一种半导体生产抽样检测抓取装置的制作方法

本发明涉及半导体生产，具体涉及一种半导体生产抽样检测抓取装置。

背景技术：

1、半导体行业隶属电子信息产业，属于硬件产业，以半导体为基础而发展起来的一个产业，在半导体行业中会使用到超薄晶圆，当晶圆加工后，需要对晶圆进行抽样抓取检测。现有的生产抽样检测抓取装置上的吸盘的位置大都不能够随意调节，因而不能够轻易完成多种尺寸的抽样抓取工作；或者需要进行更换抓取所使用的吸盘，不仅提高了工作量，而且降低了检测效率。

技术实现思路

1、针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种半导体生产抽样检测抓取装置，具有抓取作业的多样性，且多种抓取状态切换便捷等优点。

2、为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：本发明提供一种半导体生产抽样检测抓取装置，包括抓取底座，抓取底座的顶面上设置有产品流转导轨，产品流转导轨一侧设置有抓取安装座，抓取安装座上设置有驱动组件，驱动组件上设置有抓取爪轴，抓取爪轴上自上而下依次设置有位置校正组件、辅助吸盘组件和吸盘抓取组件，位置校正组件包括同轴固定设置在抓取爪轴上的多边形校正板，多边形校正板其中相对的两侧壁内均活动设置有校正插板，辅助吸盘组件包括同轴套设在抓取爪轴外部的圆环座，圆环座上沿周向均布多个辅助吸盘，辅助吸盘通过辅助气管与设置在抓取底座上的辅助真空发生器相连接。

3、优选地，所述驱动组件为驱动气缸，抓取爪轴固定设置在驱动气缸的活塞杆上，便于驱动抓取爪轴移动，通过辅助吸盘组件和/或吸盘抓取组件完成对零件的抓取工作。

4、优选地，所述多边形校正板为六边形板结构，两个校正插板在同一个水平面上，且两个校正插板均通过回位弹簧分别活动插设在多边形校正板其中相对的两侧壁内，多边形校正板的顶面上螺纹连接有两个分别与校正插板一一对应的锁紧螺栓，锁紧螺栓活动贯穿多边形校正板且分别与两个校正插板的顶面之间相抵触，校正插板的顶面上设置有刻度线，当通过辅助吸盘组件和/或吸盘抓取组件对零件进行抓取时，校正插板远离多边形校正板的两端可分别与产品流转导轨u形开口的两内壁相抵触，有利于保持辅助吸盘组件和/或吸盘抓取组件的位置稳定性和准确性。

5、优选地，所述产品流转导轨为u形槽状结构，多边形校正板其中相对的两条边分别与产品流转导轨u形开口的两内壁相平行，两个校正插板远离多边形校正板的一端分别与产品流转导轨u形开口的两内壁相抵触，当通过辅助吸盘组件和/或吸盘抓取组件对零件进行抓取时，校正插板远离多边形校正板的两端可分别与产品流转导轨u形开口的两内壁相抵触，有利于保持辅助吸盘组件和/或吸盘抓取组件的位置稳定性和准确性。

6、优选地，所述吸盘抓取组件包括同轴固定套设在抓取爪轴外部的固定盘，固定盘上沿周向均布多个调节轴，调节轴的外部通过带扭簧的转轴转动套设有转动座，转动座远离调节轴的一端设置有调节槽，调节槽内滑动设置有调节杆，调节杆远离转动座的一端设置有固定座，调节轴内贯穿设置有气管一，调节轴的下端固定设置有与气管一相连通的吸盘一，气管一远离吸盘一的一端与设置在抓取底座上的主真空发生器相连接，固定座上活动贯穿设置有调节螺纹杆，调节螺纹杆的下端设置有吸盘二，吸盘二通过气管二与气管一相连通，气管二上连通设置有开关阀，且开关阀贯穿至转动座顶面的外部，可根据需要抓取的零件的大小，通过转动调节转动座的位置，便于通过吸盘二进行抓取，或通过吸盘一完成对零件的抓取。

7、优选地，所述转动座、固定座和调节杆均为弧形状结构，转动座、固定座和调节杆的弧度均与固定盘的外周壁相适配，且转动座、固定座和调节杆的弧形开口均朝向固定盘的外周壁，便于不需要转动调节转动座时，有利于保持整体结构紧凑。

8、优选地，所述抓取爪轴的外周壁上设置有外螺纹段，外螺纹段的外部螺纹连接有螺纹环，螺纹环的外周壁通过多个连杆与圆环座转动连接，圆环座上沿周向均布多个与辅助吸盘一一对应的调节外螺纹杆，辅助吸盘同轴设置在对应位置的调节外螺纹杆的底部，调节外螺纹杆至抓取爪轴轴心线的距离大于调节轴至抓取爪轴轴心线的距离，可根据需要在抓取爪轴外周壁的外螺纹段上调节螺纹环的位置，以及通过调节调节外螺纹杆调节辅助吸盘的位置，完成对零件的抓取。

9、本发明的有益效果在于：

10、1、本发明通过设置的辅助吸盘组件和吸盘抓取组件，可根据需要快捷方便地切换不同的状态，即使用吸盘一和吸盘二、或使用辅助吸盘完成抓取工作，以便适用于不同的抓取需求。

