MICROLED显示面板及其制造方法与流程

本申请涉及micro led领域，进一步涉及micro led显示面板及其制造方法。

背景技术：

1、micro led(micro light emitting diode)也被称为微型发光二极管。micro led显示面板具有高密度集成的led阵列，阵列中led像素点距离在10微米量级，每一个led像素都能自发光。

2、一般来说，micro led的每个led像素仅只能够发出一个颜色的光线，因此常规的micro led面板通常是单色面板。比如只能够发出红光的红光micro led面板，只能够发出绿光的绿光micro led面板，只能够发出蓝光的蓝光micro led面板等。随着人们对成像要求的不断提高，单色micro led面板已经不能够满足消费者的各种使用需求，因此，全彩(rgb)micro led面板应运而生。

3、目前，为了能够实现彩色显示的方案，常规的做法是在一片晶圆上同时制备红绿蓝三色led像素，也就是将红、绿、蓝三色led像素在垂直方向上堆叠排列。现有的全彩microled结构能够实现全彩显示的效果，但是其工艺难度高，工艺成本高，并且生产效率低。

4、近年来，量子点色彩转换技术被应用于micro led显示屏的全彩显示，与垂直堆叠多个led的技术方案相比具有诸多的优势，但是如何将量子点颗粒与micro led显示屏结构相互结合是其进一步发展所亟需解决的问题。

5、申请内容

6、为了解决上述一个或多个技术问题，本申请提供一种micro led显示面板及制造方法，其中，相邻micro led单元之间设置像素隔离结构，像素隔离结构的高度高于microled单元的高度，像素隔离结构不仅具有减少光串扰的作用，还能够在micro led单元的上方形成填充空间，供填充波长转换结构。

7、进一步地，在micro led单元的出光路径上设置波长转换结构，波长转换结构能够改变micro led单元所发出的光线的颜色，通过在micro led显示面板的不同位置设置不同的量子点结构，能够实现彩色显示的同时降低工艺难度及成本。

8、本申请的一方面提供一种micro led显示面板的制造方法，包括：在驱动背板的一侧形成micro led阵列，其中所述micro led阵列包括多个micro led单元；在相邻的所述micro led单元之间形成像素隔离结构，所述像素隔离结构的高度高于所述micro led单元的高度，其中，所述像素隔离结构高于所述micro led单元的部分在所述micro led单元的上方形成填充空间；以及向所述填充空间内填充波长转换结构，其中，所述波长转换结构的至少一部分设置于所述micro led单元所发出的光线的传播路径上，并且所述波长转换结构能够改变所述micro led单元所发出的光线的波长，以改变所述micro led单元所发出的光线的颜色。

9、本申请的另一方面提供一种micro led显示面板，包括：驱动背板；micro led阵列，所述micro led阵列设置于所述驱动背板的一侧，并且包括：多个micro led单元；和位于相邻所述micro led单元之间间隙中的像素隔离结构，其中所述像素隔离结构的高度高于所述micro led单元的高度，并且所述像素隔离结构高于所述micro led单元的部分在所述micro led单元的上方形成填充空间；以及波长转换结构，所述波长转换结构设置于所述填充空间内，并且所述波长转换结构的至少一部分位于所述micro led单元所发出的光线的传播路径上，其中，所述波长转换结构能够改变所述micro led单元所发出的光线的波长，以改变所述micro led所发出的光线的颜色。

10、本申请的另一方面提供一种显示装置，其包括根据上文所述的任意一种microled显示面板。

11、根据本申请的一些实施例的micro led显示面板及其制造方法能够在micro led单元的出光路径上设置量子点结构，并且可以在相邻micro led单元之间设置像素隔离结构。像素隔离结构的高度高于micro led单元的高度，因此像素隔离结构不仅具有减少光串扰的作用，还能够在micro led单元的上方形成填充空间，供填充波长转换结构。另一方面，可以在micro led单元的出光路径上设置波长转换结构，波长转换结构能够改变micro led单元所发出的光线的颜色。因此，通过在micro led显示面板的不同位置设置不同的量子点结构，能够实现彩色显示的同时降低工艺难度、降低成本。此外，由于像素隔离结构的高度高于micro led单元的高度，并且像素隔离结构高于micro led单元的部分围绕形成填充空间，因此像素隔离结构既能够防止相邻micro led单元之间的光线串扰，还能够有助于对波长转换结构的限位。在一些可选的实施例中，相邻micro led单元之间的间隙中设置又电流扩展结构，电流扩展结构与第二导电层电连接，能够起到电流扩展的效果。在此需要说明的是，本申请的各个方面并不一定要求完全实现上述技术效果，并且每一方面以其能够解决的至少一个技术问题所能达到的技术效果构成对现有技术的贡献。

