外延片挤捏式移栽工具的制作方法

1.本实用新型属于晶片夹具技术领域，具体涉及一种外延片挤捏式移栽工具。


背景技术：

2.外延片是在衬底上做好外延层的硅片，因有些制造商只做外延之后的工艺生产，所以购买做好外延工艺的外延片来接着做后续工艺。在制作好外延片进行转移的时候，现有的通常是使用镊子夹取外延片，这种镊子有的时候不能很好的夹持外延片，外延片在夹持转移的过程中会发生晃动。如果在外延片发生晃动的过程中，大镊子的夹持力，在操作中会发生使一些外延片表层的表层划伤、衬底的表层产生凹坑或者外延片的表层受损等现象。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种外延片挤捏式移栽工具，以克服现有技术中存在的不足。
4.为实现前述目的，本实用新型实施例采用的技术方案包括：
5.本实用新型实施例提供了一种外延片挤捏式移栽工具，其特征在于，包括：
6.夹持机构，包括相对设置的两个活动夹臂，两个所述夹臂之间形成有外延片的夹持空间，每一夹臂内侧设置有柔性接触部，所述柔性接触部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与所述外延片的周缘部吻合；
7.驱动机构，包括驱动杆，所述驱动杆与旋转轴连接，并可绕所述旋转轴转动，且所述驱动杆还通过传动机构分别与两个所述夹臂传动配合，使两个所述夹臂能够随所述驱动杆的转动而相向移动或相背移动。
8.进一步地，所述传动机构包括齿轮传动机构、连杆传动机构或弹性传动机构。
9.进一步地，所述传动机构包括齿轮和齿条；所述齿条设置在所述夹臂上，并与齿轮啮合；所述齿轮套设在所述旋转轴上，并与所述驱动杆连接，且能与所述驱动杆同步转动。
10.进一步地，所述的外延片挤捏式移栽工具，还包括机架，所述旋转轴设置在所述机架上。
11.进一步地，所述驱动杆的一端部与旋转轴连接，并通过传动机构与所述夹臂传动配合，所述驱动杆的另一端部为握持部。
12.进一步地，所述的外延片挤捏式移栽工具，还包括盖板，所述盖板与机架连接，并配合形成封闭安装空间，所述传动机构设置在所述安装空间内。
13.进一步地，所述的外延片挤捏式移栽工具，还包括把手，所述把手与所述盖板连接，所述驱动杆的握持部与所述把手并列设置。
14.进一步地，所述驱动杆的握持部与所述把手之间设有弹性机构。
15.进一步地，所述把手与所述盖板一体成型设置。
16.进一步地，所述柔性接触部具有台阶结构，所述台阶结构具有第一台阶面和第二
台阶面，其中第一台阶面与所述外延片的一侧周缘部接触，第二台阶面与所述外延片的上表面接触。
17.更进一步地，所述柔性接触部为硅胶构件。
18.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
19.(1)本实用新型提供的一种外延片挤捏式移栽工具，通过柔性接触部具有弧形轮廓对外延片外延进行夹取，这样不会对外延片的上下表面造成损伤，而且在对侧周边进行夹持时，并通过驱动杆与传动机构配合，能够更好的用力操作，不用将工具从外延片的底面插入进行夹持。
20.(2)本实用新型提供的一种外延片挤捏式移栽工具，其中，驱动机构中的驱动杆通过齿轮齿条结构控制夹臂，齿条结构便于传输力，且容易控制；驱动杆控制齿轮结构与夹臂的齿条进行啮合，这样可以控制两侧夹臂的距离，实现对外延片的夹取和放下。
21.(3)本实用新型提供的一种外延片挤捏式移栽工具，其中，柔性接触部具有台阶结构，通过台阶结构的第二台阶面从上向下盖住外延片，并通过台阶结构的第一台阶面抵住外延片的周缘部，进而对外延片进行夹取，避免对外延片的上下表面造成损伤；此外，柔性接触部由硅胶材质制成，采用硅胶材质与外延片接触，防止刮伤，且采用硅胶材质与外延片接触防止相对滑动。
22.(4)本实用新型提供的一种外延片挤捏式移栽工具，把手和盖板为一体结构，安装在机架上面，对齿轮的内部进行保护，防止齿轮内部啮合处在长时间使用时会产生碎屑杂质、以及润滑油污污染外延片。
附图说明
23.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1是本技术一实施方式中外延片挤捏式移栽工具的结构示意图。
25.图2是本技术一实施方式中外延片挤捏式移栽工具的内部结构示意图。
