一种具有缓冲及压力闭环的ZR模组的制作方法

本技术属于固晶贴片机领域，尤其涉及一种具有缓冲及压力闭环的zr模组。

背景技术：

1、晶圆贴片机是用来实现高速、高精度地贴放元器件的设备。晶圆贴片机对精度的要求主要有四个维度，x/y位置、贴装后平整度、芯片角度和芯片在取晶和贴装时的压力。芯片角度和压力由固定在搬运机构上的r向驱动装置和z向驱动装置决定，通常r向驱动装置和z向驱动装置的精度和模块的重量成正比，r向驱动装置和z向驱动装置的精度越高，相应的重量越重，而r向驱动装置和z向驱动装置的重量越重时，搬运机构的负载会越重，又反向影响整机的效率和稳定性。

2、为解决贴装压力的问题一般会在z向驱动装置上增加力矩电机或者压力传感器，再通过其它机构与r向驱动装置连接，在r向驱动装置工作时受连接机构的影响，不管是精度或者马达传动效率均有损失。因此，为提升精度，将r向驱动装置直接固定在z向驱动装置上随动。但是，当r向驱动装置固定在z向驱动装置上后，z向驱动装置的负载会增加，再加上原有解决压力的结构，重量会大幅增加，从而增加z向驱动装置负荷，降低z向驱动装置寿命。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有缓冲及压力闭环的zr模组，具备减少z向驱动装置输出频率，减少z向驱动装置负载的优点，解决了当r向驱动装置固定在z向驱动装置上后，z向驱动装置的负载会增加，再加上原有解决压力的结构，重量会大幅增加，从而增加z向驱动装置负荷，降低z向驱动装置寿命的问题。

2、为解决上述的技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种具有缓冲及压力闭环的zr模组，应用于晶圆贴片机，该晶圆贴片机上设置有r向驱动装置和z向驱动装置，所述r向驱动装置固定连接在所述z向驱动装置的输出端，该具有缓冲及压力闭环的zr模组包括：

4、安装组件，所述安装组件设置在所述r向驱动装置的输出端；

5、连接外杆，所述连接外杆设置在所述安装组件上；

6、连接内杆，所述连接内杆套设在所述连接外杆内部，且所述连接内杆与所述连接外杆滑动连接；

7、吸嘴组件，所述吸嘴组件设置在所述连接内杆远离所述安装组件一端；

8、压力感应装置，所述压力感应装置与所述z向驱动装置电连接，且所述压力感应装置设置在所述吸嘴组件上与所述连接外杆对应位置；

9、其中，所述吸嘴组件受到外界压力时通过所述连接内杆沿所述连接外杆朝向所述安装组件方向移动预设行程后触发所述压力感应装置，所述压力感应装置启动所述z向驱动装置。

10、进一步地，所述连接外杆的外表面套设有压缩弹簧，所述压缩弹簧位于所述安装组件与所述吸嘴组件之间。

11、进一步地，所述安装组件包括安装部件，所述安装部件连接一端与所述驱动装置的输出端连接，所述安装部件的另一端与所述连接外杆连接，所述安装部件的外表面套设有调节部件，所述调节部件与所述安装部件螺纹连接。

12、进一步地，所述连接内杆通过直线运动装置沿所述连接外杆朝向所述安装组件移动预设行程，所述预设行程为0.2-2mm。

13、进一步地，所述直线运动装置至少包括以下一种：花键、直线轴承、滚珠导套。

14、进一步地，所述吸嘴组件包括吸嘴座，所述吸嘴座连接在所述连接内杆远离所述安装组件一端，所述压力感应装置设置在所述吸嘴座上与所述连接外杆对应位置，所述吸嘴座上远离所述连接内杆一侧设置有吸嘴本体。

15、进一步地，所述压力感应装置为压敏元件。

16、借由上述技术方案，本实用新型提供了一种具有缓冲及压力闭环的zr模组，至少具备以下有益效果：

17、该具有缓冲及压力闭环的zr模组，通过在安装组件上设置连接外杆，连接外杆内套设连接内杆，且连接内杆与连接外杆滑动连接，连接内杆远离安装组件一端设置有吸嘴组件，吸嘴组件上与连接外杆对应位置设置有压力感应装置，压力感应装置与z向驱动装置电连接，当吸嘴组件通过连接内杆沿连接外杆朝向安装组件方向移动预设行程时，连接外杆触发压力感应装置，压力感应装置触发后启动z向驱动装置启动，从而减少z向驱动装置的运行频率，减少z向驱动装置的负荷，提高使用寿命。

技术特征：

1.一种具有缓冲及压力闭环的zr模组，应用于晶圆贴片机，该晶圆贴片机上设置有r向驱动装置和z向驱动装置，所述r向驱动装置固定连接在所述z向驱动装置的输出端，其特征在于，该具有缓冲及压力闭环的zr模组包括：

2.根据权利要求1所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述连接外杆(200)的外表面套设有压缩弹簧(600)，所述压缩弹簧(600)位于所述安装组件(100)与所述吸嘴组件(400)之间。

3.根据权利要求2所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述安装组件(100)包括安装部件(110)，所述安装部件(110)的一端与所述z向驱动装置的输出端连接，所述安装部件(110)的另一端与所述连接外杆(200)连接，所述安装部件(110)的外表面套设有调节部件(120)，所述调节部件(120)与所述安装部件(110)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述连接内杆(300)通过直线运动装置沿所述连接外杆(200)朝向所述安装组件(100)方向移动预设行程，所述预设行程为0.2-2mm。

5.根据权利要求4所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述直线运动装置至少包括以下一种：花键、直线轴承、滚珠导套。

6.根据权利要求1所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述吸嘴组件(400)包括吸嘴座(410)，所述吸嘴座(410)连接在所述连接内杆(300)远离所述安装组件(100)一端，所述压力感应装置(500)设置在所述吸嘴座(410)上与所述连接外杆(200)对应位置，所述吸嘴座(410)上远离所述连接内杆(300)一侧设置有吸嘴本体(420)。

7.根据权利要求1所述的具有缓冲及压力闭环的zr模组，其特征在于，所述压力感应装置(500)为压敏元件。

技术总结
本技术属于固晶贴片机领域，尤其涉及一种具有缓冲及压力闭环的ZR模组，该具有缓冲及压力闭环的ZR模组包括：安装组件，所述安装组件设置在所述R向驱动装置的输出端；连接外杆，所述连接外杆设置在所述安装组件上；连接内杆，所述连接内杆与所述连接外杆滑动连接；吸嘴组件，所述吸嘴组件设置在所述连接内杆远离所述安装组件一端；压力感应装置，所述压力感应装置与所述Z向驱动装置电连接。本技术当吸嘴组件通过连接内杆沿连接外杆朝向安装组件方向移动时，连接外杆能够触发压力感应装置，压力感应装置触发后启动Z向驱动装置启动，从而减少Z向驱动装置的运行频率，减少Z向驱动装置的负荷，提高使用寿命。

技术研发人员：陈官海,曾逸
受保护的技术使用者：深圳市卓兴先进封装技术有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15