检测窗口确定方法及装置与流程

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种检测窗口确定方法及装置。

背景技术：

1、cmp（chemical mechanical polish，化学机械研磨）是目前半导体制造工艺中常用的平坦化工艺。为了能够稳定控制cmp材料去除量，提高工艺控制能力和产品良率，需要进行cmp终点检测。

2、cmp终点检测通常使用矩形窗口来判断当前曲线斜率范围，作为检测研磨是否进入下一阶段或者到达研磨终点的判断标准。目前，通常是工程师根据经验设置cmp终点检测中的检测窗口，反复尝试选择不同窗口大小，并重复测试不同数据来验证窗口设定的合理性，这种方式不仅会使得检测窗口设定的准确性低，导致工艺控制能力变差、降低产品良率，而且检测窗口设定效率比较低。

3、综上所述，如何提高cmp终点检测中检测窗口设置的准确性和效率，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术的目的是提供一种检测窗口确定方法及装置，用于提高cmp终点检测中检测窗口设置的准确性和效率。

2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种检测窗口确定方法，检测窗口应用于cmp终点检测中，所述检测窗口确定方法包括：

4、获取用于进行cmp终点检测的终点检测曲线；

5、对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；

6、获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

7、获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度。

8、可选地，对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度，包括：

9、按照预设时长或预设分段数量对所述终点检测曲线分段线性拟合，得到各分段对应的拟合直线；

10、获取各所述分段和对应的所述拟合直线间的距离数组，并根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度。

11、可选地，根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度，包括：

12、利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度；

13、根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度。

14、可选地，根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

15、根据各所述距离数组的离散程度，计算离散程度平均值；

16、根据所述离散程度平均值确定所述检测窗口的高度。

17、可选地，利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度，包括：

18、利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的标准差；

19、根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

20、根据各所述距离数组的标准差确定所述检测窗口的高度。

21、可选地，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段，包括：

22、根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段；

23、其中，在第一个所述斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，在最后一个所述斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，在剩余所述斜率左端点及右端点均为斜率等于0的时间点，且各所述斜率阶段在满足对应时长大于所述最小时长的条件下包含最少数量的斜率等于0的时间点。

24、可选地，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度，包括：

25、利用下一个所述斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；

26、当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和下一个所述斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度；当下一个所述斜率阶段的平均斜率等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和所述当前斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

27、可选地，在利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率之前，还包括：

28、删除所述斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率。

29、可选地，获取终点检测曲线，包括：

30、获取多个终点检测曲线；

31、所述检测窗口确定方法还包括：

32、控制各所述终点检测曲线划分的斜率阶段数量及相应所述斜率阶段的检测窗口的类型一致；

33、从各所述终点检测曲线对应的检测窗口的高度中获取最大高度，并分别从各所述终点检测曲线的各相应所述斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，以得到各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度。

34、可选地，还包括：

35、利用各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，对验证曲线进行终点检测；

36、若终点检测正确，则对各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。

37、一种检测窗口确定装置，检测窗口应用于cmp终点检测中，所述检测窗口确定装置包括：

38、第一获取模块，用于获取用于进行cmp终点检测的终点检测曲线；

39、分段拟合模块，用于对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；

40、划分确定模块，用于获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

41、确定模块，用于获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度。

42、本技术提供了一种检测窗口确定方法及装置，其中，检测窗口应用于cmp终点检测中，该方法包括：获取终点检测曲线；对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；获取终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；获取斜率阶段中各时间点的斜率，利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。

43、本技术公开的上述技术方案，对终点检测曲线进行分段拟合并基于分段拟合结果确定检测窗口的高度，且根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点对终点检测曲线进行斜率阶段的划分，然后，根据检测窗口的高度以及划分得到的各斜率阶段的斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度和类型，以实现基于终点检测曲线预测确定cmp终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高cmp终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。

44、本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。