扫描电镜的送样装置和扫描电镜的制作方法

本发明涉及扫描电镜，尤其是涉及一种扫描电镜的送样装置及具有该扫描电镜的送样装置的扫描电镜。

背景技术：

1、扫描电镜是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段，其利用聚焦至很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，进而对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。同时扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用，因此扫描电镜在科学研究领域具有重大作用。现有的扫描电镜将样品送入其内部进行检测的过程较为麻烦，导致检测效率低。

2、另外，在将样品输送至扫描电镜内部时，易导致外界大气进入到扫描电镜设备内部，使空气中的杂质进入到扫描电镜内，造成严重的污染，特别的，当取出样品时，需要打开扫描电镜，由于内部是真空状态，当打开的瞬间，外界大气强气流直接进入到扫描电镜内部，很容易将粉末状样品、液体状样品等吹散，并落入到扫描电镜内部各个角落，导致扫描电镜内部环境污染，给后续的样品扫描带来严重的影响，降低后续样品扫描效果的准确性和可靠性。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种扫描电镜的送样装置，易取放样品，且可实现快速送样和换样，提高检测效率，节约检测成本，且在取样换样的过程中不会导致外界大气的杂质进入到扫描电镜内部，也不会产生外界大气气流吹散样品，导致扫描电镜内部环境被样品污染的现象发生，保证后续样品扫描结果的准确性和可靠性。

2、根据本发明实施例的扫描电镜的送样装置，包括：装置主体，所述装置主体内形成有过度容腔，所述装置主体还设有与所述过度容腔连通的连接口和送样口，所述连接口用于与扫描电镜的安装口相连，所述装置主体安装有用于对所述连接口选择性地封闭的遮挡板；抽气结构，所述抽气结构安装于所述装置主体且用于对所述过度容腔进行抽气；密封盖，所述密封盖可活动地安装于所述送样口处且用于选择性地封闭所述送样口；送样结构，所述送样结构包括送样部和样品托盘，所述送样部可活动地穿设于所述密封盖，所述送样部位于所述过度容腔内的一端与所述样品托盘相连，且所述送样部用于将所述样品托盘选择性地送入所述扫描电镜内，所述连接口与所述送样口分别设于所述过度容腔的两侧且沿所述送样部的活动方向正对设置。

3、根据本发明实施例的扫描电镜的送样装置，易取放样品，且可实现快速送样和换样，保证检测时扫描电镜内部压强的一致性以及样本位置的稳定性，提高检测效率，节约检测成本，使用效果更好，适用范围更广，且在取样和送样过程中，通过遮挡板可对连接口进行选择性地封闭，以保证在扫描电镜的内部始终处于真空状态中，提高检测结果的准确性和可靠性。

4、在送样时，遮挡板封闭，将样品送入到送样装置内，再对送样装置进行抽真空处理，使送样装置内的压强与扫描电镜内的压强一致，再打开遮挡板，将样品送入到扫描电镜内部，避免空气进入到扫描电镜内部，避免扫描电镜内部被污染，且送样装置内腔与扫描电镜内腔不会产生气流，避免样品散落，也避免样品污染扫描电镜内腔。

5、在取样时，将样品移动到送样装置内，通过遮挡板可对连接口进行封闭，使送样装置内腔与扫描电镜内腔隔绝，再对送样装置内腔进行增压处理，即送入空气，使送样装置内部的压强与外界大气压一致，实际操作过程中，如果送入空气，导致送样装置内腔的样品散落，污染送样装置内腔，后续可对送样装置进行清洁处理，再进行下一份样品的扫描，也可通过设置缓冲装置，将外界大气缓慢送入到送样装置内，避免样品被气流吹散，避免送样装置内部被样品污染，送入空气达到与外界大气压一致后，打开送样装置，取出样品，更换新的待检测样品即可，再进行上述送样流程和取样流程。

6、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述密封盖设有第一导向杆，所述第一导向杆的一端与所述密封盖相连且另一端可活动地穿设于所述装置主体，所述第一导向杆的活动方向与所述送样部的活动方向相同。

7、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述第一导向杆为至少两个，且至少两个所述第一导向杆平行间隔开连接于所述密封盖。

8、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，还包括：驱动件，所述驱动件安装于所述装置主体，所述驱动件的输出端与所述遮挡板相连且用于驱动所述遮挡板打开或封闭所述连接口。

9、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述驱动件构造为驱动气缸，所述装置主体设有活动槽，所述活动槽连通于所述连接口的下方，且所述遮挡板可活动地安装于所述活动槽内，所述驱动气缸的输出端与所述遮挡板的下端相连以驱动所述遮挡板升降。

