，通过使固定柱480穿设于静电卡盘1的侧面的孔内，提升定位组件400与静电卡盘1之间的定位稳定性。当然，上述静电卡盘1的侧面的孔可能有多个，在此情况下，固定柱480的数量亦可以为多个，多个固定柱480分别固定于多个限位杆410上，二者之间可以通过螺纹形成可拆卸地固定连接关系。
84.如上所述，定位组件400包括吸盘430，且可以通过设置多个定位组件400，利用多个定位组件400各自的吸盘430环绕设置在静电卡盘1周围，为静电卡盘1提供定位作用。具体来说，为了保证静电卡盘1的被定位稳定性，定位组件400的数量至少为三个，且为了进一步提升静电卡盘1的被定位效果，定位组件400的数量可以为四个或更多。
85.在本技术的另一实施例中，为了减少定位组件400的设置数量，进而降低定位组件400中限位杆410的定位复杂程度，可选地，任一定位组件400均包括多个吸盘430，在这种情况下，可以在吸盘430的数量不变的情况下减少定位组件400的数量，进而减少限位杆410的数量，从而在静电卡盘1拆装过程中，可以降低限位杆410的定位复杂程度，提升本技术实施例公开的拆装机构的拆装效率。
86.当然，在一个定位组件400包括多个吸盘430的情况下，为了保证多个吸盘430不会积聚在弹性件背离安装架300的端部区域，在上述实施例公开的拆装机构中，任一定位组件400还均包括多个连杆，多个连杆与多个吸盘430一一对应，进而使多个吸盘430通过多个连杆安装于弹性件。同时，任一连杆均相对弹性方向倾斜设置，从而使多个连杆相对弹性件420分散开，提升多个吸盘430的分散程度，进而提升任一吸盘430的吸附性能，且通过使多个吸盘430较为分散，保证静电卡盘1的被吸附固定效果相对较高。
87.定位组件400中的连杆的数量可以为两个、三个或更多个，在连杆的数量相对较多，如超过三个的情况下，可以使多个连杆呈放射状分布，进而使一一对应安装于连杆上的多个吸盘430的分布情况较为分散。
88.当然，连杆的数量亦可以相对较少，以降低单个定位组件400的加工难度。为此，连杆的数量可以为两个。在布设两个连杆的过程中，沿升降方向，可以使一个连杆位于弹性件420的上方，且使另一连杆位于弹性件420的下方。
89.在本技术的另一实施例中，为了提升多个吸盘430所能够为静电卡盘1提供的定位效果，可以使多个吸盘430中的至少两个吸盘430沿围绕升降方向的方向间隔设置，也即，一个定位组件400的多个吸盘430中，至少两个吸盘430围绕静电卡盘1设置，进而在多个定位组件400一并工作的情况下，可以保证位于静电卡盘1周围的吸盘430的数量相对较多，且位
于静电卡盘1周围的吸盘430之间的相互作用效果更好，以进一步提升定位组件400的定位效果。
90.基于此，在设置多个连杆的位置的过程中，沿围绕升降方向的方向上，可以在弹性件420的一侧设置至少一个连杆，且在弹性件420的另一侧设置至少一个连杆，以保证同一定位组件400中的至少两个吸盘430能够沿围绕升降方向的方向分布。
91.在连接吸盘430和连杆的过程中，吸盘430与连杆之间可以形成固定连接关系，并且，可以根据连杆的具体长度以及吸盘430所在的位置，对应地确定吸盘430的朝向，且尽量使每一吸盘430的朝向均与安装架300的轴线相交且垂直，从而保证每一吸盘430的吸附作用效果均相对较高。在组装连杆、限位杆410、弹性件420和吸盘430的过程中，可以使吸盘430与连杆一一对应，且使连杆背离吸盘430的一端连接在弹性件420背离安装架300的一端，更具体地，可以使连杆连接在限位杆410的止挡凸缘上，在这种情况下，当限位件440与限位杆410分离之后，连杆能够在弹性件420的作用下自动远离静电卡盘1。
92.在上述实施例中，吸盘430与连杆之间可以形成固定连接关系，在本技术的另一实施例中，吸盘430与连杆转动连接，且吸盘430围绕升降方向转动，进而在拆装机构定位直径不同的静电卡盘1的过程中，可以通过使吸盘430产生转动的方式，从而无论所要定位的静电卡盘1的直径如何，均可以通过使吸盘430发生转动的方式，保证吸盘430的朝向均处于最佳朝向，保证定位组件400具有较好的定位效果。