26.图3是本技术一实施方式中外延片挤捏式移栽工具的爆炸示意图。
27.图4是图3中柔性接触部的放大结构示意图。
28.附图标记说明：1.机架，11.旋转轴，2.驱动杆，21.握持部，3.齿轮，4.夹臂，41.齿条，5.外延片，6.把手，7.柔性接触部，71.第一台阶面，72.第二台阶面，8.压缩弹簧，9.盖板。
具体实施方式
29.通过应连同所附图式一起阅读的以下具体实施方式将更完整地理解本实用新型。本文中揭示本实用新型的详细实施例；然而，应理解，所揭示的实施例仅具本实用新型的示范性，本实用新型可以各种形式来体现。因此，本文中所揭示的特定功能细节不应解释为具有限制性，而是仅解释为权利要求书的基础且解释为用于教示所属领域的技术人员在事实上任何适当详细实施例中以不同方式采用本实用新型的代表性基础。
30.实施例
31.本实施例提供了一种外延片挤捏式移栽工具，如图1、图2和图3所示，包括：
32.夹持机构，包括相对设置的两个活动夹臂4，两个夹臂4之间形成有外延片5的夹持空间，每一夹臂4内侧设置有柔性接触部7，柔性接触部7具有弧形轮廓，弧形轮廓与外延片5的周缘部吻合。
33.驱动机构，包括驱动杆2，驱动杆2与旋转轴11连接，并可绕旋转轴11转动，且驱动杆2还通过传动机构分别与两个夹臂4传动配合，使两个夹臂4能够随驱动杆2的转动而相向移动或相背移动。
34.传动机构可以包括齿轮传动机构、连杆传动机构或弹性传动机构，在本实施例中，传动机构包括齿轮3和齿条41，齿条41设置在夹臂4上，并与齿轮3啮合；齿轮3套设在旋转轴11上，并与驱动杆2连接，且能与驱动杆2同步转动。
35.本实施例在具体实施过程中，还包括机架1、盖板9和把手6，旋转轴11设置在机架1上，驱动杆2的一端部与旋转轴11连接，并通过传动机构与夹臂4传动配合，驱动杆2的另一端部为握持部21。
36.盖板9与机架1连接，并配合形成封闭安装空间，传动机构设置在安装空间内，本实施例中，则齿轮3和齿条41设置在安装空间内，把手6与盖板9连接，且驱动杆2的握持部21与把手6并列设置。
37.驱动杆2的握持部21与把手6之间设有弹性机构，在本实施例中，弹性机构为压缩弹簧8，压缩弹簧8设置于安装凹槽内并位于握持部21与把手6之间，在驱动杆2被外力作用驱使而向把手6靠近，并使两个夹臂4之间的距离增大，压缩弹簧8被压缩；而当外力被撤销时，压缩弹簧8提供的力驱使驱动杆2远离把手6，并使两个夹臂4之间的距离减小。
38.本实施例在具体实施时，把手6与盖板9一体成型设置，把手6和盖板9为一体结构，安装在机架1上面，对齿轮3的内部进行保护，防止齿轮3内部啮合处在长时间使用时会产生碎屑杂质、以及润滑油污污染外延片；此外，柔性接触部7具有台阶结构，如图4所示，台阶结构具有第一台阶面71和第二台阶面72，其中第一台阶面71与外延片5的一侧周缘部接触，第二台阶面72与外延片5的上表面接触；在本实施例中，柔性接触部7为硅胶构件，采用硅胶材质与外延片5接触，防止刮伤，且采用硅胶材质与外延片5接触防止相对滑动。
39.本实施例提供的一种外延片挤捏式移栽工具，通过柔性接触部7具有弧形轮廓对外延片5外延进行夹取，这样不会对外延片5的上下表面造成损伤，而且在对侧周边进行夹持时，并通过驱动杆2与传动机构配合，能够更好的用力操作，不用将工具从外延片5的底面插入进行夹持；本实施例中，驱动机构中的驱动杆2通过齿轮齿条结构控制夹臂，齿条结构便于传输力，且容易控制；驱动杆2控制齿轮结构与夹臂4的齿条41进行啮合，这样可以控制两侧夹臂4的距离，实现对外延片5的夹取和放下。
40.此外，本案实用新型人还参照前述实施例，以本说明书述及的其它原料、工艺操作、工艺条件进行了试验，并均获得了较为理想的结果。
41.尽管已参考说明性实施例描述了本实用新型，但所属领域的技术人员将理解，在不背离本实用新型的精神及范围的情况下可做出各种其它改变、省略及/或添加且可用实质等效物替代所述实施例的元件。另外，可在不背离本实用新型的范围的情况下做出许多修改以使特定情形或材料适应本实用新型的教示。因此，本文并不打算将本实用新型限制
于用于执行本实用新型的所揭示特定实施例，而是打算使本实用新型将包含归属于所附权利要求书的范围内的所有实施例。此外，除非具体陈述，否则术语第一、第二等的任何使用不表示任何次序或重要性，而是使用术语第一、第二等来区分一个元素与另一元素。