10、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述连接口与所述安装口的连接处设有用于弹性密封的第一密封圈；

11、和/或，所述密封盖与所述送样口的连接处设有用于弹性密封的第二密封圈。

12、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述送样部包括承载台、衔接台和送样杆，所述送样杆穿设于所述密封盖，所述送样杆的一端与所述衔接台相连，所述样品托盘支撑于所述衔接台上，所述承载台适于安装于所述扫描电镜内，所述衔接台适于在伸至所述扫描电镜内时与所述承载台插接配合。

13、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述承载台和所述衔接台中的一个设有卡合槽且另一个安装有可活动的升降台，所述升降台设有卡接部，所述卡接部适于所述卡合槽插接配合，所述升降台连接有弹性组件，所述弹性组件用于向所述卡接部施加朝向所述卡合槽的内壁压紧的弹性力。

14、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述送样部还包括夹紧组件，所述夹紧组件与所述送样杆位于所述过度容腔内的一端相连，所述夹紧组件用于对所述衔接台进行夹紧。

15、根据本发明一些实施例的扫描电镜的送样装置，所述密封盖设有穿设孔，所述穿设孔处设有气密密封件，所述送样杆穿设于所述气密密封件。

16、本发明还提出了一种扫描电镜。

17、根据本发明实施例的扫描电镜,设置有上述任一项中所述的扫描电镜的送样装置。

18、所述扫描电镜和上述的扫描电镜的送样装置相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

19、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种扫描电镜的送样装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述密封盖设有第一导向杆，所述第一导向杆的一端与所述密封盖相连且另一端可活动地穿设于所述装置主体，所述第一导向杆的活动方向与所述送样部的活动方向相同。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述第一导向杆为至少两个，且至少两个所述第一导向杆平行间隔开连接于所述密封盖。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，还包括：驱动件，所述驱动件安装于所述装置主体，所述驱动件的输出端与所述遮挡板相连且用于驱动所述遮挡板打开或封闭所述连接口。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述驱动件构造为驱动气缸，所述装置主体设有活动槽，所述活动槽连通于所述连接口的下方，且所述遮挡板可活动地安装于所述活动槽内，所述驱动气缸的输出端与所述遮挡板的下端相连以驱动所述遮挡板升降。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述连接口与所述安装口的连接处设有用于弹性密封的第一密封圈；

7.根据权利要求1所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述送样部包括承载台、衔接台和送样杆，所述送样杆穿设于所述密封盖，所述送样杆的一端与所述衔接台相连，所述样品托盘支撑于所述衔接台上，所述承载台适于安装于所述扫描电镜内，所述衔接台适于在伸至所述扫描电镜内时与所述承载台插接配合。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述承载台和所述衔接台中的一个设有卡合槽且另一个安装有可活动的升降台，所述升降台设有卡接部，所述卡接部适于所述卡合槽插接配合，所述升降台连接有弹性组件，所述弹性组件用于向所述卡接部施加朝向所述卡合槽的内壁压紧的弹性力。

9.根据权利要求7所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述送样部还包括夹紧组件，所述夹紧组件与所述送样杆位于所述过度容腔内的一端相连，所述夹紧组件用于对所述衔接台进行夹紧。

10.根据权利要求7所述的扫描电镜的送样装置，其特征在于，所述密封盖设有穿设孔，所述穿设孔处设有气密密封件，所述送样杆穿设于所述气密密封件。

11.一种扫描电镜，其特征在于，设置有权利要求1-10中任一项所述的扫描电镜的送样装置。

技术总结
本发明公开了一种扫描电镜的送样装置以及扫描电镜，所述扫描电镜的送样装置，包括：装置主体，所述装置主体内形成有过度容腔，所述装置主体还设有与所述过度容腔连通的连接口和送样口，所述装置主体安装有用于对所述连接口选择性地封闭的遮挡板；抽气结构，所述抽气结构安装于所述装置主体且用于对所述过度容腔进行抽气；密封盖，所述密封盖可活动地安装于所述送样口处且用于选择性地封闭所述送样口；送样结构，所述送样结构包括送样部和样品托盘，所述送样部可活动地穿设于所述密封盖，所述送样部位于所述过度容腔内的一端与所述样品托盘相连。本发明实施例的扫描电镜的送样装置，易取放样品，且可实现快速送样和换样，使用效果更好。

技术研发人员：张茂辉,栗宽
受保护的技术使用者：国仪量子（合肥）技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15