一种扩晶设备及扩晶方法与流程

文档序号:35211308发布日期:2023-08-24 12:45阅读:117来源:国知局
一种扩晶设备及扩晶方法与流程

本技术涉及晶元扩晶,特别是涉及一种扩晶设备及扩晶方法。


背景技术:

1、led晶片在划片后会形成阵列排布于蓝膜上的晶元,由于晶元排列的十分紧密,因此不利于后续对晶元进行测试和分选。为解决这一问题,目前通常会在对晶元进行测试和分选的步骤之前,增加一道扩晶工序,具体为采用扩晶机对贴附有晶元的蓝膜进行扩膜,使得晶元之间的间距扩大。

2、目前,现有的扩晶设备在使用过程中,通常存在以下缺陷:1、现有的扩晶设备在使用时,外环在上料时,外环通常是自下而上的上料,上料效果差、使用不方便,影响设备的扩晶效果;2、有的扩晶设备在使用时,内环和外环的压合效果差,由于蓝膜扩展力度较大,使得内外环出现卡不住蓝膜的现象,影响后续使用效果;基于此,在现有的扩晶设备的基础之上,还有可改进的空间。


技术实现思路

1、为了能够将承载晶元的蓝膜通过圆形扩晶环结构的内环和外环压合起来,本技术提供一种扩晶设备。

2、本技术提供的一种扩晶设备采用如下的技术方案:

3、一种扩晶设备,包括底板架、矩形框架和扩晶模块,所述底板架上端中部安装有矩形框架,矩形框架前端设置有开口,矩形框架内壁上均匀设置有离子风机,矩形框架中部安装有扩晶模块。

4、所述扩晶模块包括工作台、导料单元、顶料单元、安装架、压紧板、连接架和压料单元,所述底板架上安装有工作台,工作台上端安装有导料单元,工作台中部设置有环形槽,环形槽内对称安装有顶料单元,工作台上端对称安装有安装架,安装架呈u型结构,安装架下端之间安装有压紧板,安装架上端中部安装有连接架,连接架之间安装有压料单元。

5、所述顶料单元包括转动杆、滑块、铰接架、顶料板和内扩晶环,所述环形槽内通过轴承安装有转动杆,转动杆上对称设置有外螺纹,两段外螺纹的开设方向相反,每段外螺纹上通过螺纹配合的方式连接有滑块,滑块上端通过销轴安装有铰接架,铰接架呈十字交叉形结构,铰接架上端之间通过销轴安装有顶料板,顶料板上端设置有安装槽,安装槽内设置有内扩晶环。

6、所述压料单元包括滑动架、导轨、驱动气缸、翻料组件、连接板、压料架和外扩晶环,所述连接架中部为空心结构,连接架内部对称安装有导轨,导轨之间滑动设置有滑动架,滑动架上端与连接架之间安装有驱动气缸,滑动架之间设置有连接板,滑动架中部安装有翻料组件,翻料组件之间安装有连接板,连接板上端中部安装有压料架,压料架上端中部安装有外扩晶环。

7、优选的,所述导料单元包括放料辊、导料辊和收料辊,所述工作台上对称安装有卡槽,位于工作台左侧的卡槽内通过螺钉安装有放料辊,位于工作台右侧的卡槽内通过螺钉安装有收料辊,工作台上端面对称安装有导料辊,放料辊上缠绕有蓝膜,蓝膜经导料辊上端与收料辊相连接。

8、通过采用上述技术方案,放料辊上缠绕的蓝膜经导料辊后与收料辊相连接,使得蓝膜可以准确的覆盖在工作台上端面上,当扩晶模块工作完毕后,收料辊带动蓝膜废料进行收卷,使得新的蓝膜重新覆盖在工作台上,利于蓝膜的连续性扩晶加工。

9、优选的,所述内扩晶环呈圆环形结构,内扩晶环为柔性材质,内扩晶环外侧中部设置有光滑的环形凸起,环形凸起外侧面上均匀设置有防滑槽。

10、通过采用上述技术方案,环形凸起可以起到压紧的作用,使得蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间的缝隙内,避免蓝膜发生滑动的现象,提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力。

11、优选的,所述环形凸起与内扩晶环外侧面之间设置有向内倾斜的压紧槽。

12、通过采用上述技术方案,压紧槽与外扩晶环之间卡接配合,使得蓝膜在外扩晶环和内扩晶环之间呈波浪形布置,进而可以进一步的提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力,防止蓝膜扩展力度较大导致内外环出现卡不住蓝膜的现象发生,避免影响后续切割作业。

13、优选的,所述压紧板呈矩形结构,压紧板中部设置有环形通槽,压紧板下端设置有环形压板,压紧板下端面设置有切割槽,切割槽内安装有环形刀架,环形刀架内侧与环形压板外侧紧贴。

