一种固晶摆臂的制作方法

本技术涉及固晶，尤其涉及一种固晶摆臂。

背景技术：

1、现有技术中通过固晶机进行固晶，固晶机包括摆臂、吸嘴、以及驱动摆臂进行上下运动的电机，吸嘴固定安装在摆臂上，当摆臂摆动至晶圆环处时，电机驱动摆臂向下移动，由吸嘴吸取晶圆后，电机驱动摆臂向上移动，然后摆臂摆动至基板位置，电机驱动摆臂向下移动，由吸嘴将晶圆固晶到基板上。

2、在现有技术中，由于摆臂的质量较大，常时间用电机驱动摆臂进行z轴的上下移动，使的电机及其传动机构磨损较大，会影响到电机及其传动机构的使用寿命。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中电机驱动摆臂进行z轴的上下移动，使的电机及其传动机构磨损较大的问题，本实用新型提供了一种固晶摆臂，包括摆臂本体、吸嘴、第一电机，该固晶摆臂还包括第一传动机构，所述第一电机安装在所述摆臂本体上，所述第一电机包括电机定子和电机动子，所述电机动子能够沿着所述电机定子做直线运动，所述第一传动机构一端与所述电机动子相连，所述第一传动机构另一端与所述吸嘴相连，通过所述电机动子(32)的上下运动，使所述第一传动机构带动所述吸嘴在摆臂本体上进行上下移动。

2、作为本实用新型的进一步改进，所述传动机构包括支架、轴、轴承，所述电机动子与所述支架相连，所述支架与所述轴相连，所述轴与所述轴承的轴承内圈相连，所述吸嘴与所述轴承相连。

3、作为本实用新型的进一步改进，该固晶摆臂还包括读码器、光栅、控制模块，所述读码器用于读取光栅的位置，所述读码器与所述控制模块电性相连，所述控制模块与所述第一电机电性相连，所述控制模块根据读码器读取光栅的位置控制所述电机动子向上运动或向下运动；所述读码器固定在固晶摆臂的指定位置、所述光栅能够跟随吸嘴进行同步移动；或者，所述光栅固定在固晶摆臂的指定位置、所述读码器能够跟随吸嘴进行同步移动。

4、作为本实用新型的进一步改进，所述光栅与所述支架相连，所述读码器安装在所述摆臂本体上。

5、作为本实用新型的进一步改进，该固晶摆臂还包括导向结构、导向轴，所述导向轴一端伸入所述导向结构内，且所述导向轴能够在所述导向结构内上下运动，所述导向轴另一端与所述支架相连。

6、作为本实用新型的进一步改进，该固晶摆臂还包括第二电机、第二传动机构，所述第二电机安装在所述摆臂本体上，所述第二传动机构一端与所述第二电机的转动轴相连，所述第二传动机构另一端与所述吸嘴相连，通过所述第二电机的转动轴的转动，使所述第二传动机构带动所述吸嘴旋转。

7、作为本实用新型的进一步改进，所述第二传动机构为传动带，所述吸嘴安装在轴承上，所述传动带一端套装在所述第二电机的转动轴上，所述传动带另一端套装在所述轴承上，通过所述第二电机的转动轴的转动，使所述传动带带动所述轴承转动进而使所述吸嘴旋转。

8、作为本实用新型的进一步改进，该固晶摆臂还包括第三电机，所述第三电机用于驱动所述摆臂本体进行左右摆动。

9、作为本实用新型的进一步改进，所述第二电机位置邻近所述第三电机。

10、本实用新型的有益效果是：本实用新型通过第一电机和第一传动机构驱动吸嘴在摆臂本体上进行上下移动，由于吸嘴的质量较小，常时间使用，对第一电机和第一传动机构的磨损较小，能够有效延长第一电机和第一传动机构的使用寿命。

