一种晶圆吸盘粘合夹具的制作方法

本技术涉及半导体生产制造，具体为一种晶圆吸盘粘合夹具。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶片，也就是晶圆。

2、在对晶圆进行加工时，常采用晶圆手臂对晶圆进行夹取、固定，为保证晶圆不会轻易从晶圆手臂脱落，一般还会在晶圆手臂上设置吸盘，用以吸附晶圆，在现有技术中该部件多为陶瓷烧制而成，加工难度大，成本高，易碎等缺点。

3、如公告号cn218241799u的中国实用新型专利公开了吸盘及晶圆手臂，其公开的吸盘及晶圆手臂采用陶瓷手臂加工难度大，成本高及易碎，使用不便。

4、由此可见，提供一种成本低且稳定可靠的晶圆吸盘粘合夹具为本领域亟需解决的问题。

技术实现思路

1、针对现有晶圆手臂上设置的吸盘所存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆吸盘粘合夹具，其成本低且稳定可靠性，可有效解决背景技术部分中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供的晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座，所述底座的上端设置有多个定位销，所述底座的上端开设有底模槽，所述底模槽的底部开设有多个模孔，所述底座的上端设置有产品下部，所述底座的上方设置有产品上部，所述底座的上方设置有上盖板，所述上盖板的下端开设有多个定位孔，所述上盖板的下端设置有顶模。

3、优选的，所述定位销设置有四个，四个所述定位销均匀分布在底座的四个方向上。

4、通过上述技术方案，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单。

5、优选的，所述底座开设四个圆孔且圆孔内开设有螺纹，所述定位销的下端开设有螺纹，所述底座与定位销螺纹连接。

6、通过上述技术方案，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，定位销磨损或损坏时便于更换，模块化的设置制造成本低，便于维护。

7、优选的，所述底模槽与产品下部相适配，所述产品下部与产品上部相适配。

8、通过上述技术方案，设置了底模槽，晶圆吸盘粘合夹具在使用时将产品下部放置在底模槽内部，将产品下部上端和产品上部下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部放置在产品上部上端，上盖板通过定位销与定位孔限位连接，使顶模与底模槽相接触，将底座与上盖板的上下端施加适当压力，使产品上部与产品下部牢固粘接，设置了模孔，便于脱模，避免产品下部与底模槽之间产生真空导致脱模困难。

9、优选的，所述上盖板的尺寸与底座的尺寸相同，所述上盖板开设四个定位孔与定位销相适配。

10、通过上述技术方案，设置了尺寸相同的上盖板与底座，便于大规模制造，制造成本低，上盖板开设的定位孔与定位销相适配，定位效果好，粘合作业操作简单。

11、优选的，所述顶模与底模槽相适配，所述底座、定位销、上盖板的材质为耐磨合金材料，所述产品下部和产品上部的材质为铝合金材料。

12、通过上述技术方案，设置了耐磨合金材料的底座、定位销、上盖板，提升了夹具的使用寿命，产品下部和产品上部的材质为铝合金材料，相较于现有陶瓷烧制的该部件，加工难度小，制造成本低，耐用，不易碎，制造周期短，非常实用。

13、与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆吸盘粘合夹具相对于现有技术，具有如下有益效果：

14、1.该晶圆吸盘粘合夹具，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，定位销磨损或损坏时便于更换，模块化的设置制造成本低，便于维护，设置了底模槽，晶圆吸盘粘合夹具在使用时将产品下部放置在底模槽内部，将产品下部上端和产品上部下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部放置在产品上部上端，上盖板通过定位销与定位孔限位连接，使顶模与底模槽相接触，将底座与上盖板的上下端施加适当压力，使产品上部与产品下部牢固粘接，设置了模孔，便于脱模，避免产品下部与底模槽之间产生真空导致脱模困难；

15、2.该晶圆吸盘粘合夹具，设置了尺寸相同的上盖板与底座，便于大规模制造，制造成本低，上盖板开设的定位孔与定位销相适配，定位效果好，粘合作业操作简单，设置了耐磨合金材料的底座、定位销、上盖板，提升了夹具的使用寿命，产品下部和产品上部的材质为铝合金材料，相较于现有陶瓷烧制的该部件，加工难度小，制造成本低，耐用，不易碎，制造周期短，非常实用。

技术特征：

1.一种晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端设置有多个定位销(2)，所述底座(1)的上端开设有底模槽(3)，所述底模槽(3)的底部开设有多个模孔(4)，所述底座(1)的上端设置有产品下部(5)，所述底座(1)的上方设置有产品上部(6)，所述底座(1)的上方设置有上盖板(7)，所述上盖板(7)的下端开设有多个定位孔(8)，所述上盖板(7)的下端设置有顶模(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述定位销(2)设置有四个，四个所述定位销(2)均匀分布在底座(1)的四个方向上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述底座(1)开设四个圆孔且圆孔内开设有螺纹，所述定位销(2)的下端开设有螺纹，所述底座(1)与定位销(2)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述底模槽(3)与产品下部(5)相适配，所述产品下部(5)与产品上部(6)相适配。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述上盖板(7)的尺寸与底座(1)的尺寸相同，所述上盖板(7)开设四个定位孔(8)与定位销(2)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述顶模(9)与底模槽(3)相适配，所述底座(1)、定位销(2)、上盖板(7)的材质为耐磨合金材料，所述产品下部(5)和产品上部(6)的材质为铝合金材料。

技术总结
本技术涉及半导体生产制造技术领域，尤其为一种晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座，所述底座的上端设置有多个定位销，所述底座的上端开设有底模槽，所述底模槽的底部开设有多个模孔，所述底座的上端设置有产品下部，所述底座的上方设置有产品上部，所述底座的上方设置有上盖板，所述上盖板的下端开设有多个定位孔。该晶圆吸盘粘合夹具，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，模块化的设置制造成本低，便于维护。

技术研发人员：周荣华,陈磊
受保护的技术使用者：上海圣永丞半导体科技有限公司
技术研发日：20230521
技术公布日：2024/1/13