一种基板交接系统的制作方法

本发明涉及基板交接，具体涉及一种基板交接系统。

背景技术：

1、基板交接是不同功能模块之间进行基板转运后的必要工序，在进行基板表面ipa液膜的干燥处理时，将基板转运输入到干燥模块时，需要将基板从输送部交接放置在干燥模块的承载机构上，而由于基板表面ipa液膜会从基板边缘流出，造成基板表面ipa液膜损坏，进而造成基板表面图案坍塌，影响基板干燥良品率。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种基板交接系统，以解决基板在交接过程中会受到较大的冲击，造成基板表面ipa液膜损坏，进而造成基板表面图案坍塌，影响基板干燥良品率的问题。

2、本发明提供了一种基板交接系统，包括承载机构、升降机构、多个进气通道、背吹执行机构和控制模块；承载机构水平设置在超临界腔室的第一开口部，顶部用于支撑基板的下表面，且所述承载机构上设有贯穿孔；升降机构设置在所述承载机构的下方，适于穿过所述贯穿孔对所述基板进行支撑；多个进气通道位于所述承载机构的内部；多个所述进气通道的出气口均位于所述承载机构的顶部，并环绕所述承载机构的边缘设置；背吹执行机构与所述进气通道连通，用于向所述进气通道供应惰性气体；控制模块与所述升降机构及所述背吹执行机构均通信连接，用于控制所述背吹执行机构的背吹流量。

3、有益效果：带有ipa液膜的基板在下降过程中，通过进气通道与背吹执行机构，在基板背面形成气域，可对基板背面及周缘进行惰性气体的供应，避免基板正面的ipa液膜流至基板背面，保持基板表面图案的完整性以及基板背面的洁净，提高基板干燥良品率，抑制基板微粒增加。

4、在一种可选的实施方式中，所述控制模块包括位置检测部、位置判定部、背吹流量调节范围设定部和背吹控制部；位置检测部对所述基板的实时位置进行检测；位置判定部根据所述基板的实时位置与初始位置之间的偏差数据，制定所述背吹执行机构的背吹流量调节策略；背吹流量调节范围设定部根据所述背吹流量调节策略设定所述背吹执行机构的背吹流量调节范围；背吹控制部与所述背吹执行机构通信连接，根据所述背吹流量调节范围控制所述背吹执行机构的背吹流量。

5、有益效果：通过设置位置检测部、位置判定部、背吹流量调节范围设定部和背吹控制部对基板的实时位置进行检测，实现对背吹执行机构的背吹流量的实时控制，当基板与承载机构距离较远时，背吹流量较大，避免过小的背吹流量无法使惰性气体与基板背面及周缘充分接触的问题；当基板与承载机构距离较近时，背吹流量较小，避免过大的背吹流量吹起基板正面的ipa液膜，造成液膜的损坏的问题，实现惰性气体的最优供给。

6、在一种可选的实施方式中，还包括位置传感器，设置在所述升降机构上，与所述位置检测部通信连接。

7、有益效果：位置传感器能够高灵敏地检测基板位置的变化，实现对基板运动轨迹的精准监控，能将感受的位置转换成可用的输出信号，实现了与位置检测部的通信连接。

8、在一种可选的实施方式中，所述控制模块还包括压力检测部、压力判定部、移动速度调节范围设定部和交接控制部；压力检测部对升降机构的实时压力进行检测；压力判定部根据升降机构的实时压力与初始压力之间的偏差数据，制定所述升降机构的移动速度调节策略；移动速度调节范围设定部根据所述移动速度调节策略设定所述升降机构的移动速度调节范围；交接控制部与所述升降机构通信连接，根据所述移动速度调节范围控制所述升降机构的移动速度。

9、有益效果：通过设置压力检测部、压力判定部、移动速度调节范围设定部和交接控制部对基板的实时压力进行检测，来实现对升降机构的移动速度的实时控制，通过升降机构的实时压力与初始压力之间的偏差设定升降机构的速度变化范围，实现基板的稳定交接，避免基板在交接过程中被损坏，并且避免基板表面ipa液膜在交接过程中受到冲击被破坏，提高了基板干燥良率。

10、在一种可选的实施方式中，所述控制模块还包括移动控制部，移动控制部与所述升降机构通信连接，用于根据压力检测部检测的升降机构的实时压力与初始压力之间的偏差数据控制所述升降机构的上升和下降。