技术特征：

1.一种固晶摆臂，包括摆臂本体(1)、吸嘴(2)、第一电机(3)，其特征在于：该固晶摆臂还包括第一传动机构，所述第一电机(3)安装在所述摆臂本体(1)上，所述第一电机(3)包括电机定子(31)和电机动子(32)，所述电机动子(32)能够沿着所述电机定子(31)做直线运动，所述第一传动机构一端与所述电机动子(32)相连，所述第一传动机构另一端与所述吸嘴(2)相连，通过所述电机动子(32)的上下运动，使所述第一传动机构带动所述吸嘴(2)在摆臂本体(1)上进行上下移动。

2.根据权利要求1所述的固晶摆臂，其特征在于：所述传动机构包括支架(11)、轴(12)、轴承(6)，所述电机动子(32)与所述支架(11)相连，所述支架(11)与所述轴(12)相连，所述轴(12)与所述轴承(6)的轴承内圈相连，所述吸嘴(2)与所述轴承(6)相连。

3.根据权利要求2所述的固晶摆臂，其特征在于：该固晶摆臂还包括读码器(7)、光栅(8)、控制模块，所述读码器(7)用于读取光栅(8)的位置，所述读码器(7)与所述控制模块电性相连，所述控制模块与所述第一电机(3)电性相连，所述控制模块根据读码器(7)读取光栅(8)的位置控制所述电机动子(32)向上运动或向下运动；所述读码器(7)固定在固晶摆臂的指定位置、所述光栅(8)能够跟随吸嘴(2)进行同步移动；或者，所述光栅(8)固定在固晶摆臂的指定位置、所述读码器(7)能够跟随吸嘴(2)进行同步移动。

4.根据权利要求3所述的固晶摆臂，其特征在于：所述光栅(8)与所述支架(11)相连，所述读码器(7)安装在所述摆臂本体(1)上。

5.根据权利要求2所述的固晶摆臂，其特征在于：该固晶摆臂还包括导向结构(4)、导向轴(5)，所述导向轴(5)一端伸入所述导向结构(4)内，且所述导向轴(5)能够在所述导向结构(4)内上下运动，所述导向轴(5)另一端与所述支架(11)相连。

6.根据权利要求1所述的固晶摆臂，其特征在于：该固晶摆臂还包括第二电机(9)、第二传动机构，所述第二电机(9)安装在所述摆臂本体(1)上，所述第二传动机构一端与所述第二电机(9)的转动轴相连，所述第二传动机构另一端与所述吸嘴(2)相连，通过所述第二电机(9)的转动轴的转动，使所述第二传动机构带动所述吸嘴(2)旋转。

7.根据权利要求6所述的固晶摆臂，其特征在于：所述第二传动机构为传动带，所述吸嘴(2)安装在轴承(6)上，所述传动带一端套装在所述第二电机(9)的转动轴上，所述传动带另一端套装在所述轴承(6)上，通过所述第二电机(9)的转动轴的转动，使所述传动带带动所述轴承(6)转动进而使所述吸嘴(2)旋转。

8.根据权利要求6至7任一项所述的固晶摆臂，其特征在于：该固晶摆臂还包括第三电机(10)，所述第三电机(10)用于驱动所述摆臂本体(1)进行左右摆动。

9.根据权利要求8所述的固晶摆臂，其特征在于：所述第二电机(9)位置邻近所述第三电机(10)。

技术总结
本技术提供了一种固晶摆臂，包括摆臂本体、吸嘴、第一电机，该固晶摆臂还包括第一传动机构，所述第一电机安装在所述摆臂本体上，所述第一传动机构一端与所述第一电机的转动轴相连，所述第一传动机构另一端与所述吸嘴相连，通过所述第一电机的转动轴的转动，使所述第一传动机构带动所述吸嘴在摆臂本体上进行上下移动。本技术的有益效果是：本技术通过第一电机和第一传动机构驱动吸嘴在摆臂本体上进行上下移动，由于吸嘴的质量较小，常时间使用，对第一电机和第一传动机构的磨损较小，能够有效延长第一电机和第一传动机构的使用寿命。

技术研发人员：邓应铖,王飞,吴勇
受保护的技术使用者：深圳市卓兴半导体科技有限公司
技术研发日：20230508
技术公布日：2024/1/15