技术特征：
1.基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路(1)，其特征在于：所述管路(1)的上端固定连接有喷嘴第一段(2)，所述喷嘴第一段(2)的顶部固定连接有喷嘴第二段(3)，所述喷嘴第二段(3)的顶部开设有喷射孔(4)，所述喷嘴第一段(2)的外部套设有辅助调节筒(5)，所述辅助调节筒(5)内腔的两侧对称开设有调节导向槽(8)，所述喷嘴第一段(2)的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆(11)，所述导向杆(11)背向喷嘴第一段(2)的一侧开设有固定孔(12)，所述辅助调节筒(5)下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉(9)；所述辅助调节筒(5)的上端外侧固定连接有安装环(6)，所述安装环(6)的顶部设置有法兰固定盘(7)，所述法兰固定盘(7)的四周对称开设有螺纹孔(15)，所述法兰固定盘(7)底部的两端对称开设有插入孔(16)，两个所述插入孔(16)的内壁对称开设有卡槽(17)，所述安装环(6)顶部的两端对称固定连接有立柱(10)，两个所述立柱(10)的顶部对称固定连接有限位帽(13)，所述限位帽(13)的顶部设置有抵触块(14)。2.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述喷嘴第一段(2)的外侧与辅助调节筒(5)的内壁贴合且滑动连接，所述导向杆(11)滑动连接于调节导向槽(8)的内腔。3.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：每个所述导向杆(11)侧面的固定孔(12)的数量至少为二十个，并且固定孔(12)沿着导向杆(11)的长度方向均匀分布。4.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述螺钉(9)与调节导向槽(8)对应，螺钉(9)的直径小于固定孔(12)的内径，并且螺钉(9)与固定孔(12)插接配合。5.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述法兰固定盘(7)活动套设于辅助调节筒(5)的上端外部，所述抵触块(14)活动插设于限位帽(13)的顶部，并且抵触块(14)的底部与限位帽(13)的内部之间设置有弹性件，抵触块(14)与卡槽(17)的内壁抵触配合。6.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述卡槽(17)的截面呈“t”形，所述立柱(10)和限位帽(13)组成的整体与插入孔(16)插接后再与卡槽(17)卡接配合。
技术总结
本实用新型公开了基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路，所述管路的上端固定连接有喷嘴第一段，所述喷嘴第一段的顶部固定连接有喷嘴第二段，所述喷嘴第二段的顶部开设有喷射孔，所述喷嘴第一段的外部套设有辅助调节筒，所述辅助调节筒内腔的两侧对称开设有调节导向槽，所述喷嘴第一段的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆，所述导向杆背向喷嘴第一段的一侧开设有固定孔，所述辅助调节筒下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉。该基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，通过设置的辅助调节筒、调节导向槽、螺钉、导向杆、固定孔的相互配合可以方便喷嘴第一段在一定范围内进行高度的调节，进而满足不同的需求，增加了实用性。增加了实用性。增加了实用性。
技术研发人员：武斌 陈兆荣 蔡红
受保护的技术使用者：赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司
技术研发日：2022.10.18
技术公布日：2023/3/28