11、有益效果：通过设置移动控制部控制所述升降机构的上升和下降，当基板表面带有ipa液膜需要进行干燥处理时，移动控制部控制升降机构带动表面带有ipa液膜的基板下降并放置到承载机构上；当基板完成干燥处理后，移动控制部控制升降机构带动干燥后的基板上升，根据需求实现对升降机构上升和下降的精准控制。

12、在一种可选的实施方式中，还包括负载传感器，设置在所述升降机构上，与所述压力检测部通信连接。

13、有益效果：负载传感器可用于测量升降机构上基板的重量，实现对升降机构的实时压力的检测，能将感受的压力转换成可用的输出信号，实现了与压力检测部的通信连接。

14、在一种可选的实施方式中，还包括旋转机构，设置在所述超临界腔室的第一开口部；所述承载机构的一侧与所述旋转机构可转动地连接，所述承载机构的另一侧具有与所述第一开口部配合以闭合所述超临界腔室的闭合位置，以及远离所述第一开口部以开启所述超临界腔室的开启位置。

15、有益效果：通过设置旋转机构，实现承载机构与超临界腔室的可转动地连接，当承载机构处于闭合位置时，以便将超临界腔室内的压力调整为期望压力，维持处理流体的超临界状态，便于超临界腔室对基板进行超临界干燥处理；当承载机构处于开启位置时，便于对承载机构的检查与维修。

16、在一种可选的实施方式中，所述承载机构在所述闭合位置处于水平状态，且所述第一开口部设置在所述超临界腔室的底部。

17、有益效果：当承载机构在闭合位置处于水平状态时，保证了基板在承载机构上也处于水平位置，确保基板表面的ipa液膜始终平稳的保持在基板表面，避免因为基板的倾斜而从基板表面倾倒流出。将第一开口部设置在所述超临界腔室的底部，既便于基板的放置，也便于承载机构与升降机构的连接，结构设计合理。

18、在一种可选的实施方式中，所述超临界腔室还包括第二开口部，所述第二开口部设置在所述超临界腔室的侧面，用于将基板输送到所述超临界腔室的内部。

19、有益效果：在基板的侧面设置第二开口部，便于将表面带有ipa液膜的基板送入超临界腔室内部，并放置在处于闭合位置的承载机构上；也便于将干燥后的基板送出超临界腔室。

20、在一种可选的实施方式中，所述承载机构包括支撑板件和多个支撑件；支撑板件所述贯穿孔设置在所述支撑板件上；多个支撑件沿支撑板件的周向间隔设置在支撑板件的顶部，用于支撑基板的下表面。

21、有益效果：通过多个支撑件对基板进行支撑，在升降机构控制基板下降交接到承载机构上时，可以实现基板与承载机构之间的柔性交接，避免对基板即基板表面的ipa液膜造成破坏。

22、在一种可选的实施方式中，所述承载机构还包括支撑板件和多个引导件；所述贯穿孔设置在所述支撑板件上；多个所述引导件位于所述支撑板件的顶部，环绕所述支撑板件的外周间隔设置，且所述引导件的顶部设有引导面，用于将基板引导至预设位置。

23、有益效果：通过设置引导件将基板引导至承载机构的预设位置，确保对基板的精确导向和定位。

24、在一种可选的实施方式中，所述承载机构还包括支撑板件；所述贯穿孔设有多个，多个所述贯穿孔沿所述支撑板件的周向间隔设置；所述升降机构包括多个升降件，且多个所述升降件与多个所述贯穿孔一一对应。

25、有益效果：多个升降件的设置，便于升降机构对基板的稳定支撑，保证基板在移动交接的过程中可以保持平稳；通过设置多个贯穿孔，便于与多个升降件配合，使得升降件可以穿过支撑板件对基板进行支撑。

26、在一种可选的实施方式中，所述升降机构还包括连接构件和驱动单元；多个所述升降件的底端均固定连接在所述连接构件上；驱动单元与所述连接构件连接，并与所述控制模块通信连接。

27、有益效果：连接构件的设置便于将多个升降件连接为一体结构，便于多个升降件在驱动单元的驱动下同时上升或下降，保证基板交接过程的平稳性。

28、在一种可选的实施方式中，所述驱动单元包括电机和导向件，所述连接构件与所述导向件螺纹连接，所述导向件与所述升降件平行设置，且所述导向件的底端与所述电机的输出端连接。

29、有益效果：通过电机和导向件的设置，实现了对升降机构的上升和下降的驱动。