折叠头转换器的制作方法

文档序号:35471455发布日期:2023-09-16 15:40阅读:18来源:国知局
折叠头转换器的制作方法

本技术涉及晶圆片推片,具体为折叠头转换器。


背景技术:

1、推片器是用于两个晶圆盒之间相互转换晶圆片的一种工具,转换器是用于半导体行业芯片加工过程中用于晶圆片转移治具,不同的工艺过程使用的盒子材质不同,需要晶圆转化器对其进行行转移,

2、在晶圆片转移治具的过程中,需要用到折叠头转换器,现有的折叠头转换器不易下料,目前行业推片器主要是一个推头用于同规格晶圆盒的转换,在手动上下料的时候,料盒较大,推头部位空间有限,手动上下料推把容易碰伤产品,导致产品品质下降。

3、因此,需要对折叠头转换器进行设计改造,有效的防止不易下料的现象。


技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型的目的在于提供折叠头转换器,具备便于下料的优点,解决了现有的折叠头转换器不易下料,目前行业推片器主要是一个推头用于同规格晶圆盒的转换,在手动上下料的时候,料盒较大,推头部位空间有限,手动上下料推把容易碰伤产品,导致产品品质下降的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:折叠头转换器,包括推杆、转轴、连接板、滑杆、滑套、底板、垫高块、垫脚、推把;

3、所述推杆的右侧固定连接有转轴,所述推杆的右侧通过转轴活动连接有连接板,所述连接板的左侧且位于推杆的底部固定连接有滑杆,所述滑杆的表面滑动连接有滑套,所述滑套的顶部固定连接有底板,所述底板的顶部固定连接有垫高块,所述底板的底部固定连接有垫脚,所述垫脚的数量为两个,所述滑杆的左侧固定连接有推把,所述推把的两侧贯穿至垫脚的外侧。

4、作为本实用新型优选的,所述底板的顶部且位于垫高块的左侧固定连接有导向板,所述导向板的数量为两个。

5、作为本实用新型优选的,所述底板的顶部且位于导向板的左侧固定连接有限位块,所述限位块的数量为两个。

6、作为本实用新型优选的,所述底板的材质为铝合金,所述底板的表面设置有防腐涂层。

7、作为本实用新型优选的,所述推杆的材质为不锈钢,所述推杆的表面设置有防锈涂层。

8、作为本实用新型优选的,所述推把的表面设置有防滑纹,所述推把的形状为圆柱形。

9、与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

10、1、本实用新型折叠头转换器便于下料,可用于不同高度的料盒之间的转换,弥补了不同高度的盒子的转换困难的问题,推头部位可以实现折叠使用,目的在于手动上下料时空间更大,更利于放置产品,方便实现实现了快捷的不同高度的料盒之间的晶圆转换。

11、2、本实用新型通过导向板的设置,能够对料盒进行导向,防止晶圆片脱离底板。



技术特征:

1.折叠头转换器,其特征在于:包括推杆(1)、转轴(2)、连接板(3)、滑杆(4)、滑套(5)、底板(6)、垫高块(7)、垫脚(8)、推把(9);

2.根据权利要求1所述的折叠头转换器,其特征在于:所述底板(6)的顶部且位于垫高块(7)的左侧固定连接有导向板(10),所述导向板(10)的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的折叠头转换器,其特征在于:所述底板(6)的顶部且位于导向板(10)的左侧固定连接有限位块(11),所述限位块(11)的数量为两个。

4.根据权利要求1所述的折叠头转换器,其特征在于:所述底板(6)的材质为铝合金,所述底板(6)的表面设置有防腐涂层。

5.根据权利要求1所述的折叠头转换器,其特征在于:所述推杆(1)的材质为不锈钢,所述推杆(1)的表面设置有防锈涂层。

6.根据权利要求1所述的折叠头转换器,其特征在于:所述推把(9)的表面设置有防滑纹,所述推把(9)的形状为圆柱形。


技术总结
本技术公开了折叠头转换器,包括推杆,所述推杆的右侧固定连接有转轴,所述推杆的右侧通过转轴活动连接有连接板,所述连接板的左侧且位于推杆的底部固定连接有滑杆,所述滑杆的表面滑动连接有滑套,所述滑套的顶部固定连接有底板,所述底板的顶部固定连接有垫高块,所述底板的底部固定连接有垫脚,所述垫脚的数量为两个,所述滑杆的左侧固定连接有推把。本技术折叠头转换器便于下料,可用于不同高度的料盒之间的转换,弥补了不同高度的盒子的转换困难的问题,推头部位可以实现折叠使用,目的在于手动上下料时空间更大,更利于放置产品,方便实现实现了快捷的不同高度的料盒之间的晶圆转换。

技术研发人员:刘红军,秦东魁
受保护的技术使用者:昆山英博尔电子科技有限公司
技术研发日:20230321
技术公布日:2024/1/14
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