放电机构及沉积设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种放电机构及沉积设备。


背景技术：

2.半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如太阳能电池片，将片状材料送入反应腔室中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来给片状材料镀膜，因此需要用到pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学的气相沉积)加工设备。
3.放电装置作为pecvd加工设备的主要部分，通过绝缘杆在反应腔室内部对片状材料进行间隔、支撑，通过向放电装置的相对设置的放电极板加载电力进行电离以形成等离子体，等离子体参与反应后生成薄膜(如具备导电性的氮化硅)，薄膜附着于待镀膜的产品上。此时，如果薄膜附着于绝缘杆上，导致相对设置放电极板连通就会出现放电极板短接的现象，则可能会导致等离子体形成不良现象，例如薄膜在片状材料部分区域形成彩虹片、膜厚相差大等不良附着效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的第一个目的在于提出一种放电机构，该放电机构能够较好地避免相对设置的放电极板导通的现象发生，避免放电极板短路的现象发生，从而确保等离子稳定生产以确保产品镀膜效果。
5.本实用新型的第二个目的在于提出一种沉积设备，该沉积设备的工作可靠性较好，能够较好地避免放电机构出现放电极板短路的现象，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
6.为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：
7.本实用新型公开了一种放电机构，该放电机构包括：绝缘杆；放电极板，所述放电极板为至少两个，所述放电极板套设在所述绝缘杆上，且至少两个所述放电极板间隔设置；极板绝缘套，所述极板绝缘套套设在所述绝缘杆上，且位于相邻的两个所述放电极板之间，所述极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽；限位件，所述限位件成对设置，至少两个所述放电极板设在成对设置的两个所述限位件之间。
8.在一些实施例中，所述限位件包括插接在所述绝缘杆上的销钉或者套设在所述绝缘杆上的挡圈。
9.在一些实施例中，所述极板绝缘套包括：第一绝缘套筒，所述第一绝缘套筒套设在所述绝缘杆上；第二绝缘套筒，所述第二绝缘套筒与所述第一绝缘套筒螺纹配合，且所述第二绝缘套筒能够止抵在所述放电极板上。
10.在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒具有缺口，所述第一绝缘套筒能够从所述缺口插入所述第二绝缘套筒内。
11.在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒上设有锁定孔，所述第二绝缘套筒通过穿设在所述锁定孔内的锁紧件锁死在所述第一绝缘套筒上。
12.在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒上与所述第一绝缘套筒配合的一端设有环绕所述第一绝缘套筒设置的环形槽。
13.在一些实施例中，所述极板绝缘套包括套设在所述绝缘杆上的绝缘螺纹件，所述绝缘螺纹件的外周面具有外螺纹，所述外螺纹构成所述沉积槽。
14.本实用新型还公开了一种沉积设备，包括前文所述的放电机构。
15.本实用新型的放电机构的有益效果：在实际工作过程中，由于极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽，在放电机构实际工作过程中，沉积物会沉积到沉积槽的波谷(最低处)，避免了极板绝缘套上出现连续沉积镀膜导致两个放电极板导通的现象发生，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
16.本实用新型的沉积设备的有益效果：由于具有前文所述的放电机构，该沉积设备的工作可靠性较好，能够较好地避免放电机构出现放电极板短路的现象，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.图1是本实用新型实施例的放电机构的剖面结构示意图；
19.图2是本实用新型实施例的第一种极板绝缘套的结构示意图；
