转台调节机构及检测装置的制作方法

本申请涉及半导体测试设备，具体而言，涉及转台调节机构及具有该转台调节机构的检测装置。

背景技术：

1、在半导体器件的制造过程中，会使用探针台设备对晶圆的电性功能进行测试，探针台设备中探针与晶圆的对位准确度会影响晶圆的检测结果，因此，通常利用转台调节机构带动晶圆转台转动以使晶圆上的测试位置与探针对应。然而，现有的转台调节机构容易出现转动不稳定的情况，导致晶圆的测试位置与探针出现偏差，影响测试结果。如何提高转台运动稳定性成为急需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请提供转台调节机构及具有该转台调节机构的检测装置，以解决上述技术问题。

2、一种转台调节机构，用于驱动晶圆转台转动，包括：

3、转动组件，包括底座和旋转板，所述旋转板可转动地设于所述底座上，用于带动所述晶圆转台转动；

4、直线驱动组件，位于所述转动组件的一侧，包括驱动件、丝杆和移动块，所述驱动件连接于所述丝杆的一端，用于驱动所述丝杆转动，所述移动块套设于所述丝杆并与所述丝杆螺纹连接；

5、连接组件，包括导轨、导轨连接板、转轴和旋转连接块，所述导轨固定设于所述移动块上，且所述导轨的延伸方向与所述丝杆的轴线垂直，所述导轨连接板移动连接所述导轨，所述转轴固定设于所述导轨连接板上，所述旋转连接块的一端套设于所述转轴上，所述旋转连接块的另一端固定连接所述旋转板。

6、在一种可能的实施方式中：所述转台调节机构还包括第一检测组件，所述第一检测组件设置于所述直线驱动组件背离所述转动组件的一侧，用于检测和限制所述移动块的移动距离。

7、在一种可能的实施方式中：所述第一检测组件包括多个传感器和对应所述传感器设置的检测片，多个所述传感器间隔设置，所述检测片的一端固定连接所述移动块，所述移动块沿所述丝杆移动时，所述检测片远离所述移动块的一端于多个所述传感器之间移动。

8、在一种可能的实施方式中：所述转台调节机构还包括第二检测组件，所述第二检测组件设置于所述转动组件上，用于检测所述旋转板的实际转动角度。

9、在一种可能的实施方式中：所述第二检测组件包括光栅尺和光栅读数头，所述光栅尺设置于所述旋转板的侧边，所述光栅读数头安装于所述底座上，并与所述光栅尺对应设置，所述光栅读数头用于读取光栅尺的数值和判断所述旋转板的转动角度。

10、在一种可能的实施方式中：所述光栅读数头与所述驱动件通信连接。

11、在一种可能的实施方式中：所述导轨设置于所述移动块的顶端，所述导轨连接板朝向所述移动块的一侧开设导向槽，所述导轨部分设于所述导向槽内，所述导向槽的内侧壁与所述导轨滑动配合。

12、在一种可能的实施方式中：所述转轴可拆卸地设置于所述导轨连接板背离所述移动块的一侧，所述转轴上还设置有轴承，所述轴承安装于所述旋转连接块与所述转轴之间。

13、在一种可能的实施方式中：所述导轨与所述移动块为一体成型结构。

14、本申请的实施例还提供一种检测装置，其包括中控单元、图像检测组件、探针机构和上述实施例所述的转台调节机构，所述中控单元通信连接所述图像检测组件、所述探针机构和所述转台调节机构。

15、本申请的转台调节机构通过相互垂直设置的丝杆、导轨等结构，将直线运动转换为稳定的曲线运动，并利用旋转连接块连接转轴与旋转板，使旋转板与转轴同步运动，有效保证转动精度，提高转动稳定性。

技术特征：

1.一种转台调节机构，用于驱动晶圆转台转动，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的转台调节机构，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的转台调节机构，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的转台调节机构，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的转台调节机构，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的转台调节机构，其特征在于：

7.根据权利要求1所述的转台调节机构，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的转台调节机构，其特征在于：

9.根据权利要求7所述的转台调节机构，其特征在于：

10.一种检测装置，其特征在于，包括中控单元、图像检测组件、探针机构和权利要求1-9任一项所述的转台调节机构，所述中控单元通信连接所述图像检测组件、所述探针机构和所述转台调节机构。

技术总结
本申请提供转台调节机构及具有该转台调节机构的检测装置。其中，转台调节机构包括：转动组件，包括底座和旋转板，旋转板可转动地设于底座上，用于带动晶圆转台转动；直线驱动组件，位于转动组件的一侧，包括驱动件、丝杆和移动块，驱动件连接于丝杆的一端，移动块套设于丝杆并与丝杆螺纹连接；连接组件，包括导轨、导轨连接板、转轴和旋转连接块，导轨固定设于移动块上，且导轨的延伸方向与丝杆的轴线垂直，导轨连接板移动连接导轨，转轴固定设于导轨连接板上，旋转连接块的一端套设于转轴上，另一端固定连接所述旋转板，使旋转板与转轴同步运动，有效保证转动精度，提高转动稳定性。

技术研发人员：韩宁宁,谢永钦,蒋长洪,胡凯,王卫武
受保护的技术使用者：深圳市深科达智能装备股份有限公司
技术研发日：20221118
技术公布日：2024/1/12