14、通过采用上述技术方案,压紧板可升降调节,当需要对蓝膜进行扩晶加工时,压紧板向下运动,压紧板上的环形压板首先对蓝膜进行压紧固定,防止蓝膜发生相对运动的现象,当压紧板下降到最低处时,环形刀架可以准确的对蓝膜进行切割,利于蓝膜的后续扩晶加工,当扩晶加工结束后,压紧板向上运动,利于蓝膜废料进行收卷。

15、优选的,所述翻料组件包括转动轴、转动齿轮和齿条板,所述滑动架中部通过轴承安装有转动轴,转动轴内侧与连接板相连接,转动轴外侧安装有转动齿轮,转动齿轮啮合有齿条板,齿条板安装在滑动架中部内壁上。

16、通过采用上述技术方案,当滑动架向上运动时,滑动架通过转动轴带动转动齿轮同步向上运动,当转动齿轮与齿条板相啮合时,转动齿轮带动滑动架翻转180°,使得压料架下端面翻转向上,利于外扩晶环的准确放置,避免需要工作人员将外扩晶环自下而上的放置在压料架下端面上。

17、优选的,所述外扩晶环呈圆环形结构,外扩晶环内侧面上设置有环形槽,外扩晶环呈柔性材质,外扩晶环中部设置有加强骨架,加强骨架与外扩晶环一体注塑成型。

18、通过采用上述技术方案,外扩晶环与内扩晶环之间卡接配合,加强骨架起到支撑的作用,保证外扩晶环的强度以及支撑稳定性,提高外扩晶环与内扩晶环之间摩擦力,避免外扩晶环长时间使用后与内扩晶环之间摩擦力减少,利于蓝膜的准确固定。

19、优选的,所述加强骨架包括环形钢架和c型架,环形钢架数量为二,环形钢架之间均匀安装有c型架,c型架与环形钢架之间焊接连接。

20、通过采用上述技术方案,c型架起到支撑固定的作用,使得外扩晶环内侧面上的环形槽可以准确的与环形凸起相卡接,卡接压紧效果好,保证蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间。

21、优选的,所述外扩晶环内侧面上设置有环形槽,外扩晶环内侧面上均匀防滑凸起,外扩晶环内侧设置有向内延伸的压紧凸起。

22、通过采用上述技术方案,压紧凸起与压紧槽相配合,使得压紧凸起可以将蓝膜压紧固定在压紧槽内壁上,使得蓝膜可以呈波浪形布置,避免蓝膜发生收缩扩展。

23、此外本发明还提供了一种扩晶设备的扩晶方法,该扩晶设备的扩晶方法具体包括以下步骤:

24、s1、蓝膜导料输送:导料单元可以带动蓝膜均匀平铺在工作台上端,压紧板向下运动对蓝膜中部进行压紧固定;

25、s2、内扩晶环上升顶料:转动杆通过铰接架带动顶料板向上运动,使得顶料板上的内扩晶环同步向上运动,同时蓝膜中部被顶起绷紧;

26、s3、外扩晶环放料翻转:将外扩晶环放置在压料架上端,之后驱动气缸通过滑动架带动连接板向下运动,翻料组件通过连接板带动外扩晶环向下翻转180°,使得外扩晶环可以准确朝下;

27、s4、内扩晶环和外扩晶环压合:当外扩晶环翻转到蓝膜上端时,驱动气缸通过滑动架带动外扩晶环继续向下运动,使得外扩晶环可以准确的与内扩晶环压合起来,使得蓝膜可以准确的夹紧在内扩晶环和外扩晶环之间。

28、综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:

29、1.为了能够提高蓝膜的压紧效果,在本发明中将所述内扩晶环设置呈圆环形结构,内扩晶环为柔性材质,内扩晶环外侧中部设置有光滑的环形凸起,环形凸起外侧面上均匀设置有防滑槽,环形凸起可以起到压紧的作用,使得蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间的缝隙内,避免蓝膜发生滑动的现象,提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力;

30、2.为了能够准确的实现外环的准确上料以及内外环的准确压合,在本发明中设置了压料单元,驱动气缸通过滑动架可以带动压料架上下运动,当压料架向上运动时,翻料组件可以带动压料架向上翻转,使得压料架下端面朝上,利于外扩晶环的准确上料安装,当压料架向下运动时,压料架上的外扩晶环可以准确的翻转复位,利于外扩晶环与内扩晶环准确压合;

31、3.为了能够提高外扩晶环的强度以及支撑稳定性,在本发明中设置了加强骨架,加强骨架起到支撑的作用,保证外扩晶环的强度以及支撑稳定性,提高外扩晶环与内扩晶环之间摩擦力,避免外扩晶环长时间使用后与内扩晶环之间摩擦力减少,利于蓝膜的准确固定。

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