一种晶圆片扫描监测器的制作方法

本技术涉及晶圆片扫描，具体为一种晶圆片扫描监测器。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为硅晶圆片，晶圆的原始材料是硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，硅晶棒再经过切段、滚磨、切片等工序，包装后，即成为制作集成电路的基本原料-硅晶圆片。

2、在晶圆片生产过程中，需要对其进行扫描检测，便于后续处理，但现有的晶圆片扫描监测器大多数无法对不同尺寸的晶圆片进行快速夹持固定，从而不利于对晶圆片位置的精确扫描，当晶圆片发生严重损坏或有限损坏时，不能被及时监测到，不利于工作效率的提高，基于此，提出一种晶圆片扫描监测器以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆片扫描监测器，具备适用性较广，操作便捷等优点，解决了不同尺寸的晶圆片无法被进行快速夹持固定，不利于对晶圆片位置的精确扫描，当晶圆片发生损坏时，不能被及时监测到的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片扫描监测器，包括扫描检测器本体，所述扫描检测器本体内侧壁底部的左右两端之间固定有固定板，所述扫描检测器本体内设有固定机构，所述扫描检测器本体右侧的顶部固定有安装板，所述安装板上设有调节机构，所述扫描检测器本体下表面的四周均固定有底座，所述扫描检测器本体的正面铰接有箱门；

3、所述固定机构包括固定于扫描检测器本体内底壁中间的双轴电机，所述双轴电机的输出轴固定有第一螺杆，所述第一螺杆的外表面螺纹连接有移动块，所述移动块的顶部固定有移动板，所述移动板上开设有连接杆，所述连接杆的内壁滑动连接有移动孔，两个所述移动孔相对的一面均固定有夹持板，两个所述移动孔相背的一面均固定有挡板，所述移动孔的外表面套接有弹簧，所述固定机构还包括开设于固定板上表面的滑动孔。

4、进一步，所述调节机构包括固定于安装板右侧顶部的电机，所述电机的输出轴固定有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有两个滑块，两个所述滑块的底部固定有连接板，所述连接板的下表面固定有电动推杆，所述连接板下表面的左右两端固定有伸缩杆，两个所述伸缩杆的底部固定有调节板。

5、进一步，所述移动块的顶部贯穿至滑动孔的外部并与其滑动连接，两个所述第一螺杆的螺纹方向相反。

6、进一步，所述弹簧位于夹持板与移动板之间，所述移动块的截面为凸形。

7、进一步，所述夹持板的截面为弧形，所述调节板的下表面与扫描组件的顶部相固定。

8、进一步，所述电动推杆的下表面与调节板的上表面相固定，所述螺纹杆的左端贯穿至扫描检测器本体内左侧壁的顶部并与其转动连接。

9、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

10、该晶圆片扫描监测器，通过固定机构能够对不同尺寸的晶圆片进行固定夹持，同时配合调节机构及扫描组件使得能够较为快速便捷对晶圆片各位置进行扫描监测，以便于当晶圆片发生严重损坏或有限损坏时，均能被及时监测，增加设备的适用性的同时也提高了工作效率，利于后续处理。

技术特征：

1.一种晶圆片扫描监测器，包括扫描检测器本体(1)，其特征在于：所述扫描检测器本体(1)内侧壁底部的左右两端之间固定有固定板(2)，所述扫描检测器本体(1)内设有固定机构(3)，所述扫描检测器本体(1)右侧的顶部固定有安装板(5)，所述安装板(5)上设有调节机构(4)，所述扫描检测器本体(1)下表面的四周均固定有底座(7)，所述扫描检测器本体(1)的正面铰接有箱门(8)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片扫描监测器，其特征在于：所述调节机构(4)包括固定于安装板(5)右侧顶部的电机(401)，所述电机(401)的输出轴固定有螺纹杆(402)，所述螺纹杆(402)的外表面螺纹连接有两个滑块(403)，两个所述滑块(403)的底部固定有连接板(404)，所述连接板(404)的下表面固定有电动推杆(405)，所述连接板(404)下表面的左右两端固定有伸缩杆(406)，两个所述伸缩杆(406)的底部固定有调节板(407)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片扫描监测器，其特征在于：所述移动块(303)的顶部贯穿至滑动孔(309)的外部并与其滑动连接，两个所述第一螺杆(302)的螺纹方向相反。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片扫描监测器，其特征在于：所述弹簧(308)位于夹持板(306)与移动板(304)之间，所述移动块(303)的截面为凸形。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆片扫描监测器，其特征在于：所述夹持板(306)的截面为弧形，所述调节板(407)的下表面与扫描组件(6)的顶部相固定。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆片扫描监测器，其特征在于：所述电动推杆(405)的下表面与调节板(407)的上表面相固定，所述螺纹杆(402)的左端贯穿至扫描检测器本体(1)内左侧壁的顶部并与其转动连接。

技术总结
本技术涉及一种晶圆片扫描监测器，包括扫描检测器本体，所述扫描检测器本体内侧壁底部的左右两端之间固定有固定板，所述扫描检测器本体内设有固定机构，所述扫描检测器本体右侧的顶部固定有安装板，所述安装板上设有调节机构，扫描检测器本体下表面的四周均固定有底座，扫描检测器本体的正面铰接有箱门；固定机构包括固定于扫描检测器本体内底壁中间的双轴电机。该晶圆片扫描监测器通过固定机构能够对不同尺寸的晶圆片进行固定夹持，同时配合调节机构及扫描组件使得能够较为快速便捷对晶圆片各位置进行扫描监测，便于当晶圆片发生严重损坏或有限损坏时，均能被及时监测，增加设备的适用性的同时也提高了工作效率，利于后续处理。

技术研发人员：张飞
受保护的技术使用者：上海芯承电子科技有限公司
技术研发日：20230731
技术公布日：2024/1/25