技术实现思路

技术特征：

1.一种micro led显示面板的制造方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在向所述填充空间内填充波长转换结构步骤之后，进一步包括：

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，其中所述micro led单元能够发出uv光。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述波长转换结构包括量子点颗粒和光刻胶。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，向所述填充空间内填充波长转换结构步骤，进一步包括：

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在相邻的所述micro led单元之间形成像素隔离结构步骤中，进一步包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在驱动背板的一侧形成micro led阵列步骤中，进一步包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在相邻的所述micro led单元之间形成像素隔离结构步骤之前，进一步包括：

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，刻蚀所述第一半导体层、所述发光层、所述第二半导体层、所述第一导电层、所述第一金属键合层以及所述第二金属键合层形成多个发光台面步骤中，进一步包括：

10.一种micro led显示面板，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的micro led显示面板，其特征在于，进一步包括：

12.根据权利要求10所述的micro led显示面板，其特征在于，进一步包括滤光层，其位于所述波长转换结构远离所述驱动背板的一侧，并且所述滤光层位于所述micro led单元所发出的光线的传播路径上，其中，所述滤光层能够过滤所述micro led单元所发出的光线。

13.根据权利要求12所述的micro led显示面板，其特征在于，所述micro led单元能够发出uv光。

14.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述波长转换结构包括量子点颗粒和光刻胶。

15.根据权利要求14所述的micro led显示面板，其特征在于，所述micro led阵列包括至少两种发光区域，每种发光区域均具有多个micro led单元，对应不同种类发光区域的micro led单元相互交错设置，并且不同种类发光区域对应的所述填充空间中填充的量子点颗粒具有不同的尺寸。

16.根据权利要求15所述的micro led显示面板，其特征在于，所述micro led阵列包括第一发光区域、第二发光区域以及第三发光区域，所述第一发光区域发红光，对应的所述量子点颗粒的尺寸范围是6nm～10nm；所述第二发光区域发绿光，对应的所述量子点颗粒的尺寸范围是3nm～5nm；以及所述第三发光区域发蓝光，对应的所述量子点颗粒的尺寸范围是1nm～3nm。

17.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述像素隔离结构包括光隔离材料形成的隔离墙和位于所述隔离墙外侧的反射层。

18.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述microled单元包括：

19.根据权利要求18所述的micro led显示面板，其特征在于，所述第二导电层包括：

20.根据权利要求19所述的micro led显示面板，其特征在于，所述micro led阵列进一步包括位于相邻micro led单元之间的电流扩展结构，所述电流扩展结构与所述连接段电连接，所述像素隔离结构位于所述电流扩展结构的上方。

21.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述波长转换结构远离所述驱动背板的一侧向外凸出设置。

22.根据权利要求21所述的micro led显示面板，其特征在于，所述波长转换结构远离所述驱动背板的一侧呈半球状向外凸出。

23.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述波长转换结构的厚度范围是1nm～15nm。

24.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述microled单元的厚度范围是1μm至10μm。

25.根据权利要求10-12中任一项所述的micro led显示面板，其特征在于，所述microled显示面板中由所述micro led单元组成的所述micro led阵列的分辨率是320×240、640×480、720×480、1280×720、1920×1080、2560×1440、4090×2160中的一种。

26.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如强烈要求10-25中任一项所述的micro led显示面板。

技术总结
本申请公开了一种Micro LED显示面板及制造方法，该制作方法包括：在驱动背板的一侧形成Micro LED阵列，其中所述Micro LED阵列包括多个Micro LED单元；在相邻的所述Micro LED单元之间形成像素隔离结构，所述像素隔离结构的高度高于所述Micro LED单元的高度，其中，所述像素隔离结构高于所述Micro LED单元的部分在所述Micro LED单元的上方形成填充空间；以及向所述填充空间内填充波长转换结构，其中，所述波长转换结构的至少一部分设置于所述Micro LED单元所发出的光线的传播路径上，并且所述波长转换结构能够改变所述Micro LED单元所发出的光线的波长，以改变所述Micro LED单元所发出的光线的颜色。在Micro LED单元的出光路径上设置量子点结构，量子点结构能够改变Micro LED单元所发出的光线的颜色，通过在Micro LED显示面板的不同位置设置不同的量子点结构，能够实现彩色显示的同时降低工艺难度及成本。

技术研发人员：丁娜
受保护的技术使用者：上海显耀显示科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15