一种微型芯片搬运模组的制作方法

1.本实用新型涉及芯片搬运模组的技术领域,特别涉及一种微型芯片搬运模组。


背景技术：

2.随着现代技术飞速发展，半导体行业开始不断取得重大技术突破，越来越多的半导体芯片、集成电路板进入了标准化、自动化、智能化的生产时代，越来越多的自动化设备代替了原有的生产模式。而其中，微小型尺寸（1mm以下）半导体元件的外形尺寸检测，便是整个芯片、集成电路板生产流程中的重要一环，现有微小产品自动化测试设备，结构较为冗杂，检测流程繁多，且精度难以保证。由于产品较小，现有设备上一般使用三轴移动机构进行移载，整体结构较大难以适用于微小尺寸的半导体元件移载，且工业相机或激光传感器检测物料吸附，只能检测产品是否掉落，无法检测吸嘴是否堵孔，无法及时反馈吸嘴取料时的吸附状态，整体运行效果并不理想。
3.公开号为cn112871738a的芯片自动摆盘机，其公开一种包括：工作台，工作台上设置有x轴滑动模组；x轴滑动模组的滑动部上设置有z轴升降模组，z轴升降模组的升降部上安装有用于芯片吸附的吸附取料爪；x轴滑动模组的下侧设置有y轴滑动模组，y轴滑动模组的滑动部上放置有芯片放置料盘；y轴滑动模组的侧端设置有用于废料推出的推料机构；工作台上还设置有用于芯片定向出料的送料振动盘及与送料振动盘的出料口连接设置的振动送料导轨，振动送料导轨的另一端穿过x轴滑动模组的下侧与推料机构相接，工作台的顶部设置有工业相机，该实用新型通过三轴机构带动吸附取料爪移动至产品上方，并通过该工业相机识别抓取产品，但该结构中三轴式设计占用空间位置较大，安装和放置不便，同时吸附产品过程中只有识别功能的工业相机无法对吸附状态有效的判断。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑使用方便，双工位工作效率高同时能检测吸附状态的一种微型芯片搬运模组。
5.本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括基座、y轴驱动装置、两组连接板、两组缓冲组件、上料吸附组件以及下料吸附组件，所述y轴驱动装置设置在所述基座上，两组所述连接板对应与所述y轴驱动装置的活动端相连接，两组所述连接板均与所述基座滑动连接，两组所述缓冲组件分别设置在所述连接板上，两组所述缓冲组件对应顶压缓冲配合，所述上料吸附组件和所述下料吸附组件分别设置在两组所述连接板上，所述基座的中部设有限位板，所述限位板对应与两组所述连接板顶压配合。
6.进一步，所述上料吸附组件包括上料驱动装置、上料凸轮、上料滑动板以及上料吸嘴，所述上料驱动装置设置在所述连接板上，所述上料滑动板与所述连接板滑动连接，所述上料凸轮与所述上料驱动装置的活动端相连接，所述上料凸轮连接有上料垫块，所述上料垫块与所述上料滑动板滚动配合，所述上料吸嘴设置在所述上料滑动板上。
7.进一步，所述上料滑动板上连接有上料弹性件，所述上料弹性件的另一端与所述
连接板相连接。
8.进一步，所述下料吸附组件包括下料驱动装置、下料凸轮、下料滑动板以及旋转吸嘴，所述下料驱动装置设置在所述连接板上，所述下料滑动板与所述，所述下料凸轮与所述下料驱动装置的活动端相连接，所述下料凸轮设有与所述下料滑动板相配合的下料垫块，所述旋转吸嘴设置在所述下料滑动板上。
9.进一步，所述下料滑动板上连接有下料弹性件，所述下料弹性件另一端与所述连接板相连接。
10.进一步，所述旋转吸嘴包括支撑架、旋转驱动装置、吸嘴件以及旋转传感器，所述支撑架与所述下料滑动板固定连接，所述旋转驱动装置设置在所述支撑架上，所述吸嘴件与所述支撑架转动连接并与所述旋转驱动装置的输出端相连接，所述旋转传感器设置在所述支撑架上，所述吸嘴件上设有与所述旋转传感器相适配的感应件。
11.进一步，所述缓冲组件包括缓冲固定座以及弹性顶推件，所述缓冲固定座设置在所述连接板上，所述弹性顶推件设置在所述缓冲固定座上。