20.图3是本实用新型实施例的第二种极板绝缘套的分解结构示意图；
21.图4是图3所示的极板绝缘套的第二种第二绝缘套筒的结构示意图；
22.图5是图3所示的极板绝缘套的第三种第二绝缘套筒的结构示意图；
23.图6是图3所示的极板绝缘套的第四种第二绝缘套筒的结构示意图；
24.图7是本实用新型实施例的第三种极板绝缘套的分解结构示意图；
25.图8是图7所示的极板绝缘套的第二种第二绝缘套筒的结构示意图；
26.图9是图7所示的极板绝缘套的第三种第二绝缘套筒的结构示意图；
27.图10是图7所示的极板绝缘套的第四种第二绝缘套筒的结构示意图；
28.图11是本实用新型实施例的第四种极板绝缘套的分解结构示意图；
29.图12是本实用新型实施例的第五种极板绝缘套的分解结构示意图；
30.图13是本实用新型实施例的第六种极板绝缘套的分解结构示意图。
31.附图标记：
32.1、绝缘杆；
33.2、放电极板；
34.3、极板绝缘套；301、沉积槽；31、绝缘螺纹件；32、第一绝缘套筒；33、第二绝缘套筒；331、缺口；332、锁定孔；333、环形槽。
具体实施方式
35.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
36.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
37.此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
38.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
39.下面参考图1-图13描述本实用新型实施例的放电机构的具体结构。
40.本实用新型公开了一种放电机构，如图1所示，本实施例的放电机构包括绝缘杆1、放电极板2、极板绝缘套3和限位件(图未示出)，放电极板2为至少两个，放电极板2套设在绝缘杆1上，且至少两个放电极板2间隔设置，极板绝缘套3套设在绝缘杆1上，且极板绝缘套3的两端分别止抵在相邻的两个放电极板2上，极板绝缘套3的外周壁上设有沉积槽301。可以理解的是，在实际工作过程中，由于极板绝缘套3的外周壁上设有沉积槽301，在放电机构实际工作过程中，沉积物会沉积到沉积槽301的波谷(最低处)，避免了极板绝缘套3上出现连续沉积镀膜导致两个放电极板2导通的现象发生，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。限位件能够确保组装完成后的多个放电极板2以及极板绝缘套3不会沿绝缘杆1的轴向发生窜动，确保放电机构的使用可靠性。
41.在一些实施例中，限位件包括插接在绝缘杆1上的销钉或者套设在绝缘杆1上的挡圈。由此，在确保限位件对放电极板2的稳定限位的同时还能够方便限位件的安装和拆卸。
42.在一些实施例中，如图1、图3、图7、图11-图13所示，极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上，第二绝缘套筒33套设在第一绝缘套筒32上，且第二绝缘套筒33能够止抵在放电极板2上。第一绝缘套筒32和/或第二绝缘套筒33的外侧壁设有沉积槽301。
43.首先需要说明的是，在有的实施例中，如图3及图12所示，仅第一绝缘套筒32的外侧壁设有沉积槽301；在有的实施例中，如图7所示，仅第二绝缘套筒33的外侧壁设有沉积槽301；在有的实施例中，如图11及图13所示，第一绝缘套筒32的外侧壁以及第二绝缘套筒33的外侧壁均设有沉积槽301。
44.可以理解的是，如果选用一个绝缘螺纹件31作为极板绝缘套3，那么在绝缘螺纹件31安装完毕之后，两个放电极板2之间的间距就不能够再调整，从而降低了放电机构的兼容性。而在本实施例中，极板绝缘套3包括套设的第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，在实际安装完成后，第二绝缘套筒33的一端止抵在放电极板2上，另一端与第一绝缘套筒32的一端
配合，第一绝缘套筒32的另一端止抵在放电极板2上，这样如果需要调整两个放电极板2之间的间距时，只需要调节第二绝缘套筒33使得第二绝缘套筒33相对第一绝缘套筒32的位置发生变化，不仅操作方便，还能够根据实际需要调整两个放电极板2之间的间距，提升放电机构的兼容性。
