一种适用多角度观测的样品台的制作方法

本申请涉及样品台的领域，尤其是涉及一种适用多角度观测的样品台。

背景技术：

1、扫描电子显微镜（sem）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

2、在扫描电子显微镜的测试过程中，对样品进行形貌分析或ebsd表征等测试时，扫描电镜的电子束与观察面的夹角有不同的要求。

3、当需要对同一样品进行不同的测试时，要根据测试所需的夹角需要频繁更换不同的样品台，极大地拖慢了测试效率。

技术实现思路

1、为了提高扫描电镜样品台角度切换的效率，本申请提供一种适用多角度观测的样品台，具有多个测试角度，能够满足不同的测试需要，有效提高扫描电镜的测试效率。

2、本申请提供的一种适用多角度观测的样品台采用如下的技术方案：

3、一种适用多角度观测的样品台，包括载台，所述载台上成型有多个承载斜面，多个所述承载斜面根据测试需要分别设置为不同倾斜角度，所述载台上可拆卸安装有样品座，所述样品座分别位于各承载斜面及载台的水平面上，所述样品座用于放置样品，所述载台底部设置有调节组件，所述调节组件用于在水平方向调整载台的位置。

4、通过采用上述技术方案，通过将用于放置样品的样品座安装在倾斜角度不同的承载斜面上，将扫描电镜的电子束打向不同的样品座，即可使扫描电镜的电子束与不同样品座的观察面形成不同的夹角，以满足不同测试的需要，当需要对同一样品进行多种角度不同的测试时，无需反复更换样品座，省下了大量抽、放真空的时间，有效提高了测试效率；同时，利用调节组件更便于载台与扫描电镜配合，使电子束打向不同角度的样品座。

5、可选的，所述载台为方形结构，所述承载斜面设有三个并分别位于载台三边。

6、通过采用上述技术方案，通过设置三个承载斜面配合载台的水平面能够使样品座与电子束有四种不同的夹角，进而满足不同的测试需要。

7、可选的，所述承载斜面朝向载台内侧。

8、通过采用上述技术方案，通过使承载斜面朝向载台内侧，更便于扫描电镜对样品座上的样品进行测试，提高使用的便捷性，同时如果样品从倾斜的样品座上滑落，样品将会落在载台中间的水平面上，避免样品落入外部其他地方，污染其他设备。

9、可选的，三个所述承载斜面与水平面的夹角分别为30°、45°和52°。

10、可选的，所述载台水平面及承载斜面上均开设有插孔，所述插孔的轴线分别与对应的载台水平面及承载斜面垂直，所述样品座为t型结构，所述样品座插接于插孔内。

11、通过采用上述技术方案，利用样品座与插孔的插接配合，提高了样品座安装的便捷性，不仅便于更换样品，同时也便于将样品在不同的承载斜面上切换，提高工作效率。

12、可选的，所述调节组件包括安装框、第一调节丝杆和第二调节丝杆，所述安装框为方形框且水平设置，所述安装框相对的两边开设有第一滑槽，所述安装框另外相对的两边开设有第二滑槽，所述第一滑槽内滑动设置有第一滑块，所述第二滑槽内滑动设置有第二滑块，所述载台底部设置有第一连接块和第二连接块，所述第一调节丝杆水平设置且两端分别转动安装于两第一滑块内，所述第一调节丝杆穿过第一连接块并与第一连接块螺纹配合，所述第二调节丝杆水平设置且两端分别转动安装于两第二滑块内，所述第二调节丝杆穿过第二连接块并与第二连接块螺纹配合，所述第一调节丝杆与第二调节杆互相垂直。

13、通过采用上述技术方案，通过转动第一调节丝杆即可使第一连接块沿第一调节丝杆的长度方向移动，进而带动载台沿第一调节丝杆的长度方向移动，同时第二调节丝杆两端的第二滑块对应在第二滑槽内滑动，而转动第二调节丝杆即可使载台沿第二调节丝杆的长度方向移动，进而可以在水平面上任意调节载台的位置，提高载台与扫描电镜镜头之间的配合精度，使扫描电镜的电子束能够精准打在不同的样品座上。

14、可选的，所述第一滑槽的上侧壁和下侧壁均沿第一滑槽的长度方向开设有第一限位槽，所述第一滑块顶部和底部成型有第一限位块，所述第一限位块伸入第一限位槽内并与第一限位槽滑动配合，所述第二滑槽的上侧壁和下侧壁均沿第二滑槽的长度方向开设有第二限位槽，所述第二滑块顶部和底部成型有第二限位块，所述第二限位块伸入第二限位槽内并与第二限位槽滑动配合。

15、通过采用上述技术方案，利用第一限位槽和第二限位槽对第一限位块和第二限位块的限位作用，确保第一滑块和第二滑块不会从第一滑槽和第二滑槽内脱离，提高第一滑块和第二滑块移动时的稳定性。