93.进一步地，在对应尺寸的静电卡盘1被定位至拆装机构上之后，为了尽量防止吸盘430可能受振动等因素影响而转动，可选地，在本技术实施例公开的拆装机构中，一个吸盘430可以同时通过多个连杆被安装在限位杆410上，例如，一个吸盘430可以通过两个连杆被安装在限位杆410上，前述两个连杆可以分别为第一连杆451和第二连杆452。并且，任一定位组件400还均包括销轴460，第一连杆451和第二连杆452各自的一端均通过销轴460与吸盘430转动连接，从而保证吸盘430能够相对第一连杆451和第二连杆452转动；同时，第一连杆451的另一端通过销轴460转动连接于弹性件420的靠近安装架300的一端，第二连杆452的另一端通过销轴460与限位杆410的止挡凸缘转动连接。
94.也即，在本实施例公开的拆装机构中，弹性件420和第一连杆451之间，弹性件420与第二连杆452之间，第一连杆451与吸盘430之间，以及第二连杆452与吸盘430之间均通过具备相对转动的能力，各销轴460的延伸方向均平行于升降方向，同时，第一连杆451和第二连杆452分别位于弹性件420的相背两端，从而在弹性件420发生形变的过程中，保证弹性件420可以带动第一连杆451和第二连杆452运动，进而带动吸盘430运动。在采用这种技术方案的情况下，当限位件440与限位杆410限位配合时，可以使弹性件420处于被压缩状态，继而，在限位件440与限位杆410分离之后，由于第一连杆451连接在安装架300上，且第二连杆452连接在止挡凸缘上，进而在弹性件420通过止挡凸缘驱动限位杆410向靠近静电卡盘1所在的方向运动的过程中，即可使吸盘430相对静电卡盘1产生“张开”的效果，使吸盘430与静电卡盘1分离。另外，在本实施例中，弹性件420与止挡凸缘之间可以通过抵接的方式相互连接。
95.在上述实施例中，吸盘430的位置可以通过弹性件420的形变量对应控制，吸盘430的朝向可以根据所需定位的静电卡盘1的尺寸对应进行调节，之后，基于所需定位的静电卡盘1的尺寸选定与限位件440配合的限位槽411，从而使限位杆410与安装架300在弹性方向
上相对固定，进而锁定弹性件的长度，同时使第一连杆451和第二连杆452的位置保持固定，在第一连杆451和第二连杆452与弹性方向之间的夹角不同的情况下，第一连杆451和第二连杆452作用在吸盘430上的作用力的作用方向亦存在一定的夹角，在两种方向的作用力的共同作用下，使得吸盘430自主发生转动的概率大幅下降，从而可以提升吸盘430与静电卡盘1之间的吸附固定效果。
96.当然，在吸盘430通过第一连杆451和第二连杆452与弹性件420连接的情况下，亦可以根据所需定位的静电卡盘1的尺寸、第一连杆451和第二连杆452的长度等参数，对应确定限位杆410上的限位槽411的位置，保证限位件440在与限位槽411限位配合时，多个定位组件400各自的吸盘430均可以与静电卡盘1形成稳定的吸附固定关系。
97.更具体地，吸盘430上可以设有两个连接耳，两个连接耳之间具有容纳空间，第一连杆451和第二连杆452均可以被安置在前述容纳空间内，销轴460自一个连接耳背离另一连接耳的一侧穿入连接耳，且穿过第一连杆451、第二连杆452和另一连接耳。通过在销轴460相背两端均设置限位销，可以防止销轴460脱落。或者，销轴460的一端可以设有钉帽，在这种情况下，仅需在销轴460的另一端设置限位销即可。在本技术的另一实施例中，还可以利用螺栓471锁持销轴460，以使销轴460与连接耳形成相对固定关系，这亦可以防止销轴460脱落。
98.另外，由于吸盘430通过销轴460同时与第一连杆451和第二连杆452转动连接，为了保证第一连杆451和第二连杆452均能够相对销轴460转动，在销轴460的延伸方向上，需要使第一连杆451和第二连杆452之间具有一定的间距。但是，在利用吸盘430吸附固定静电卡盘1的过程中，为了防止第一连杆451和第二连杆452产生沿销轴460的延伸方向相对运动而对吸盘430的吸附固定效果产生不利影响，可选地，销轴460上套设有垫片490，以通过垫片490隔开第一连杆451和第二连杆452，在保证第一连杆451和第二连杆452均能够相对销轴460转动的同时，限制第一连杆451和第二连杆452在销轴460的延伸方向上的相对运动。
99.可选地，还可以在第一连杆451与连接耳之间，以及第二连接杆与连接耳之间亦设置垫片490，从而进一步实现定位第一连杆451和第二连杆452的目的，保证第一连杆451和第二连杆452均不会相对吸盘430沿销轴460的延伸方向运动，进一步提升吸盘430的吸附固定效果。
100.如上所述，在升降组件的性能相对较强的情况下，升降组件的数量可以为一个，安装架300和底座100通过升降组件相互连接，且利用升降组件驱动安装架300相对底座100运动。或者，为了提升安装架300的运动稳定性，升降组件的数量可以为多个；再或者，升降组件可以包括导向组件600。为此，在本实施例公开的拆装机构中，升降组件的数量可以为多个，多个升降组件能够同步驱动安装架300升降。
