一种硅片插片装置及生产线的制作方法

本技术涉及硅片生产设备，尤其是指一种硅片插片装置及生产线。

背景技术：

1、在硅片的生产过程中涉及到插片的工序，需要将多片硅片相互间隔地排列到支架上进行工艺处理，处理完成后再将硅片从支架中取出进行后续的生产工序；

2、现有的生产方法一般是采用人工或机械手逐片拿取硅片并间隔排列到支架上，生产的效率低，且在人工操作的过程中硅片容易受到污染和损伤，影响产品最终的质量。

技术实现思路

1、为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片的插片工序一般是采用人工或机械手逐片拿取硅片进行插片作业，生产的效率低，且在人工操作的过程中硅片容易受到污染和损伤，影响产品最终的质量的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片插片装置，包括，

3、变节距机构，所述变节距机构包括支承架和提升结构，所述支承架包括两个对称设置的竖板，两所述竖板上均设置有多个在竖直方向上间隔排布的支撑柱，且两所述竖板上的支撑柱两两对称组成多个水平的承载位，所述提升结构用于驱动所述支承架在竖直方向上运动；

4、传送机构，所述传送机构用于将硅片传送至所述承载位中；

5、抓取机构，所述抓取机构包括多个沿竖直方向间隔排布的基板，所述基板的排布间距与各所述竖板上的支撑柱的排布间距相对应，且所述基板上均设置有吸盘组件。

6、在本实用新型的一个实施例中，所述抓取机构包括安装板，所述安装板上间隔设置有多个相互平行的凹槽，所述基板分别插设于各所述凹槽中。

7、在本实用新型的一个实施例中，所述吸盘组件包括真空吸盘，所述真空吸盘与所述基板相连，所述真空吸盘连接有气管，所述气管连接有真空发生装置。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述竖板上均间隔设置有多个在竖直方向上间隔排布的插孔，所述插孔水平设置，所述支撑柱分别插设于各所述插孔中。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述竖板上设置有多个分别贯穿各所述插孔的销孔，且靠近所述支撑柱一端的侧面上垂直设置有与所述销孔相匹配的连接孔，所述支撑柱插设于所述插孔中并通过销轴固定。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述支承架还包括横板，所述横板的两端分别与两所述竖板相连，所述横板上对称设置有两个第一驱动源，所述第一驱动源的输出端分别连接有一个在竖直方向上延伸的夹板，两所述夹板分别位于各所述承载位的两侧并相互对称。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述传送机构包括支架，所述支架上对称设置有两组延伸向所述支承架的皮带组件，且所述支架上设置有第二驱动源，所述第二驱动源驱动两所述皮带组件同步转动。

12、在本实用新型的一个实施例中，两所述竖板上的支撑柱的自由端相互间隔形成在竖直方向上延伸的通路。

13、在本实用新型的一个实施例中，所述提升结构可以是直线运动模组，所述直线运动模组竖直设置，且所述直线运动模组的输出端连接所述支承架。

14、一种生产线，包括如上述任意一项所述的硅片插片装置。

15、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

16、本实用新型所述的一种硅片插片装置及生产线，包括变节距机构、传送机构和抓取机构，变节距机构包括支承架和提升结构，提升结构用于驱动支承架在竖直方向上运动，支承架包括两个竖板，两竖板上均设置有在竖直方向上间隔排布的支撑柱，两竖板上的支撑柱两两对称组成多个用于承载硅片的承载位；传送机构用于将硅片传送至承载位上；抓取机构能够对排列在支承架上的硅片同时进行抓取；通过本实用新型的硅片插片装置，能够将硅片以预定的间距快速地排列起来，硅片的整个传送和排列的过程都是通过机器自动完成的，耗费的时间少，效率高，且对硅片造成损坏和污染的可能性小；并且通过配套的抓取机构能够对排列好的硅片同时进行抓取，能够提高插片的效率并降低生产的成本，整个装置的结构简单，安装及维护方便，适于实用。

技术特征：

1.一种硅片插片装置，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：所述抓取机构包括安装板，所述安装板上间隔设置有多个相互平行的凹槽，所述基板分别插设于各所述凹槽中。

3.根据权利要求2所述的硅片插片装置，其特征在于：所述吸盘组件包括真空吸盘，所述真空吸盘与所述基板相连，所述真空吸盘连接有气管，所述气管连接有真空发生装置。

4.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：所述竖板上均间隔设置有多个在竖直方向上间隔排布的插孔，所述插孔水平设置，所述支撑柱分别插设于各所述插孔中。

5.根据权利要求4所述的硅片插片装置，其特征在于：所述竖板上设置有多个分别贯穿各所述插孔的销孔，且靠近所述支撑柱一端的侧面上垂直设置有与所述销孔相匹配的连接孔，所述支撑柱插设于所述插孔中并通过销轴固定。

6.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：所述支承架还包括横板，所述横板的两端分别与两所述竖板相连，所述横板上对称设置有两个第一驱动源，所述第一驱动源的输出端分别连接有一个在竖直方向上延伸的夹板，两所述夹板分别位于各所述承载位的两侧并相互对称。

7.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：所述传送机构包括支架，所述支架上对称设置有两组延伸向所述支承架的皮带组件，且所述支架上设置有第二驱动源，所述第二驱动源驱动两所述皮带组件同步转动。

8.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：两所述竖板上的支撑柱的自由端相互间隔形成在竖直方向上延伸的通路。

9.根据权利要求1所述的硅片插片装置，其特征在于：所述提升结构可以是直线运动模组，所述直线运动模组竖直设置，且所述直线运动模组的输出端连接所述支承架。

10.一种生产线，其特征在于：包括如权利要求1-9任意一项所述的硅片插片装置。

技术总结
本技术涉及一种硅片插片装置及生产线，包括变节距机构，其包括支承架和提升结构，支承架包括两个对称设置的竖板，竖板上均设置有多个在竖直方向上间隔排布的支撑柱，且两竖板上的支撑柱两两对称组成多个水平的承载位，提升结构用于驱动支承架在竖直方向上运动；传送机构，其用于将硅片传送至承载位中；抓取机构，其包括多个沿竖直方向间隔排布的基板，基板的排布间距与各竖板上的支撑柱的排布间距相对应，且基板上均设置有吸盘组件。通过本技术的硅片插片装置，能够将硅片以预定的间距快速地排列起来，效率高且对硅片造成损坏和污染的可能性小；并且通过抓取机构能够对硅片同时进行抓取，提高了插片的效率并降低了生产的成本，适于实用。

技术研发人员：戴军,罗银兵,李圣鹤
受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日：20230324
技术公布日：2024/1/15