16、可选的，所述第一调节丝杆一端从第一滑块穿出并固定有调节旋钮，所述第二调节丝杆一端从第二滑块穿出并同样固定有调节旋钮。

17、通过采用上述技术方案，利用调节旋钮更便于转动第一调节丝杆和第二调节丝杆，提高调节组件使用的便捷性以及效率。

18、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

19、1.通过将用于放置样品的样品座安装在倾斜角度不同的承载斜面上，将扫描电镜的电子束打向不同的样品座，即可使扫描电镜的电子束与不同样品座的观察面形成不同的夹角，以满足不同测试的需要，当需要对同一样品进行多种角度不同的测试时，无需反复更换样品座，省下了大量抽、放真空的时间，有效提高了测试效率；

20、2.通过使承载斜面朝向载台内侧，更便于扫描电镜对样品座上的样品进行测试，提高使用的便捷性，同时如果样品从倾斜的样品座上滑落，样品将会落在载台中间的水平面上，避免样品落入外部其他地方，污染其他设备；

21、3.通过转动第一调节丝杆即可使第一连接块沿第一调节丝杆的长度方向移动，进而带动载台沿第一调节丝杆的长度方向移动，同时第二调节丝杆两端的第二滑块对应在第二滑槽内滑动，而转动第二调节丝杆即可使载台沿第二调节丝杆的长度方向移动，进而可以在水平面上任意调节载台的位置，提高载台与扫描电镜镜头之间的配合精度，使扫描电镜的电子束能够精准打在不同的样品座上。

技术特征：

1.一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：包括载台（1），所述载台（1）上成型有多个承载斜面（2），多个所述承载斜面（2）分别设置为不同倾斜角度，所述载台（1）上可拆卸安装有样品座（3），所述样品座（3）分别位于各承载斜面（2）及载台（1）的水平面上，所述样品座（3）用于放置样品，所述载台（1）底部设置有调节组件（4），所述调节组件（4）用于在水平方向调整载台（1）的位置。

2.根据权利要求1所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述载台（1）为方形结构，所述承载斜面（2）设有三个并分别位于载台（1）三边。

3.根据权利要求2所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述承载斜面（2）朝向载台（1）内侧。

4.根据权利要求2所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：三个所述承载斜面（2）与水平面的夹角分别为30°、45°和52°。

5.根据权利要求2所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述载台（1）水平面及承载斜面（2）上均开设有插孔（5），所述插孔（5）的轴线分别与对应的载台（1）水平面及承载斜面（2）垂直，所述样品座（3）为t型结构，所述样品座（3）插接于插孔（5）内。

6.根据权利要求1所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述调节组件（4）包括安装框（41）、第一调节丝杆（42）和第二调节丝杆（43），所述安装框（41）为方形框且水平设置，所述安装框（41）相对的两边开设有第一滑槽（44），所述安装框（41）另外相对的两边开设有第二滑槽（45），所述第一滑槽（44）内滑动设置有第一滑块（46），所述第二滑槽（45）内滑动设置有第二滑块（47），所述载台（1）底部设置有第一连接块（48）和第二连接块（49），所述第一调节丝杆（42）水平设置且两端分别转动安装于两第一滑块（46）内，所述第一调节丝杆（42）穿过第一连接块（48）并与第一连接块（48）螺纹配合，所述第二调节丝杆（43）水平设置且两端分别转动安装于两第二滑块（47）内，所述第二调节丝杆（43）穿过第二连接块（49）并与第二连接块（49）螺纹配合，所述第一调节丝杆（42）与第二调节杆互相垂直。

7.根据权利要求6所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述第一滑槽（44）的上侧壁和下侧壁均沿第一滑槽（44）的长度方向开设有第一限位槽（6），所述第一滑块（46）顶部和底部成型有第一限位块（7），所述第一限位块（7）伸入第一限位槽（6）内并与第一限位槽（6）滑动配合，所述第二滑槽（45）的上侧壁和下侧壁均沿第二滑槽（45）的长度方向开设有第二限位槽（8），所述第二滑块（47）顶部和底部成型有第二限位块（9），所述第二限位块（9）伸入第二限位槽（8）内并与第二限位槽（8）滑动配合。

8.根据权利要求6所述的一种适用多角度观测的样品台，其特征在于：所述第一调节丝杆（42）一端从第一滑块（46）穿出并固定有调节旋钮（10），所述第二调节丝杆（43）一端从第二滑块（47）穿出并同样固定有调节旋钮（10）。

技术总结
本申请涉及样品台的领域，具体公开了一种适用多角度观测的样品台，其包括载台和用于在水平方向调整载台的位置的调节组件，载台上成型有多个承载斜面，且多个承载斜面根据测试需要分别设置为不同的倾斜角度，载台上可拆卸安装有多个用于放置样品的样品座，样品座分别位于载台的水平面以及各承载斜面上，调节组件安装在载台底部，利用调节组件调节载台的位置，使扫描电镜对准位于不同角度的样品座上的样品，即可实现多角度观测，能够满足不同的测试需要，有效提高扫描电镜的测试效率。

技术研发人员：林廷伟,黄勇超,丁志宏,何光泽
受保护的技术使用者：闳康技术检测（上海）有限公司
技术研发日：20240322
技术公布日：2024/11/28