45.在一些具体的实施例中，如图5-图6及图9-图10所示，第二绝缘套筒33具有缺口331，第一绝缘套筒32能够从缺口331插入第二绝缘套筒33内。可以理解的是，在第二绝缘套筒33上增设一个缺口331，一方面，第二绝缘套筒33可以沿绝缘杆1的径向安装，无需在绝缘杆1的轴向进行拆装，便于安装和更换；另一方面，清洗时，可通过第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33相互摩擦清以清除附着的薄膜，薄膜脱落后从缺口331排出，无需拆卸即可清洗，便于清洗。此外，第二绝缘套筒33还能够较好地保护第一绝缘套筒32，延长第一绝缘套筒32的使用寿命。在本实施例中，缺口331的形状可以根据实际需要选择，在此不对缺口331的形状做出限定。
46.在一些具体的实施例中，如图12-图13所示，第二绝缘套筒33与第一绝缘套筒32螺纹配合。由此，在实际调过程中只需要转动第二绝缘套筒33即可，调节非常方便。
47.在一些具体的实施例中，如图3、图7以及图11所示，第二绝缘套筒33上设有锁定孔332，第二绝缘套筒33通过穿设在锁定孔332内的锁紧件锁死在第一绝缘套筒32上。可以理解的是，在调整完成第二绝缘套筒33和第一绝缘套筒32的相对位置后可以采用锁紧件穿过锁定孔332将第二绝缘套筒33和第一绝缘套筒32锁死，避免在实际工作过程中，第二绝缘套筒33相对第一绝缘套筒32运动导致两个放电极板2之间的间距发生变化的现象发生，确保了放电机构的工作可靠性。
48.在一些具体的实施例中，如图4、图6、图8及图10所示，第二绝缘套筒33的一端止抵在放电极板2上，另一端与第一绝缘套筒32配合，第二绝缘套筒33上与第一绝缘套筒32配合的一端设有环绕第一绝缘套筒32设置的环形槽333。可以理解的是，增设的环形槽333能够避免在第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33的端面上沉积过多的沉积物，从而避免两个放电极板2之间导通的现象发生。
49.在一些具体的实施例中，如图7、图11及图13所示，第二绝缘套筒33的外周面设有沉积槽301。可以理解的是，在放电机构实际工作过程中，沉积物会沉积到沉积槽301的波谷(最低处)，避免了极板绝缘套3上出现连续沉积镀膜导致两个放电极板2导通的现象发生，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
50.在一些实施例中，如图1-图2所示，极板绝缘套3包括套设在绝缘杆1上的绝缘螺纹件31，绝缘螺纹件31的外周面具有外螺纹，外螺纹构成沉积槽301。可以理解的是，绝缘螺纹件31可以直接采用绝缘螺母，使得绝缘螺纹件31可以直接外购，降低了放电机构的制造成本。
51.可选的，外螺纹的波峰斜面垂直于外螺纹的波谷底面。由此，能够使得外螺纹的螺纹槽内能够沉积更厚的膜层，从而延长绝缘螺纹件31的清洁或者更换周期，提升用户使用满意度。
52.在一些更具体的实施例中，沉积槽301的波峰斜面垂直于沉积槽301的波谷底面。由此，能够使得沉积槽301的螺纹槽内能够沉积更厚的膜层，从而延长绝缘螺纹件31的清洁或者更换周期，提升用户使用满意度。
53.实施例：
54.如图1所示，本实施例的放电机构包括绝缘杆1、八个放电极板2和六个极板绝缘套3，极板绝缘套3套设在绝缘杆1上，且极板绝缘套3的两端分别止抵在相邻的两个放电极板2上。本实施例的六个极板绝缘套3的结构如下：
55.第一种：沿绝缘杆1的轴向方向，第一个极板绝缘套3包括套设在绝缘杆1上的绝缘螺纹件31，绝缘螺纹件31的外周面具有外螺纹，外螺纹构成沉积槽301。
56.第二种：如图1及图3所示，沿绝缘杆1的轴向方向，第二个极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上，且第一绝缘套筒32的外侧具有沉积槽301。第二绝缘套筒33套设在第一绝缘套筒32上，且第二绝缘套筒33能够止抵在放电极板2上，第二绝缘套筒33上设有锁定孔332，第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33能够通过穿设在锁定孔332上的锁紧件锁紧。进一步地，该极板绝缘套3的第二绝缘套筒33又形成为其他三种结构，如图4所示，第二绝缘套筒33上设置环形槽333，环形槽333设在第二绝缘套筒33上与第一绝缘套筒32配合的一端并环绕第一绝缘套筒32设置；如图5所示，第二绝缘套筒33、具有缺口331，第二绝缘套筒33通过缺口331插入绝缘杆1中，并且套设在第一绝缘套筒32上；如图6所示，第二绝缘套筒33上同时具有环形槽333和缺口331。
