一种长灯丝离化机构的制作方法

1.本实用新型属于真空离子镀膜设备部件，特别涉及一种长灯丝离化机构。


背景技术：

2.离化机构是使中性原子或分子电离，使其离化并从中得到离子流的装置。灯丝离化机构因其结构简单成本低廉而得到广泛应用，但也有一点的缺点，就是灯丝离化机构一般都做成比较小的模块，一台真空设备需要安装多个才能覆盖整个真空室，需要配备多套电源，成本高昂。


技术实现要素：

3.本实用新型在于克服上述技术的不足，提供一种长灯丝离化机构。
4.本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：将灯丝设计成长灯丝，灯丝长度可根据真空室高度进行设置。
5.本实用新型的有益效果是：结构简单，一根灯丝可覆盖整个真空室，维护方便且可大幅降低成本。
附图说明
6.以下结合附图，以实施例具体说明。
7.图1是一种长灯丝离化机构的示意图。
8.图中：1-灯丝；2-阳极；3-阳极接线柱；4-灯丝接线柱；5-灯丝电源；6-阳极电源；7-陶瓷绝缘件，8-主体方法兰。
具体实施方式
9.实施例，参照附图，一种长灯丝离化机构，包括灯丝1,其特征在于灯丝接线柱4和阳极接线柱3固定在主体方法兰8上，通过陶瓷绝缘件7隔开，灯丝1两端接在灯丝接线柱4上，阳极2接在阳极接线柱 3上，灯丝电源5接在灯丝接线柱4上，阳极电源6分别接在其中一个阳极接线柱3和一个灯丝接线柱4上。
10.本实用新型的有益效果是：结构简单，一根灯丝可覆盖整个真空室，离化均匀，维护方便且可大幅降低成本。


技术特征：
1.一种长灯丝离化机构，包括灯丝（1）其特征在于灯丝接线柱（4）和阳极接线柱（3）固定在主体方法兰（8）上，通过陶瓷绝缘件（7）隔开，灯丝（1）两端接在灯丝接线柱（4）上，阳极（2）接在阳极接线柱（3）上，灯丝电源（5）接在灯丝接线柱（4）上，阳极电源（6）分别接在其中一个阳极接线柱（3）和一个灯丝接线柱(4)上。

技术总结
本实用新型属于一种长灯丝离化机构，包括灯丝1,其特征在于灯丝接线柱4和阳极接线柱3固定在主体方法兰8上，通过陶瓷绝缘件7隔开，灯丝1两端接在灯丝接线柱4上，阳极2接在阳极接线柱3上，灯丝电源5接在灯丝接线柱4上，阳极电源6分别接在其中一个阳极接线柱3和一个灯丝接线柱4上，本实用新型的有益效果是：结构简单，一根灯丝可覆盖整个真空室，离化均匀，维护方便且可大幅降低成本。方便且可大幅降低成本。方便且可大幅降低成本。


技术研发人员：白春阳 孙英斌 王俊波
受保护的技术使用者：大连金泰协力科技有限公司
技术研发日：2022.09.28
技术公布日：2023/1/13