101.各升降组件均包括导轨610、滑块620和上述驱动器200，各导轨610均沿升降方向延伸，保证导轨610的导向方向为升降方向。在组装升降组件和底座100的过程中，各导轨610的一端均固定于底座100，具体地，导轨610可以通过金属等硬质材料形成，以保证导轨610具有较强的结构稳定性，进而为安装架300提供可靠的导向作用。在导轨610和底座100均通过金属材料形成的情况下，可以通过焊接的方式，将多个导轨610一一固定在底座100上的对应位置上。在本技术的另一实施例中，还可以在导轨610上设置贯穿孔，且利用螺钉将导轨610固定在底座100上，这亦可以保证导轨610与底座100能够形成可靠的固定连接关
系。
102.同时，通过使多个导轨610沿围绕升降方向的方向间隔分布，使得安装架300上任意位置的被导向效果均相对较好，更具体地，多个导轨610可以沿围绕升降方向的方向均匀分布。在组装导向组件600的过程中，可以使多个滑块620一一对应地滑动安装于多个导轨610，且使多个滑块620均与安装架300固定连接，从而使任一导向组件600均可以为安装架300提供稳定可靠的导向作用。
103.安装架300固定于滑块620的远离底座100的一侧，且滑块620与安装架300之间可以通过焊接等方式相互连接，在本技术的另一实施例中，可选地，任一滑块620上均固定有连接块630，连接块630可以通过螺钉等连接件与安装架300形成固定连接关系，以使各滑块620均固定于安装架300。
104.如上所述，安装架300可以在滑块620的导向作用下沿导轨610相对底座100运动，从而使安装架300沿升降方向向靠近或远离底座100的方向运动。在拆装机构的使用过程中，可以根据底座100和接口盘2的相对位置等参数，确定静电卡盘1能够被安装在接口盘2上时，安装架300所需移动的距离。
105.为了降低拆装机构的控制难度，可以在滑块620靠近底座100的一侧设置缓冲件720，从而在滑块620沿导轨610向靠近底座100的方向运动时，可以利用缓冲件720为滑块620和底座100之间的碰撞过程提供缓冲作用，减小对整个拆装机构产生的碰撞影响，提升拆装机构的可靠性。
106.为了进一步提升导向组件600提供的导向作用效果，可选地，安装架300上设有多个导向孔310，多个导轨610一一对应地穿设于多个导向孔310中，且导轨610与导向孔310在垂直于升降方向的方向上限位配合，这可以进一步提升导向组件600为安装架300提供的导向作用效果。具体地，导轨610可以为圆柱状结构件，对应地，导向孔310即可为圆孔，或者，导轨610的截面为矩形结构件，导向孔310即可为矩形孔。在本技术的另一实施例中，导轨610的截面为工字型结构件，对应地，导向孔310亦为工字型结构，这可以进一步提升导轨610和导向孔310之间的滑动配合关系的可靠性。
107.基于上述实施例，可选地，拆装机构还包括限位块710和上述缓冲件720，限位块710固定于导轨610背离底座100的一端，缓冲件720固定于滑块620背离导轨610的一侧，且在升降方向上，使安装架300位于限位块710和缓冲件720之间。在这种情况下，安装架300在向背离底座100的方向运动至导轨610的末端时会被限位块710所阻挡，相应地，限位块710亦可以为安装架300提供限位和缓冲作用，防止安装架300产生较强的震动；相似地，在安装架300向靠近底座100的方向运动至预设位置时，其可以通过缓冲件720与底座100相互接触，从而防止安装架300与底座100直接碰撞，提升安装架300的运动稳定性。
108.具体地，限位块710和缓冲件720均可以采用橡胶等弹性能力相对较强的材料形成，二者的厚度等尺寸可以根据实际需求确定，此处不作限定。限位块710和缓冲件720均可以通过粘接等方式完成安装，在本技术的另一实施例中，亦可以通过螺钉等连接将将限位块710固定在导轨610背离底座100的一端，且将缓冲件720固定在滑块620背离导轨610的一端，以提升二者的连接稳定性。
109.本技术上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘
述。
110.以上所述仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的权利要求范围之内。