57.第三种：如图1及图7所示，沿绝缘杆1的轴向方向，第三个极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上。第二绝缘套筒33套设在第一绝缘套筒32上，且第二绝缘套筒33能够止抵在放电极板2上，第二绝缘套筒33上设有锁定孔332，第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33能够通过穿设在锁定孔332上的锁紧件锁紧。且第二绝缘套筒33的外侧具有沉积槽301。进一步地，该极板绝缘套3的第二绝缘套筒33又可以形成为其他三种结构。如图8所示，第二绝缘套筒33上设置环形槽333，环形槽333设在第二绝缘套筒33上与第一绝缘套筒32配合的一端并环绕第一绝缘套筒32设置；如图9所示，第二绝缘套筒33、具有缺口331，第二绝缘套筒33通过缺口331插入绝缘杆1中，并且套设在第一绝缘套筒32上；如图10所示，第二绝缘套筒33上同时具有环形槽333和缺口331。
58.第四种：如图1及图11所示，沿绝缘杆1的轴向方向，第四个极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上。第二绝缘套筒33套设在第一绝缘套筒32上，且第二绝缘套筒33能够止抵在放电极板2上，第二绝缘套筒33上设有锁定孔332，第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33能够通过穿设在锁定孔332上的锁紧件锁紧。且第一绝缘套筒32以及第二绝缘套筒33的外侧均具有沉积槽301。进一步的，本实施例的极板绝缘套3的第二绝缘套筒33又可以形成为其他三种结构，这三种结构与图8-图10所示的结构相同，在此不再赘述。
59.第五种：如图12所示，沿绝缘杆1的轴向方向，第五个极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上。第二绝缘套筒33与第一绝缘套筒32螺纹连接，第一绝缘套筒32的螺纹构成沉积槽301。具体来说，该极板绝缘套3的第二绝缘套筒33还具有其他七种结构，具体如下：第一：第二绝缘套筒33上还设有环形槽333，环形槽333设在第二绝缘套筒33上与第一绝缘套筒32配合的一端并环绕第一绝缘套筒32设置；第二：第二绝缘套筒33上设置锁定孔332，第二绝缘套筒33通过穿设在锁定孔332内的锁紧件锁死在第一绝缘套筒32；第三：第二绝缘套筒33上设有缺口331，第二绝缘套筒33通过缺口331插入绝缘杆1中，并且套设在第一绝缘套筒32上；第四：第二绝缘套筒33上设置环形槽
333和锁定孔332；第五：第二绝缘套筒33上设置环形槽333和缺口331；第六：第二绝缘套筒33上设有锁定孔332和缺口331；第七：第二绝缘套筒33上设置环形槽333、缺口331和锁定孔332。
60.第六种：如图13所示，沿绝缘杆1的轴向方向，第六个极板绝缘套3包括第一绝缘套筒32和第二绝缘套筒33，第一绝缘套筒32套设在绝缘杆1上。第二绝缘套筒33与第一绝缘套筒32螺纹连接，第一绝缘套筒32的螺纹构成沉积槽301，且第二绝缘套筒33的外侧壁上设有沉积槽301；具体来说，该极板绝缘套3的第二绝缘套筒33还具有其他七种结构，具体如下：第一：第二绝缘套筒33上还设有环形槽333，环形槽333设在第二绝缘套筒33上与第一绝缘套筒32配合的一端并环绕第一绝缘套筒32设置；第二：第二绝缘套筒33上设置锁定孔332，第二绝缘套筒33通过穿设在锁定孔332内的锁紧件锁死在第一绝缘套筒32；第三：第二绝缘套筒33上设有缺口331，第二绝缘套筒33通过缺口331插入绝缘杆1中，并且套设在第一绝缘套筒32上；第四：第二绝缘套筒33上设置环形槽333和锁定孔332；第五：第二绝缘套筒33上设置环形槽333和缺口331；第六：第二绝缘套筒33上设有锁定孔332和缺口331；第七：第二绝缘套筒33上设置环形槽333、缺口331和锁定孔332。
61.本实用新型还公开了一种沉积设备，包括前文所述的放电机构。
62.本实用新型的沉积设备，由于具有前文所述的放电机构，该沉积设备的工作可靠性较好，能够较好地避免放电机构出现放电极板2短路的现象，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
63.在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
64.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。