12.进一步，所述限位板上设有两组弹性垫块，两组所述弹性垫块分别与两组所述连接板相配合。
13.本实用新型的有益效果是：由于本实用新型采用限位板和缓冲组件结构，使两组连接板在限定的区域中作往复运动，避免过度运动导致上料吸附组件和下料吸附组件错位的情况，上料吸附组件和下料吸附组件靠近时，缓冲组件相互顶压避免发生直接碰撞，安全性能好；连接板上设有光栅件，用于检测连接板与基座之间的距离，定位精准提高移载精度；上料吸附组件和下料吸附组件均使用凸轮旋转带动吸嘴作上下往复运动，结构简洁，安装快速高效，使用中动作范围小，减少场地空间使用，实现节省空间使整体结构紧凑；旋转连接在支撑架上的吸嘴件，下料过程可对产品进行一定角度的旋转调整，有效减少放置后人工再次进行操作的需要，降低人力成本，旋转传感器提高使旋转复位和旋转定位精准高效，提高下料效率。
附图说明
14.图1是本实用新型的结构示意图；
15.图2是本实用新型结构示意图的另一视角；
16.图3是本实用新型上料吸附组件的结构示意图；
17.图4是本实用新型下料吸附组件的结构示意图；
18.图5是图4中a部分的局部放大图；
19.图6是本实用新型上料凸轮和下料凸轮的结构示意图。
具体实施方式
20.如图1至图6所示，在本实施例中，本实用新型包括基座1、y轴驱动装置2、两组连接板3、两组缓冲组件4、上料吸附组件5以及下料吸附组件6，所述y轴驱动装置2设置在所述基座1上，两组所述连接板3对应与所述y轴驱动装置2的活动端相连接，两组所述连接板3均与所述基座1滑动连接，两组所述缓冲组件4分别设置在所述连接板3上，两组所述缓冲组件4对应顶压缓冲配合，所述上料吸附组件5和所述下料吸附组件6分别设置在两组所述连接板
3上，所述基座1的中部设有限位板7，所述限位板7对应与两组所述连接板3顶压配合，所述基座1为大理石材质的龙门结构，所述y轴驱动装置2为无铁芯式直线电机，两组所述连接板3靠近所述基座1的一侧分别固定连接有限位架，所述限位架的中部设有开孔用于释放冲撞力，所述基座1上设有至少两组滑轨，两组所述连接板3上设有与若干滑轨相配合的滑块，若干滑块均通过螺丝固定在所述连接板3上，两组所述连接板3上均设有光栅件，所述光栅件检测与所述基座1之间的距离检测精确度高，y轴驱动装置2带动连接板3沿y轴方向做往复运动，上料吸附组件5和下料吸附组件6与外部负压机构连接并对产品进行吸气位移，限位板7对两组连接板3进行截停限位，使两组连接板3分别在对应的区域中往复滑动，当两组连接板3相互靠近两组缓冲组件4相互顶推缓冲，避免两组连接板3之间发生刚性碰撞。采用设置在基座1中部的限位板7和缓冲组件4结构，使两组连接板3在限定的区域中作往复运动，避免过度运动导致上料吸附组件5和下料吸附组件6错位的情况，上料吸附组件5和下料吸附组件6靠近时，缓冲组件4相互顶压避免发生直接碰撞，安全性能好；连接板3上设有光栅件，用于检测连接板3与基座1之间的距离，定位精准提高移载精度。
21.在本实施例中，所述上料吸附组件5包括上料驱动装置51、上料凸轮52、上料滑动板53以及上料吸嘴54，所述上料驱动装置51设置在所述连接板3上，所述上料滑动板53与所述连接板3滑动连接，所述上料凸轮52与所述上料驱动装置51的活动端相连接，所述上料凸轮52连接有上料垫块55，所述上料垫块55与所述上料滑动板53滚动配合，所述上料吸嘴54设置在所述上料滑动板53上，所述上料驱动装置51为旋转电机，所述上料凸轮52为偏心轮结构，所述上料吸嘴54与外部负压机构连接并在上料吸嘴54下端产生负压吸附效果，所述上料吸嘴54设有高精度流量计用于判断产品吸附状态或堵孔的情况，所述上料吸嘴54设有上料滑块，所述上料滑动板53上设有与所述上料滑块相配合的上料滑轨，上料吸嘴54通过滑块滑轨结构实现缓冲吸附，避免与产品发生刚性碰撞造成产品损伤，上料垫块55为橡胶结构与上料滑动板53的腰型孔中滑动配合。采用上料凸轮52旋转带动上料吸嘴54作上下往复运动，结构简洁，安装快速高效，使用中动作范围小，减少场地空间使用，实现节省空间使整体结构紧凑。
