本发明方法属于通过集成电路制造用晶圆盒上法兰部设计的抓部件配套领域，尤其涉及一种为提高产线外处理晶圆盒如清洗、运输等情况时配合晶圆盒法兰使用的抓部件。
背景技术：
1、在集成电路制造过程中需要晶圆盒以转运晶圆，同时制造过程使用多种不同种类的化学品如掺杂离子等造成晶圆盒内污染物聚集，一批次集成电路产品制造完成后，需要清洗该过程中使用的晶圆盒以再投入下一批次集成电路产品制造中使用。
2、晶圆盒内污染物主要包括金属杂质、阴离子杂质、颗粒污染物等。现有检测晶圆盒内污染物清洗/萃取方法主要采用全浸泡、静置或半静置清洗/萃取法，使用大量溶剂对晶圆盒内部进行润洗，润洗后取样进行污染物指标测试，由于晶圆盒在集成电路制造中用于放置和运输晶圆，晶圆盒内的污染物多少将直接影响运输晶圆，为避免污染晶圆，萃取清洗晶圆盒内污染物后对萃取液检测，筛选出可供下一次集成电路制造使用的污染物降低至合格水平的晶圆盒。
3、现有集成电路制造工厂使用的晶圆盒大部分近似正方体，内部体积较大，全浸泡、静置或半静置萃取法存在以下问题：
4、第一，全浸泡萃取法需要大量的溶剂/萃取液，浪费溶剂/萃取液，成本高昂，且由于采取全浸泡形式，萃取形式是静态的，无法动态萃取。
5、第二，采取全人工或者半人工萃取清洗，无法实现标准化的清洗，需要人工实时检测萃取清洗液污染物水平以确定晶圆盒内污染物降低至合格水平，清洗工序繁杂。
技术实现思路
1、为解决以上技术问题，本发明提供一种自紧晶圆盒法兰的抓部件和晶圆盒内污染物萃取装置，快速固定晶圆盒，并提出一种简单、使用萃取/清洗的机械装置以替代人工，可实现溶剂/萃取液量低，节约成本，实现全部晶圆盒统一的清洗。
2、本发明提供一种自紧晶圆盒法兰的抓部件，包括抓本体、容纳法兰的法兰腔、位于所述抓本体内的自紧体及供其运动的自紧体腔，所述自紧体包括自紧头和自紧卡件，法兰在放置进所述法兰腔的过程中直接或间接挤压所述自紧头带动所述自紧体进入所述自紧体腔内的卡结构并且带动所述自紧卡件的至少一部分进入所述法兰腔将法兰锁闭在所述法兰腔内。
3、优选地，至少三个所述自紧体围绕所述法兰腔设置。
4、优选地，所述自紧体是三维一体结构，包括连接所述自紧头和自紧卡件的连接部，所述自紧头是竖直条状，所述自紧卡件是初始时沿着所述法兰腔设置的水平条状，连接部包括连接所述自紧头的水平横部和连接所述自紧卡件的垂直竖部。
5、优选地，所述卡结构包括槽腔和卡腔，所述槽腔自下而上向所述法兰腔倾斜以推动所述自紧卡件进入所述法兰腔，所述卡腔在锁闭时容纳部分所述自紧卡件而使所述自紧卡件至少一部分进入所述法兰腔将法兰锁闭在所述法兰腔内。
6、优选地，初始时所述自紧卡件长度为所述抓本体边长的80％以上。
7、优选地，锁闭时所述自紧卡件端部位于所述自紧卡件指向的相邻边的所述卡腔内。
8、优选地，所述自紧体是圆环状，所述自紧头是所述自紧体环的一端，所述自紧卡件是所述自紧体环的另一端。
9、优选地，所述卡结构是位于所述自紧体腔表面上与所述自紧体表面螺纹相配合的螺纹
10、优选地，所述自紧体环长度沿着所述抓本体边设置且边长是所述抓本体边长的80％以上。
11、还提供一种晶圆盒内污染物萃取装置，包括旋转电机、与所述旋转电机连接的旋转架，固定插销，包括使用如上所述抓部件固定晶圆盒的固定抓手，所述固定插销通过固定所述固定抓手将所述晶圆盒相对于所述旋转架固定；
12、所述旋转电机带动所述旋转架做圆周旋转运动。
13、本发明提供一种自紧晶圆盒法兰的抓部件和晶圆盒内污染物萃取装置，可以快速固定晶圆盒并使用机械装置以替代人工清洗晶圆盒，可实现溶剂/萃取液量低，节约成本，实现全部晶圆盒统一的清洗。
1.一种自紧晶圆盒法兰的抓部件，包括抓本体、容纳法兰的法兰腔，其特征在于，还包括位于所述抓本体内的自紧体及供其运动的自紧体腔；
2.根据权利要求1所述的抓部件，其特征在于，至少三个所述自紧体围绕所述法兰腔设置。
3.根据权利要求1所述的抓部件，其特征在于，所述自紧体是三维一体结构，包括连接所述自紧头和自紧卡件的连接部，所述自紧头是竖直条状，所述自紧卡件是初始时沿着所述法兰腔设置的水平条状，连接部包括连接所述自紧头的水平横部和连接所述自紧卡件的垂直竖部。
4.根据权利要求3所述的抓部件，其特征在于，所述卡结构包括槽腔和卡腔，所述槽腔自下而上向所述法兰腔倾斜以推动所述自紧卡件进入所述法兰腔，所述卡腔在锁闭时容纳部分所述自紧卡件而使所述自紧卡件至少一部分进入所述法兰腔将法兰锁闭在所述法兰腔内。
5.根据权利要求1所述的抓部件，其特征在于，初始时所述自紧卡件长度为所述抓本体边长的80％以上。
6.根据权利要求5所述的抓部件，其特征在于，锁闭时所述自紧卡件端部位于所述自紧卡件指向的相邻边的所述卡腔内。
7.根据权利要求1所述的抓部件，其特征在于，所述自紧体是圆环状，所述自紧头是所述自紧体环的一端，所述自紧卡件是所述自紧体环的另一端。
8.根据权利要求7所述的抓部件，其特征在于，所述卡结构是位于所述自紧体腔表面上与所述自紧体表面螺纹相配合的螺纹。
9.根据权利要求7所述的抓部件，其特征在于，所述自紧体环长度沿着所述抓本体边设置且边长是所述抓本体边长的80％以上。
10.一种晶圆盒内污染物萃取装置，包括旋转电机、与所述旋转电机连接的旋转架，固定插销，包括使用如权利要求1～9所述抓部件固定晶圆盒的固定抓手，所述固定插销通过固定所述固定抓手将所述晶圆盒相对于所述旋转架固定；