一种晶圆用钢环支撑料架装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置。


背景技术：

2.在现有技术中在对晶圆进行自动贴膜撕膜的加工设备中，都需要有供应钢环的支撑装置。现有技术中，例如公开号为cn107452660a，专利名称为晶圆载具及其制作方法的专利，目前这种技术在使用过程中不能进行8寸和12寸晶圆的自由切换，在对钢环是否有重叠方面，也没有检测，同时钢环的收放也不方便。
3.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆用钢环支撑料架装置，使其更具有产业上的利用价值。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆用钢环支撑料架装置。
5.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
6.一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着x轴方向移动；
7.钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构，钢环料架限位机构从外到内依次包括外钢环料架限位架和内钢环料架限位架，外钢环料架限位架和内钢环料架限位架依次从外到内安装在第一活动底板上，第一活动底板安装在导向卡槽内，外钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有外钢环垫板，内钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有内钢环垫板；
8.其中一个外钢环料架限位架或内钢环料架限位架两侧的钢环料架滑板上分别设置有第一钢环限位架和第二钢环限位架，第一钢环限位架的底部通过支撑底板安装在钢环料架滑板上，第二钢环限位架的底部通过第二活动底板安装在钢环料架滑板上开设的斜槽内。
9.作为本实用新型的进一步改进，钢环料架基板上沿着y轴方向的两侧均设置有滑轨，滑轨沿着x轴方向设置且通过滑轨支撑架固定安装在钢环料架基板上，钢环料架滑板底部沿着y轴方向的两侧分别通过滑轨导架与滑轨相连接。
10.作为本实用新型的进一步改进，钢环料架基板上沿着x轴负方向的一侧设置有用于对钢环料架滑板限位处理的滑板限位挡板，钢环料架基板上沿着x轴正方向的一侧设置有两联放大器，钢环料架滑板上沿着x轴负方向的一侧设置有把手；钢环料架基板上沿着x轴负方向的一侧还设置有旋钮柱塞，钢环料架滑板上沿着x轴负方向的一侧还设置有与旋钮柱塞相适配的柱塞限位块。
11.作为本实用新型的进一步改进，第一活动底板的外侧和内侧均设置有第一靠板，导向卡槽内设置有导向槽口，第一活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第一导向
块与导向槽口相连接。
12.作为本实用新型的进一步改进，第二活动底板的外侧和内侧均设置有第二靠板，斜槽内设置有斜槽口，第二活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第二导向块与斜槽口相连接，第二活动底板上还设置有调节旋钮，调节旋钮穿过第二活动底板后与位于钢环料架滑板底部的旋钮螺母相连接。
13.作为本实用新型的进一步改进，钢环料架基板上靠近x轴正方向的一侧设置有两个传感器立架，两个传感器立架分别位于钢环料架基板上沿着y轴方向的两侧，传感器立架上沿着z轴方向安装有若干个第一传感器。
14.作为本实用新型的进一步改进，钢环料架滑板下方的钢环料架基板上设置有传感器支架，传感器支架上设置有两个第二传感器，两个第二传感器正上方的钢环料架滑板上分别开设有通孔，两个通孔分别位于外钢环和内钢环的正下方。
15.作为本实用新型的进一步改进，沿着x轴负方向一侧的外钢环料架限位架上还设置有第三传感器。
16.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
17.1、本实用新型通过第一钢环限位架和第二钢环限位架的结构设置，具有钢环放置的防呆功能；
18.2、本实用新型可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换；
19.3、本实用新型钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着x轴方向移动，放置钢环简单便捷；
20.4、本实用新型带有钢环检测功能，能够检测钢环是否充足；
21.5、本实用新型带有钢环厚度检测功能，能够防止叠环。
22.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
24.图1是本实用新型一种晶圆用钢环支撑料架装置的结构示意图；
25.图2是图1另一侧的结构示意图；
26.图3是图1或图2中钢环料架滑板的结构示意图；
27.图4是图1中钢环料架滑板上部分去除第一钢环限位架、第二钢环限位架后的结构示意图；
28.图5是图4中钢环料架滑板底部的结构示意图；
29.图6是图1中钢环料架滑板上部分中第一钢环限位架、第二钢环限位架后的结构示意图；
30.图7是图6中钢环料架滑板底部的结构示意图。
31.其中，图中各附图标记的含义如下。
32.1 钢环料架基板
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2 钢环料架滑板
33.3 滑板限位挡板
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4 滑轨支撑架
34.5 滑轨
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6 滑轨导架
35.7 把手
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8 旋钮柱塞
36.9 柱塞限位块
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10 外钢环料架限位架
37.11 内钢环料架限位架
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12 第一钢环限位架
38.13 第二钢环限位架