22.在本实施例中，所述上料滑动板53上连接有上料弹性件56，所述上料弹性件56的另一端与所述连接板3相连接，所述上料弹性件56为弹簧，通过上料弹性件56对上料滑动件施加垂直向上的提拉力，使其自然状态下保持提升状态，避免由于操作失误导致产品破损的情况。
23.在本实施例中，所述下料吸附组件6包括下料驱动装置61、下料凸轮62、下料滑动板63以及旋转吸嘴64，所述下料驱动装置61设置在所述连接板3上，所述下料滑动板63与所述，所述下料凸轮62与所述下料驱动装置61的活动端相连接，所述下料凸轮62设有与所述下料滑动板63相配合的下料垫块，所述旋转吸嘴64设置在所述下料滑动板63上，所述下料驱动装置61为旋转电机，所述下料凸轮62为偏心轮结构。采用下料凸轮62旋转带动上料吸嘴54作上下往复运动，结构简洁，安装快速高效，使用中动作范围小，减少场地空间使用，实现节省空间使整体结构紧凑。
24.在本实施例中，所述下料滑动板63上连接有下料弹性件65，所述下料弹性件65另一端与所述连接板3相连接，所述下料弹性件65为弹簧，通过下料弹性件65对上料滑动件施加垂直向上的提拉力，使其自然状态下保持提升状态，避免由于操作失误导致产品破损的
情况。
25.在本实施例中，所述旋转吸嘴64包括支撑架641、旋转驱动装置642、吸嘴件643以及旋转传感器644，所述支撑架641与所述下料滑动板63固定连接，所述旋转驱动装置642设置在所述支撑架641上，所述吸嘴件643与所述支撑架641转动连接并与所述旋转驱动装置642的输出端相连接，所述旋转传感器644设置在所述支撑架641上，所述吸嘴件643上设有与所述旋转传感器644相适配的感应件，所述吸嘴件643与外部负压发生机构相连接，所述吸嘴件643一侧设有高精度流量计，对吸附过程气体流量进行检测，进而分析产品吸附状态以及吸嘴件643是否存在堵孔情况，旋转驱动装置642为旋转电机，旋转驱动装置642的输出端通过皮带带动吸嘴件643旋转。采用旋转连接在支撑架641上的吸嘴件643，下料过程可对产品进行一定角度的旋转调整，有效减少放置后人工再次进行操作的需要，降低人力成本，旋转传感器644提高使旋转复位和旋转定位精准高效，提高下料效率。
26.在本实施例中，所述缓冲组件4包括缓冲固定座41以及弹性顶推件42，所述缓冲固定座41设置在所述连接板3上，所述弹性顶推件42设置在所述缓冲固定座41上。
27.在本实施例中，所述限位板7上设有两组弹性垫块71，两组所述弹性垫块71分别与两组所述连接板3相配合，两组所述弹性垫块71为橡胶垫片。
28.本实用新型的工作原理：
29.上料驱动装置51旋转带动上料凸轮52下压，上料滑动板53带动上料吸嘴54靠近产品并将其吸附，吸附后y轴驱动装置2带动上料驱动组件移动至测试位置并将吸附的产品放下；
30.测试完成后y轴驱动装置2带动下料吸附组件6靠近测试位置处，下料驱动装置61旋转带动下料凸轮62下压，使旋转吸嘴64靠近产品并进行吸附，高精度流量计检测到吸附到产品后，控制下料驱动装置61旋转复位，下料弹性件65回弹使下料滑动板63提拉，带动产品上升，y轴驱动装置2带动连接板3使产品移出并移动到下料位置，旋转驱动装置642调整产品放置角度，配合下料吸附组件6使产品落位，完成单个产品吸附移载测试。
31.虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本实用新型含义的限制，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。