11、2、吸盘抓取组件的设置，可根据需要抓取的零件的大小，通过转动调节转动座的位置，便于通过吸盘二进行抓取，或通过吸盘一完成对零件的抓取，切换和操作均便捷，提高了抓取作业的效率。

12、3、位置校正组件的设置，通过在使用时使得将校正插板相对于多边形校正板的位置锁定，便于后期抓取零件时，可在校正插板的作用下保持位置准确，不会出现偏移现象。

技术特征：

1.一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，包括抓取底座（1），抓取底座（1）的顶面上设置有产品流转导轨（2），产品流转导轨（2）一侧设置有抓取安装座（3），抓取安装座（3）上设置有驱动组件（4），驱动组件（4）上设置有抓取爪轴（5），抓取爪轴（5）上自上而下依次设置有位置校正组件（6）、辅助吸盘组件（7）和吸盘抓取组件（8），位置校正组件（6）包括同轴固定设置在抓取爪轴（5）上的多边形校正板（61），多边形校正板（61）其中相对的两侧壁内均活动设置有校正插板（62），辅助吸盘组件（7）包括同轴套设在抓取爪轴（5）外部的圆环座（71），圆环座（71）上沿周向均布多个辅助吸盘（72），辅助吸盘（72）通过辅助气管与设置在抓取底座（1）上的辅助真空发生器相连接。

2.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，驱动组件（4）为驱动气缸，抓取爪轴（5）固定设置在驱动气缸的活塞杆上。

3.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，多边形校正板（61）为六边形板结构，两个校正插板（62）在同一个水平面上，且两个校正插板（62）均通过回位弹簧分别活动插设在多边形校正板（61）其中相对的两侧壁内，多边形校正板（61）的顶面上螺纹连接有两个分别与校正插板（62）一一对应的锁紧螺栓（621），锁紧螺栓（621）活动贯穿多边形校正板（61）且分别与两个校正插板（62）的顶面之间相抵触，校正插板（62）的顶面上设置有刻度线（622）。

4.如权利要求3所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，产品流转导轨（2）为u形槽状结构，多边形校正板（61）其中相对的两条边分别与产品流转导轨（2）u形开口的两内壁相平行，两个校正插板（62）远离多边形校正板（61）的一端分别与产品流转导轨（2）u形开口的两内壁相抵触。

5.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，吸盘抓取组件（8）包括同轴固定套设在抓取爪轴（5）外部的固定盘（81），固定盘（81）上沿周向均布多个调节轴（82），调节轴（82）的外部通过带扭簧的转轴（83）转动套设有转动座（84），转动座（84）远离调节轴（82）的一端设置有调节槽（841），调节槽（841）内滑动设置有调节杆（842），调节杆（842）远离转动座（84）的一端设置有固定座（85），调节轴（82）内贯穿设置有气管一（821），调节轴（82）的下端固定设置有与气管一（821）相连通的吸盘一（822），气管一（821）远离吸盘一（822）的一端与设置在抓取底座（1）上的主真空发生器相连接，固定座（85）上活动贯穿设置有调节螺纹杆（8511），调节螺纹杆（8511）的下端设置有吸盘二（851），吸盘二（851）通过气管二（852）与气管一（821）相连通，气管二（852）上连通设置有开关阀（8521），且开关阀（8521）贯穿至转动座（84）顶面的外部。

6.如权利要求5所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，转动座（84）、固定座（85）和调节杆（842）均为弧形状结构，转动座（84）、固定座（85）和调节杆（842）的弧度均与固定盘（81）的外周壁相适配，且转动座（84）、固定座（85）和调节杆（842）的弧形开口均朝向固定盘（81）的外周壁。

7.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取装置，其特征在于，抓取爪轴（5）的外周壁上设置有外螺纹段，外螺纹段的外部螺纹连接有螺纹环（73），螺纹环（73）的外周壁通过多个连杆（74）与圆环座（71）转动连接，圆环座（71）上沿周向均布多个与辅助吸盘（72）一一对应的调节外螺纹杆（75），辅助吸盘（72）同轴设置在对应位置的调节外螺纹杆（75）的底部，调节外螺纹杆（75）至抓取爪轴（5）轴心线的距离大于调节轴（82）至抓取爪轴（5）轴心线的距离。

技术总结
本发明公开了一种半导体生产抽样检测抓取装置，属于半导体生产技术领域。包括抓取底座，抓取底座的顶面上设置有产品流转导轨，产品流转导轨一侧设置有抓取安装座，抓取安装座上设置有驱动组件，驱动组件上设置有抓取爪轴，抓取爪轴上自上而下依次设置有位置校正组件、辅助吸盘组件和吸盘抓取组件，位置校正组件包括同轴固定设置在抓取爪轴上的多边形校正板，多边形校正板其中相对的两侧壁内均活动设置有校正插板，辅助吸盘组件包括同轴套设在抓取爪轴外部的圆环座，圆环座上沿周向均布多个辅助吸盘，辅助吸盘通过辅助气管与设置在抓取底座上的辅助真空发生器相连接。本发明具有抓取作业的多样性，且多种抓取状态切换便捷等优点。

技术研发人员：韩波
受保护的技术使用者：汉斯半导体（江苏）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1