固体成像元件的制作方法

本发明涉及固体成像元件，更详细而言，涉及安装有彩色滤光片和微透镜阵列的晶载式的固体成像元件。本申请要求基于2021年7月21日在日本提出的特愿2021-120749号的优先权，并将其内容援引在本文中。

背景技术：

1、单板式的固体成像元件正在普及，其通过在入射到光电转换元件的光的路径上设置平面配置有选择性地透过特定波长的光的多种颜色的着色透明图案的彩色滤光片，从而能够得到对象物的颜色信息。

2、随着固体成像元件的薄型轻量化和高精细化，在光电转换元件的排列基板上直接形成彩色滤光片的晶载式(on-chip type)的固体成像元件逐渐增加。

3、在晶载式的固体成像元件中有时配置微透镜，以高效地将光引导到光电转换元件(例如，参照专利文献1)。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2013-8777号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、数字/图像设备的高画质化和小型化不断发展，晶载式的固体成像元件也要求进一步高精细化。此外，在很多情况下也要求高灵敏度。

3、发明人在进行针对这样的固体成像元件的高精细化的研究的过程中，认识到并解决了以往未被视为问题的花瓣状眩光(petal flare)之类的新问题点。

4、本发明的目的在于提供能够兼顾花瓣状眩光的抑制和高灵敏度的固体成像元件。

5、用于解决课题的手段

6、本发明的第一方式是一种固体成像元件，具备：具有多个光电转换元件的晶圆基板、形成在晶圆基板上并具有与光电转换元件对应配置的多种彩色滤光片的滤光片部、以及由非感光性树脂构成并具有与所述多种彩色滤光片对应配置的多个微透镜的微透镜部。

7、所述多个微透镜以以下方式配置：在配置有所述多种彩色滤光片的、俯视观察为矩形的所述多种彩色滤光片的区域的对角方向相邻的所述多个微透镜当中的2个微透镜间具有间隙，并且在所述多种彩色滤光片的所述区域的边延伸的方向相邻的所述多个微透镜当中的2个微透镜间具有间隙。

8、发明的效果

9、根据本发明，可以提供能够兼顾花瓣状眩光的抑制和高灵敏度的固体成像元件。

技术特征：

1.一种固体成像元件，具备：

2.根据权利要求1所述的固体成像元件，其中，

3.一种固体成像元件，具备：

4.根据权利要求1或2所述的固体成像元件，其中，

5.根据权利要求1或2所述的固体成像元件，其中，

技术总结
一种固体成像元件(100)，具备：具有多个光电转换元件(PD)的晶圆基板(101)、形成在晶圆基板(101)上并具有与光电转换元件(PD)对应配置的多种彩色滤光片的滤光片部(10)、以及由非感光性树脂构成并具有与所述多种彩色滤光片对应配置的多个微透镜(21)的微透镜部(20)，所述多个微透镜(21)以以下方式配置：在配置有所述多种彩色滤光片的、俯视观察时为矩形的所述多种彩色滤光片的区域的对角方向相邻的所述多个微透镜(21)当中的2个微透镜(21)间具有间隙，并且在所述多种彩色滤光片的所述区域的边延伸的方向相邻的所述多个微透镜(21)当中的2个微透镜(21)间具有间隙。

技术研发人员：大塚公荣
受保护的技术使用者：凸版印刷株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12