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14 传感器立杆
39.15 外钢环
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16 内钢环
40.17 第一传感器
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18 两联放大器
41.19 第二传感器
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20 传感器支架
42.21 第三传感器
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22 导向卡槽
43.23 导向槽口
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24 斜槽
44.25 斜槽口
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26 第一活动底板
45.27 外钢环垫板
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28 内钢环垫板
46.29 第一靠板
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30 第一导向块
47.31 支撑底板
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32 第二活动底板
48.33 第二靠板
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34 调节旋钮
49.35 第二导向块
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36 旋钮螺母
具体实施方式
50.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
51.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
52.实施例
53.如图1～图7所示，
54.一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板1和钢环料架滑板2，钢环料架滑板2可相对于钢环料架基板1沿着x轴方向移动。钢环料架基板1上沿着y轴方向的两侧均设置有滑轨5，滑轨5沿着x轴方向设置且通过滑轨支撑架4固定安装在钢环料架基板1上，钢环料架滑板2底部沿着y轴方向的两侧分别通过滑轨导架6与滑轨5相连接。钢环料架基板1上沿着x轴负方向的一侧设置有用于对钢环料架滑板2限位处理的滑板限位挡板3，钢环料架基板1上沿着x轴正方向的一侧设置有两联放大器18，钢环料架滑板2上沿着x轴负方向的一侧设置有把手7；钢环料架基板1上沿着x轴负方向的一侧还设置有旋钮柱塞
8，钢环料架滑板2上沿着x轴负方向的一侧还设置有与旋钮柱塞8相适配的柱塞限位块9。在实际的使用过程中，可以先旋开旋钮柱塞8，然后拉开把手7，根据需要放置8寸或者12寸的钢环(即图中内钢环16或外钢环15)。
55.钢环料架滑板2上的中间位置的四周均设置有导向卡槽22，导向卡槽22内安装有钢环料架限位机构，钢环料架限位机构从外到内依次包括外钢环料架限位架10和内钢环料架限位架11，外钢环料架限位架10和内钢环料架限位架11依次从外到内安装在第一活动底板26上，第一活动底板26安装在导向卡槽22内，外钢环料架限位架10靠近内侧的第一活动底板26上设置有外钢环垫板27，内钢环料架限位架11靠近内侧的第一活动底板26上设置有内钢环垫板28。第一活动底板26的外侧和内侧均设置有第一靠板29，导向卡槽22内设置有导向槽口23，第一活动底板26的底部通过位于钢环料架滑板2底部的第一导向块30与导向槽口23相连接。第一靠板29用来对第一活动底板26进行限位，在12寸或8寸钢环调节后进行限位。
56.其中一个外钢环料架限位架10或内钢环料架限位架11两侧的钢环料架滑板2上分别设置有第一钢环限位架12和第二钢环限位架13，第一钢环限位架12的底部通过支撑底板31安装在钢环料架滑板2上，第二钢环限位架13的底部通过第二活动底板32安装在钢环料架滑板2上开设的斜槽24内。第二活动底板32的外侧和内侧均设置有第二靠板33，斜槽24内设置有斜槽口25，第二活动底板32的底部通过位于钢环料架滑板2底部的第二导向块35与斜槽口25相连接，第二活动底板32上还设置有调节旋钮34，调节旋钮34穿过第二活动底板32后与位于钢环料架滑板2底部的旋钮螺母36相连接。第二靠板33用来对第二活动底板32进行限位，在12寸或8寸钢环调节后进行限位。
57.其中，第一钢环限位架12上内侧的接触面对应12寸或者8寸钢环的大缺口，第二钢环限位架13对应12寸或者8寸钢环的小缺口，如果钢环放颠倒后，是不能放置进去的，可以有效达到防呆效果，在12寸钢环的四周安装有钢环料架限位机构能够对钢环进行限位。
58.本实用新型的传感器单元：
59.钢环料架基板1上靠近x轴正方向的一侧设置有两个传感器立架14，两个传感器立架14分别位于钢环料架基板1上沿着y轴方向的两侧，传感器立架14上沿着z轴方向安装有若干个第一传感器17，第一传感器17能够感应钢环是否充足，当钢环不足时，进行报警。
60.钢环料架滑板2下方的钢环料架基板1上设置有传感器支架20，传感器支架20上设置有两个第二传感器21，两个第二传感器21正上方的钢环料架滑板2上分别开设有通孔，两个通孔分别位于外钢环15和内钢环16的正下方。第二传感器21能对是否放置钢环进行报警，保证设备上始终有钢环。
61.沿着x轴负方向一侧的外钢环料架限位架10上还设置有第三传感器19。
62.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另
有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
63.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
64.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。